Claims (10)
1. Электрооптический переключатель (1), содержащий:1. Electro-optical switch (1), containing:
- электрооптическую подложку (3) Х-среза;- electro-optical substrate (3) X-section;
- Y-образный оптический волновод (2), сформированный в подложке (3) и включающий в себя входную ветвь (4), предназначенную для соединения с входным оптическим волноводом, и выходные ветви (5), предназначенные для соединения с соответствующими выходными оптическими волноводами; и- a Y-shaped optical waveguide (2) formed in the substrate (3) and including an input branch (4) for connecting to the input optical waveguide and output branches (5) for connecting to the corresponding output optical waveguides; and
- электропроводную электродную структуру (6, 7), сформированную на подложке (3) и расположенную так, чтобы быть функционально связанной с оптическим волноводом (2), чтобы вызывать избирательную подачу оптического сигнала, принимаемого на входном оптическом волноводе, к по меньшей мере одному из выходных оптических волноводов; в котором электродная структура (6, 7) включает в себя внутренний электрод (7), расположенный между выходными ветвями (5), по существу, на участке ответвления оптического волновода (2), и внешние электроды (6), расположенные с внешней стороны выходных ветвей (5), по противоположным сторонам внутреннего электрода (7); в котором электродная структура (6, 7) способна действовать, чтобы вызывать переключение электрооптического переключателя (1) между первым состоянием переключения, в котором передача оптической энергии повышается между входной ветвью (4) и первой из выходных ветвей (5) и, по существу, блокируется во второй из выходных ветвей (5), и вторым состоянием переключения, в котором передача оптической энергии повышается между входной ветвью (4) и второй выходной ветвью (5) и, по существу, блокируется в первой выходной ветви (5);- an electrically conductive electrode structure (6, 7) formed on the substrate (3) and positioned so as to be operably coupled to the optical waveguide (2) so as to selectively supply an optical signal received on the input optical waveguide to at least one of output optical waveguides; in which the electrode structure (6, 7) includes an internal electrode (7) located between the output branches (5), essentially, on the branch section of the optical waveguide (2), and external electrodes (6) located on the outside of the output branches (5), on opposite sides of the inner electrode (7); in which the electrode structure (6, 7) is able to act to cause the switching of the electro-optical switch (1) between the first switching state, in which the transmission of optical energy is increased between the input branch (4) and the first of the output branches (5) and, essentially, blocked in the second of the output branches (5), and the second switching state, in which the transmission of optical energy is increased between the input branch (4) and the second output branch (5) and essentially blocked in the first output branch (5);
отличающийся тем, что оптически прозрачная электропроводная пленка (9) расположена между каждым электродом (6, 7) и подложкой (3) и имеет такие размеры, что межпленочный промежуток (G1) между каждой парой соседних оптически прозрачных электропроводных пленок (9) меньше, чем межэлектродный промежуток (G0) между каждой парой соседних электродов (6, 7).characterized in that the optically transparent conductive film (9) is located between each electrode (6, 7) and the substrate (3) and has such dimensions that the inter-film gap (G 1 ) between each pair of adjacent optically transparent conductive films (9) is smaller, than the interelectrode gap (G 0 ) between each pair of adjacent electrodes (6, 7).
2. Устройство по п.1, в котором каждой оптически прозрачной электропроводной пленке (9) приданы такие размеры, чтобы в поперечном направлении частично покрыть соседнюю выходную ветвь (5) оптического волновода (2).2. The device according to claim 1, in which each optically transparent conductive film (9) is dimensioned to partially cover the adjacent output branch (5) of the optical waveguide (2) in the transverse direction.
3. Устройство по п.1, в котором каждая оптически прозрачная электропроводная пленка (9) в поперечном направлении находится на расстоянии от соседней выходной ветви (5) оптического волновода (2) для образования промежутка между ними.3. The device according to claim 1, in which each optically transparent conductive film (9) in the transverse direction is at a distance from the adjacent output branch (5) of the optical waveguide (2) to form a gap between them.
4. Устройство по любому из пп.1-3, в котором каждая оптически прозрачная электропроводная пленка (9) выступает в поперечном направлении от электрода (6, 7), находящегося выше, к соседней выходной ветви (5) оптического волновода (2).4. The device according to any one of claims 1 to 3, in which each optically transparent conductive film (9) protrudes in the transverse direction from the electrode (6, 7) located above to the adjacent output branch (5) of the optical waveguide (2).
5. Устройство по п.1, дополнительно содержащее:5. The device according to claim 1, additionally containing:
- диэлектрический буферный слой (8), расположенный между каждой оптически прозрачной электропроводной пленкой (9) и соответствующим электродом (6, 7), находящимся выше; и- a dielectric buffer layer (8) located between each optically transparent conductive film (9) and the corresponding electrode (6, 7) located above; and
- электрическое соединение между каждой оптически прозрачной электропроводной пленкой (9) и соответствующим электродом (6, 7), находящимся выше.- an electrical connection between each optically transparent conductive film (9) and the corresponding electrode (6, 7) located above.
6. Устройство по п.5, в котором оптически прозрачные электропроводные пленки (9) электрически соединены с соответствующими электродами (6, 7) через отверстия, образованные в диэлектрических буферных слоях (8).6. The device according to claim 5, in which the optically transparent conductive films (9) are electrically connected to the corresponding electrodes (6, 7) through openings formed in the dielectric buffer layers (8).
7. Устройство по п.5, в котором каждый буферный слой (8) выступает в поперечном направлении относительно соответствующего электрода (6, 7) к соответствующей соседней выходной ветви (5) оптического волновода (2) для образования промежутка между ними.7. The device according to claim 5, in which each buffer layer (8) protrudes in the transverse direction relative to the corresponding electrode (6, 7) to the corresponding adjacent output branch (5) of the optical waveguide (2) to form a gap between them.
8. Устройство по п.1, в котором электрооптическая подложка (3) имеет толщину 200-1000 мкм, электропроводные электроды (6, 7) имеют толщину 1-40 мкм, а оптически прозрачные электропроводные пленки (9) имеют толщину 50-300 нм.8. The device according to claim 1, in which the electro-optical substrate (3) has a thickness of 200-1000 μm, the conductive electrodes (6, 7) have a thickness of 1-40 μm, and the optically transparent conductive films (9) have a thickness of 50-300 nm .
9. Устройство по любому из пп.5-8, в котором диэлектрические буферные слои (8) имеют толщину 0,2-2 мкм.9. The device according to any one of claims 5 to 8, in which the dielectric buffer layers (8) have a thickness of 0.2-2 microns.
10. Устройство по п.1, в котором межпленочный промежуток (G1) находится в пределах от 4 до 20 мкм, а межэлектродный промежуток (G0) находится в пределах от 10 до 40 мкм.
10. The device according to claim 1, in which the inter-film gap (G 1 ) is in the range from 4 to 20 μm, and the interelectrode gap (G 0 ) is in the range from 10 to 40 μm.