Claims (7)
1. Сканирующий зондовый микроскоп для биологических применений, содержащий предметный стол инвертированного оптического микроскопа и измерительную головку, включающую основание с опорами для установки на предметный стол, блок XYZ сканирования с установленными на нем зондовым датчиком, лазером и фотоприемником, оптические компоненты для направления лазерного луча на зондовый датчик и от зондового датчика на фотоприемник, а также котировочные элементы, отличающийся тем, что котировочные элементы установлены на основании с возможностью осуществления параллельного сноса лазерного луча.1. Scanning probe microscope for biological applications, containing the object table of an inverted optical microscope and a measuring head, including a base with supports for mounting on the object table, an XYZ scanning unit with a probe sensor, a laser and a photodetector installed on it, optical components for directing the laser beam at probe sensor and from the probe sensor to the photodetector, as well as quotation elements, characterized in that the quotation elements are installed on the base with the possibility of suschestvleniya parallel drift of the laser beam.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что блок XYZ сканирования выполнен в виде Z привода установленного на XY приводе, зондовый датчик закреплен на Z приводе, а лазер и фотоприемник закреплены на XY приводе, при этом оптические компоненты, связывающие лазер с зондовым датчиком и зондовый датчик с фотоприемником установлены таким образом, что лазерные лучи, связывающие оптические компоненты, закрепленные на Z приводе, и оптические компоненты, закрепленные на XY приводе, распространяются вертикально.2. The device according to claim 1, characterized in that the XYZ scanning unit is made in the form of a Z drive mounted on the XY drive, the probe sensor is mounted on the Z drive, and the laser and photodetector are mounted on the XY drive, with the optical components connecting the laser to the probe a sensor and a probe sensor with a photodetector are mounted so that the laser beams connecting the optical components mounted on the Z drive and the optical components mounted on the XY drive propagate vertically.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что юстировочные элементы снабжены моторизованными приводами.3. The device according to claim 1, characterized in that the alignment elements are equipped with motorized drives.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по крайней мере один из котировочных элементов выполнен в виде прозрачной плоскопараллельной пластинки, установленной с возможностью изменения угла наклона к проходящему лазерному лучу.4. The device according to claim 1, characterized in that at least one of the quotation elements is made in the form of a transparent plane-parallel plate installed with the ability to change the angle of inclination to the transmitted laser beam.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по крайней мере один из юстировочных элементов выполнен в виде двух параллельных зеркал (перископной системы) с изменяемым расстоянием между ними.5. The device according to claim 1, characterized in that at least one of the adjustment elements is made in the form of two parallel mirrors (periscope system) with a variable distance between them.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что блок XYZ сканирования выполнен в виде Z привода установленного на XY приводе, зондовый датчик закреплен на Z приводе, фотоприемник установлен на XY приводе, при этом оптические компоненты, связывающие зондовый датчик с фотоприемником установлены таким образом, что лазерный луч, связывающий зондовый датчик и оптические компоненты, установленные на XY приводе, распространяется вертикально, а лазер установлен на компенсирующем приводе, установленном на XY приводе.6. The device according to claim 1, characterized in that the XYZ scanning unit is made in the form of a Z drive mounted on the XY drive, the probe sensor is mounted on the Z drive, the photodetector is mounted on the XY drive, while the optical components that connect the probe to the photodetector are installed such so that the laser beam connecting the probe sensor and the optical components mounted on the XY drive propagates vertically, and the laser is mounted on a compensating drive mounted on the XY drive.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что блок XYZ сканирования выполнен в виде Z привода установленного на XY приводе, зондовый датчик закреплен на Z приводе, лазер установлен на XY приводе, при этом оптические компоненты, связывающие зондовый датчик с лазером установлены таким образом, что лазерный луч, связывающий зондовый датчик и оптические компоненты, установленные на XY приводе, распространяется вертикально, а фотоприемник установлен на компенсирующем приводе, установленном на XY приводе.
7. The device according to claim 1, characterized in that the XYZ scanning unit is made in the form of a Z drive mounted on the XY drive, the probe sensor is mounted on the Z drive, the laser is mounted on the XY drive, while the optical components that connect the probe to the laser are installed so so that the laser beam connecting the probe sensor and the optical components mounted on the XY drive propagates vertically, and the photodetector is mounted on a compensating drive mounted on the XY drive.