RU2008137326A

RU2008137326A - Протяженный электродуговой испаритель токопроводящих материалов

Info

Publication number: RU2008137326A
Application number: RU2008137326/02A
Authority: RU
Inventors: Анатолий Михайлович Смыслов (RU); Анатолий Михайлович Смыслов; Марина Константиновна Смыслова (RU); Марина Константиновна Смыслова; Аскар Джамилевич Мингажев (RU); Аскар Джамилевич Мингажев; Михаил Юрьевич Дыбленко (RU); Михаил Юрьевич Дыбленко; Константин Сергеевич Селиванов (RU); Константин Сергеевич Селиванов; Вячеслав Юрьевич Гордеев (RU); Вячеслав Юрьевич Гордеев; Павел Васильевич Бегликчеев (RU); Павел Васильевич Бегликчеев; Василий Андреевич Гонтюрев (RU); Василий Андреевич Гонтюрев; Иван Васильевич Тарасюк (RU); Иван Васильевич Тарасюк
Original assignee: Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" (RU); Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология"
Priority date: 2008-09-17
Filing date: 2008-09-17
Publication date: 2010-03-27
Also published as: RU2404284C2

Abstract

1. Протяженный электродуговой испаритель токопроводящих материалов, содержащий анод, в качестве которого служит стенка вакуумной камеры установки, установленный на катододержателе охлаждаемый катод электродугового разряда, вытянутый вдоль своей продольной оси, выполненный из испаряемого материала в виде пластины и имеющий расположенную вдоль продольной оси рабочую поверхность испарения, ограниченную электроизолированным от катода экраном, и расположенные с противоположных торцов катода токоподводы, подключенные к управляемым ключам, электрически связанными через индивидуальные элементы включения и через датчики положения катодного пятна с блоком управления, и соединенные с источником постоянного тока, соединенным также с анодом, отличающийся тем, что экран электроизолирован от анода и выполнен с возможностью защиты от возникновения электрической дуги между стенками вакуумной камеры и нерабочими поверхностями электродугового испарителя металлов, между экраном и стенками камеры, а также между экраном и катодом и снабженный предохранительным устройством, выполненным с возможностью отключения электрического питания от катода при его замыкании с экраном. ! 2. Протяженный электродуговой испаритель по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала электроизоляторов, обеспечивающих электроизоляцию экрана от камеры и катода, используется керамика. ! 3. Протяженный электродуговой испаритель по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что снабжен электромагнитным устройством, выполненным с возможностью регулирования скоростью перемещения области испарения материала с поверхности катода и ее размерами. !

Claims

1. Протяженный электродуговой испаритель токопроводящих материалов, содержащий анод, в качестве которого служит стенка вакуумной камеры установки, установленный на катододержателе охлаждаемый катод электродугового разряда, вытянутый вдоль своей продольной оси, выполненный из испаряемого материала в виде пластины и имеющий расположенную вдоль продольной оси рабочую поверхность испарения, ограниченную электроизолированным от катода экраном, и расположенные с противоположных торцов катода токоподводы, подключенные к управляемым ключам, электрически связанными через индивидуальные элементы включения и через датчики положения катодного пятна с блоком управления, и соединенные с источником постоянного тока, соединенным также с анодом, отличающийся тем, что экран электроизолирован от анода и выполнен с возможностью защиты от возникновения электрической дуги между стенками вакуумной камеры и нерабочими поверхностями электродугового испарителя металлов, между экраном и стенками камеры, а также между экраном и катодом и снабженный предохранительным устройством, выполненным с возможностью отключения электрического питания от катода при его замыкании с экраном.

2. Протяженный электродуговой испаритель по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала электроизоляторов, обеспечивающих электроизоляцию экрана от камеры и катода, используется керамика.

3. Протяженный электродуговой испаритель по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что снабжен электромагнитным устройством, выполненным с возможностью регулирования скоростью перемещения области испарения материала с поверхности катода и ее размерами.

4. Протяженный электродуговой испаритель по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что, экран выполнен в виде тонкостенного, открытого со стороны испарения материала катода, кожуха коробчатой формы, толщиной стенки от 0,3 до 1,5 мм с дистанцией между катодом и экраном от 5 до 100 мм.

5. Протяженный электродуговой испаритель по п.3, отличающийся тем, что экран выполнен в виде тонкостенного короба, толщиной стенки от 0,3 до 5 мм с дистанцией между катодом и экраном от 5 до 100 мм.

6. Протяженный электродуговой испаритель по любому из пп.1, 2, 5, отличающийся тем, что катод электродугового разряда имеет размеры, выбираемые из диапазонов: длина от 300 до 2000 мм, ширина от 100 до 300 мм, толщина от 10 до 70 мм.

7. Протяженный электродуговой испаритель по п.1, отличающийся тем, что катод электродугового разряда имеет размеры, выбираемые из диапазонов: длина от 300 до 2000 мм, ширина от 100 до 300 мм, толщина от 10 до 70 мм.

8. Протяженный электродуговой испаритель по любому из пп.1, 2, 5, 7, отличающийся тем, что катод электродугового разряда выполнен из одного из следующих металлов, и/или их сплавов, и/или их сочетаний: Ti, Zr, Hf, Cr, Y, Yb, V, Nb, Ta, Mo, W, Al, La, Eu, а также их сплавов и сочетаний с C.

9. Протяженный электродуговой испаритель по п.1, отличающийся тем, что катод электродугового разряда выполнен из одного из следующих металлов, и/или их сплавов, и/или их сочетаний: Ti, Zr, Hf, Cr, Y, Yb, V, Nb, Ta, Mo, W, Al, La, Eu, а также их сплавов и сочетаний с C.

10. Протяженный электродуговой испаритель по п.1, отличающийся тем, что токоподводы с каждой из противоположных торцов катода подключены к двум источникам питания постоянного тока, причем каждый из токоподводов с источником питания и катодом образуют собственную электрическую цепь, снабженную системой управления подключения источников к катоду, выполненную с возможностью комбинации вариантов подключения противоположных торцов катода к каждому из источников, при условии исключения одновременного подключения к противоположным торцам катода тока одноименной полярности.

11. Протяженный электродуговой испаритель по любому из пп.1, 2, 5, 7, 9, отличающийся тем, что токоподводы с каждой из противоположных торцов катода подключены к двум источникам питания постоянного тока, причем каждый из токоподводов с источником питания и катодом образуют собственную электрическую цепь, снабженную системой управления подключения источников к катоду, выполненную с возможностью комбинации вариантов подключения противоположных торцов катода к каждому из источников, при условии исключения одновременного подключения к противоположным торцам катода тока одноименной полярности.