RU2008116296A

RU2008116296A - Способ настройки сканирующего зондового микроскопа и сканирующий зондовый микроскоп для его осуществления

Info

Publication number: RU2008116296A
Application number: RU2008116296/28A
Authority: RU
Inventors: Евгений Александрович Меньшиков (RU); Евгений Александрович Меньшиков; Дмитрий Юрьевич Гаврилко (RU); Дмитрий Юрьевич Гаврилко; Леонид Николаевич Рашкович (RU); Леонид Николаевич Рашкович; Александр Александрович Чернов (RU); Александр Александрович Чернов; Олег Аркадьевич Шустин (RU); Олег Аркадьевич Шустин; Игорь Владимирович Яминский (RU); Игорь Владимирович Яминский
Priority date: 2008-04-28
Filing date: 2008-04-28
Publication date: 2009-11-10
Also published as: RU2382389C2

Abstract

1. Способ настройки сканирующего зондового микроскопа, включающий фокусировку системы видеонаблюдения микроскопа на поверхность исследуемого образца или зонда, с последующей калибровкой сканера микроскопа и/или позиционированием зонда в необходимую область поверхности образца, отличающийся тем, что калибровку сканера и/или позиционирование зонда проводят на основании интерференционной картины, полученной путем дополнительного использования источника светового потока и разделения потока света на два когерентных потока света, которые проходят различные оптические пути, а затем сводятся вместе и направляются в систему видеонаблюдения микроскопа или дополнительную систему видеонаблюдения, причем при калибровке сканера один из световых потоков претерпевает отражение от поверхности образца и/или зонда, а при позиционировании зонда световой поток претерпевает отражение от поверхности образца. ! 2. Сканирующий зондовый микроскоп, включающий систему видеонаблюдения, держатель образца, сканер, зонд, держатель зонда и систему для перемещений держателя образца, отличающийся тем, что микроскоп дополнительно содержит, закрепленные с возможностью ориентации в пространстве, источник светового потока, отражательный элемент и оптический делительный элемент, как пропускающий, так и отражающий часть светового потока, идущего от источника, причем держатель образца расположен на пути одного из потоков света, отраженного или пропущенного делительным элементом, а отражательный элемент на пути второго потока света, таким образом, чтобы ход световых потоков, отраженных от поверхности отражательного элемента и от �

Claims

1. Способ настройки сканирующего зондового микроскопа, включающий фокусировку системы видеонаблюдения микроскопа на поверхность исследуемого образца или зонда, с последующей калибровкой сканера микроскопа и/или позиционированием зонда в необходимую область поверхности образца, отличающийся тем, что калибровку сканера и/или позиционирование зонда проводят на основании интерференционной картины, полученной путем дополнительного использования источника светового потока и разделения потока света на два когерентных потока света, которые проходят различные оптические пути, а затем сводятся вместе и направляются в систему видеонаблюдения микроскопа или дополнительную систему видеонаблюдения, причем при калибровке сканера один из световых потоков претерпевает отражение от поверхности образца и/или зонда, а при позиционировании зонда световой поток претерпевает отражение от поверхности образца.

2. Сканирующий зондовый микроскоп, включающий систему видеонаблюдения, держатель образца, сканер, зонд, держатель зонда и систему для перемещений держателя образца, отличающийся тем, что микроскоп дополнительно содержит, закрепленные с возможностью ориентации в пространстве, источник светового потока, отражательный элемент и оптический делительный элемент, как пропускающий, так и отражающий часть светового потока, идущего от источника, причем держатель образца расположен на пути одного из потоков света, отраженного или пропущенного делительным элементом, а отражательный элемент на пути второго потока света, таким образом, чтобы ход световых потоков, отраженных от поверхности отражательного элемента и от поверхности держателя образца или поверхности помещенного на него исследуемого образца, совпадал с ходом падающих на них световых потоков, и после дальнейшего отражения одного отраженного светового потока от делительного элемента и прохождения второго отраженного светового потока через делительный элемент каждый из них был направлен в систему видеонаблюдения.

3. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, отличающийся тем, что держатель образца расположен на пути потока света, отраженного делительным элементом, причем держатель образца расположен таким образом, чтобы ход светового потока, отраженного от поверхности держателя образца или поверхности помещенного на него исследуемого образца, совпадал с ходом падающего на него светового потока, и при дальнейшем прохождении через делительный элемент, прошедшая часть светового потока была направлена в систему видеонаблюдения, а отражательный элемент расположен на пути потока света, пропущенного делительным элементом, причем отражательный элемент расположен таким образом, чтобы ход светового потока, отраженного от него, совпадал с ходом падающего на него светового потока, и при дальнейшем отражении от делительного элемента отраженная часть светового потока была направлена в систему видеонаблюдения.

4. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, отличающийся тем, что держатель образца расположен на пути потока света, пропущенного делительным элементом, причем держатель образца расположен таким образом, чтобы ход светового потока, отраженного от поверхности держателя образца или поверхности помещенного на него исследуемого образца, совпадал с ходом падающего на него светового потока, и при дальнейшем прохождении через делительный элемент, прошедшая часть светового потока была направлена в систему видеонаблюдения, а отражательный элемент расположен на пути потока света, отраженного делительным элементом, причем отражательный элемент расположен таким образом, чтобы ход светового потока, отраженного от него, совпадал с ходом падающего на него светового потока, и при дальнейшем отражении от делительного элемента отраженная часть светового потока была направлена в систему видеонаблюдения.

5. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, отличающийся тем, что держатель образца расположен на пути потока света, пропущенного делительным элементом, причем держатель образца расположен таким образом, чтобы ход светового потока, отраженного от поверхности держателя образца или поверхности помещенного на него исследуемого образца, совпадал с ходом падающего на него светового потока, и при дальнейшем отражении от делительного элемента, отраженная часть светового потока была направлена в систему видеонаблюдения, а отражательный элемент расположен на пути потока света, отраженного делительным элементом, причем отражательный элемент расположен таким образом, чтобы ход светового потока, отраженного от него, совпадал с ходом падающего на него светового потока, и при дальнейшем прохождении через делительный элемент прошедшая часть светового потока была направлена в систему видеонаблюдения.

6. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, отличающийся тем, что держатель образца расположен на пути потока света, отраженного делительным элементом, причем держатель образца расположен таким образом, чтобы ход светового потока, отраженного от поверхности держателя образца или поверхности помещенного на него исследуемого образца, совпадал с ходом падающего на него светового потока, и при дальнейшем отражении от делительного элемента, отраженная часть светового потока была направлена в систему видеонаблюдения, а отражательный элемент расположен на пути потока света, пропущенного делительным элементом, причем отражательный элемент расположен таким образом, чтобы ход светового потока, отраженного от него, совпадал с ходом падающего на него светового потока, и при дальнейшем прохождении через делительный элемент прошедшая часть светового потока была направлена в систему видеонаблюдения.

7. Сканирующий зондовый микроскоп по п.2, отличающийся тем, что держатель образца и зонд расположены на пути одного из потоков света, отраженного или пропущенного делительным элементом, таким образом, чтобы световой поток отражался, как от держателя образца или поверхности помещенного на него исследуемого образца, так и от поверхности зонда.