JP2020507087A - フォトニック集積回路をテストするためのデバイス、方法、及びサンプルホルダ、及びフォトニック集積回路 - Google Patents
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Abstract
Description
照明光ビームを生成するための光源と、
照明光ビームをフォトニック集積回路上に導く(steer)ための照明経路(illumination path)であって、照明場所を選択するための走査デバイス(scanning device)を含む照明経路と、
フォトニック集積回路から来る検出光(特に、カップルアウトされる(coupled out)、反射される、及び/又は散乱される)を照明光ビームに対する反応(すなわち、フォトニック集積回路から来る検出光)として検出するための検出経路を有する検出デバイスと
を含む。
走査デバイスを用いてフォトニック集積回路を照明するための照明光ビームの照明場所を選択することと、
フォトニック集積回路から来る検出光を検出することと
を含む。
Claims (17)
- フォトニック集積回路(12)をテストするための装置であって、
照明光ビーム(212)を生成するための光源(10;20)と、
前記照明光ビームをフォトニック集積回路(29)上に導くための照明経路であって、照明場所(14)を選択するための走査デバイス(11;25)を含む照明経路と、
前記フォトニック集積回路(12)から来る光(63)を照明光ビーム(212)に対する反応として検出するための検出経路を有する検出デバイス(13)と
を含む、装置。 - 前記照明経路の瞳平面(211)における前記照明光ビーム(212)の位置を定めるための瞳選択デバイス(22,31)を更に含む、請求項1に記載の装置。
- 前記瞳選択デバイス(22)が第1の調整可能ミラーデバイス(23)と第2の調整可能ミラーデバイス(24)とを含む、請求項2に記載の装置。
- 前記瞳選択デバイス(22,31)が空間光モジュレータ(31)を含む、請求項2又は3に記載の装置。
- 前記空間光モジュレータ(31)は少なくとも2つの照明光ビーム(212A,212B)を生成するようにセットアップされる、請求項4に記載の装置。
- 前記検出デバイスが2D検出器(62)を含む、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記2D検出器(62)はイメージセンサを含む、請求項6に記載の装置。
- 前記検出デバイス(13)はポイント検出器(73)を含む、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出デバイス(13)は時間ドメインで動作する光学反射率計及び/又は分光計(80)を含む、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出経路は前記走査デバイスを含む、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出経路は更なる走査デバイス(93)を含む、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の装置のためのサンプルホルダ(111)であって、前記フォトニック集積回路(29)のためのレセプタクルと、該レセプタクルのまわりに配置された、該装置へ、又は該装置から光ビームをディフレクトするためのビームディフレクションデバイスとを含む、サンプルホルダ(111)。
- 前記ビームディフレクションデバイスはプリズム又はミラーを含む、請求項12に記載のサンプルホルダ(111)。
- 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の装置とともに用いるためのフォトニック集積回路(29)であって、少なくとも1つの導波路平面と、該導波路平面に関して平行な該フォトニック集積回路(29)の表面に配置される少なくとも1つのカップリング格子(100,101)とを含む、フォトニック集積回路(29)。
- フォトニック集積回路をテストするための方法であって、
走査デバイスを用いて前記フォトニック集積回路(29)を照明するための照明光ビーム(212)の照明場所を選択することと、
前記フォトニック集積回路から来る検出光を検出することと
を含む方法。 - 前記照明光ビーム(212)に対する照明経路の瞳平面(211)内で前記照明光ビーム(212)の位置をセットすることにより前記光ビームの入力カップリング角度を選択することを更に含む、請求項15に記載の方法。
- 前記検出光(63)に対する検出場所を選択することを更に含む、請求項15又は16に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017101626.0 | 2017-01-27 | ||
DE102017101626.0A DE102017101626B4 (de) | 2017-01-27 | 2017-01-27 | Vorrichtungen, Verfahren und Probenhalter zum Testen von photonischen integrierten Schaltungen sowie photonische integrierte Schaltungen |
PCT/EP2018/051939 WO2018138249A1 (de) | 2017-01-27 | 2018-01-26 | Vorrichtungen, verfahren und probenhalter zum testen von photonischen integrierten schaltungen sowie photonische integrierte schaltungen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020507087A true JP2020507087A (ja) | 2020-03-05 |
JP7141411B2 JP7141411B2 (ja) | 2022-09-22 |
Family
ID=61189418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019560486A Active JP7141411B2 (ja) | 2017-01-27 | 2018-01-26 | フォトニック集積回路をテストするための装置、装置を含む検査システム、及びフォトニック集積回路をテストするための方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11782088B2 (ja) |
EP (1) | EP3574333B1 (ja) |
JP (1) | JP7141411B2 (ja) |
DE (1) | DE102017101626B4 (ja) |
ES (1) | ES2941068T3 (ja) |
WO (1) | WO2018138249A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018108283A1 (de) | 2018-04-09 | 2019-10-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Elektro-optische Leiterplatte zur Kontaktierung von photonischen integrierten Schaltungen |
US10698086B1 (en) | 2018-05-09 | 2020-06-30 | Facebook Technologies, Llc | Photonic integrated circuit illuminator |
DE102022103611A1 (de) | 2022-02-16 | 2023-08-17 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Vorrichtungen, testkarten und verfahren zum testen von photonischen integrierten schaltungen sowie photonische integrierte schaltungen |
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US9804027B2 (en) | 2014-09-29 | 2017-10-31 | Aurrion, Inc. | Heterogeneous spectroscopic transceiving photonic integrated circuit sensor |
-
2017
- 2017-01-27 DE DE102017101626.0A patent/DE102017101626B4/de active Active
-
2018
- 2018-01-26 WO PCT/EP2018/051939 patent/WO2018138249A1/de unknown
- 2018-01-26 JP JP2019560486A patent/JP7141411B2/ja active Active
- 2018-01-26 EP EP18704164.5A patent/EP3574333B1/de active Active
- 2018-01-26 ES ES18704164T patent/ES2941068T3/es active Active
-
2019
- 2019-07-19 US US16/516,400 patent/US11782088B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102017101626A1 (de) | 2018-08-02 |
ES2941068T3 (es) | 2023-05-16 |
EP3574333A1 (de) | 2019-12-04 |
WO2018138249A1 (de) | 2018-08-02 |
JP7141411B2 (ja) | 2022-09-22 |
US20190339327A1 (en) | 2019-11-07 |
EP3574333B1 (de) | 2023-01-11 |
US11782088B2 (en) | 2023-10-10 |
DE102017101626B4 (de) | 2018-09-13 |
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