RU2007120401A

RU2007120401A - Эллипсометр

Info

Publication number: RU2007120401A
Application number: RU2007120401/28A
Authority: RU
Inventors: Евгений Васильевич Спесивцев (RU); Евгений Васильевич Спесивцев; Сергей Владимирович Рыхлицкий (RU); Сергей Владимирович Рыхлицкий; Андрей Геннадьевич Борисов (RU); Андрей Геннадьевич Борисов; Василий Александрович Швец (RU); Василий Александрович Швец
Original assignee: Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской Академии наук (RU); Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук; Закрытое акционерное общество Научно-производственная компания "Центр нанотехнологий" (RU); Закрытое акционерное общество Научно-производственная компания "Центр нанотехнологий"
Priority date: 2007-05-31
Filing date: 2007-05-31
Publication date: 2008-12-10
Also published as: RU2351917C1

Abstract

1. Эллипсометр, содержащий оптически связанные плечо поляризатора, выполненное в составе осветителя и поляризатора, и плечо анализатора, между которыми размещен исследуемый образец, причем плечо анализатора выполнено в виде оптически связанных композиционного расщепителя светового пучка, расщепляющего отраженный исследуемым образцом световой пучок на четыре ортогонально поляризованные световые компоненты, фоторегистратора для приема поляризованных световых компонент излучения и формирования сигналов для вычисления эллипсометрических параметров исследуемого образца, отличающийся тем, что указанный композиционный расщепитель светового пучка выполнен единым измерительным каналом, совмещающим функции фазового и амплитудного измерительных каналов, обеспечивающим равные коэффициенты пропускания поляризованных световых компонент.2. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что единый измерительный канал выполнен в составе последовательно оптически связанных формирователя квазипараллельных световых пучков из отраженного образцом эллиптически поляризованного светового пучка, компенсатора, реализованного с возможностью прохождения его одним из квазипараллельных световых пучков без фазового сдвига, а другим - с фазовым сдвигом, и поляризационного расщепителя квазипараллельных световых пучков на различные поляризованные световые компоненты.3. Эллипсометр по п.2, отличающийся тем, что формирователь квазипараллельных световых пучков выполнен с возможностью их вырезания из светового пучка.4. Эллипсометр по п.3, отличающийся тем, что формирователь квазипараллельных световых пучков выполнен в виде дво

Claims

1. Эллипсометр, содержащий оптически связанные плечо поляризатора, выполненное в составе осветителя и поляризатора, и плечо анализатора, между которыми размещен исследуемый образец, причем плечо анализатора выполнено в виде оптически связанных композиционного расщепителя светового пучка, расщепляющего отраженный исследуемым образцом световой пучок на четыре ортогонально поляризованные световые компоненты, фоторегистратора для приема поляризованных световых компонент излучения и формирования сигналов для вычисления эллипсометрических параметров исследуемого образца, отличающийся тем, что указанный композиционный расщепитель светового пучка выполнен единым измерительным каналом, совмещающим функции фазового и амплитудного измерительных каналов, обеспечивающим равные коэффициенты пропускания поляризованных световых компонент.

2. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что единый измерительный канал выполнен в составе последовательно оптически связанных формирователя квазипараллельных световых пучков из отраженного образцом эллиптически поляризованного светового пучка, компенсатора, реализованного с возможностью прохождения его одним из квазипараллельных световых пучков без фазового сдвига, а другим - с фазовым сдвигом, и поляризационного расщепителя квазипараллельных световых пучков на различные поляризованные световые компоненты.

3. Эллипсометр по п.2, отличающийся тем, что формирователь квазипараллельных световых пучков выполнен с возможностью их вырезания из светового пучка.

4. Эллипсометр по п.3, отличающийся тем, что формирователь квазипараллельных световых пучков выполнен в виде двойной диафрагмы.

5. Эллипсометр по п.2, отличающийся тем, что компенсатор выполнен в составе двух фазосдвигающих пластин, каждая из которых закреплена в индивидуальной кольцеобразной оправе с возможностью вращения относительно оптической оси независимо друг от друга для достижения требуемого положения, с последующей фиксацией, а также после фиксации каждой с возможностью вращения в общей оправе относительно оптической оси.

6. Эллипсометр, по п.5, отличающийся тем, что компенсатор выполнен термостабилизированным из двух фазосдвигающих пластин с суммарной разностью фаз в фазовом сдвиге равным π/2, пластины ориентированы с возможностью совпадения «быстрой» оси одной с «медленной» осью другой.

7. Эллипсометр, по п.5, отличающийся тем, что компенсатор, реализованный с возможностью прохождения его одним из квазипараллельных световых пучков без фазового сдвига, а другим - с фазовым сдвигом, выполнен на основе использования фазосдвигающей пластины с геометрией, обеспечивающей отверстие в плоскости круга, вырезаемого кольцеобразной оправой.

8. Эллипсометр по п.6, отличающийся тем, что компенсатор, реализованный с возможностью прохождения его одним из квазипараллельных световых пучков без фазового сдвига, а другим - с фазовым сдвигом, выполнен на основе использования фазосдвигающей пластины с геометрией, обеспечивающей отверстие в плоскости круга, вырезаемого кольцеобразной оправой.

9. Эллипсометр по п.7 или 8, отличающийся тем, что фазосдвигающая пластина выполнена в виде плоского кольца с центральным отверстием.

10. Эллипсометр по п.2, отличающийся тем, что поляризационный расщепитель квазипараллельных световых пучков выполнен с возможностью получения ортогонально поляризованных световых компонент.

11. Эллипсометр по п.10, отличающийся тем, что поляризационный расщепитель выполнен в виде двулучепреломляющей поляризационной призмы с равными коэффициентами пропускания при расщеплении квазипараллельных световых пучков на ортогонально поляризованные компоненты.

12. Эллипсометр, по п.1, отличающийся тем, что фоторегистратор для приема поляризованных световых компонент излучения и формирования сигналов для вычисления эллипсометрических параметров исследуемого образца выполнен в виде четырехэлементного фотоприемника с четырьмя фоточувствительными площадками, размещенными в одном корпусе, детектирующими ортогонально поляризованные компоненты двух квазипараллельных пучков.

13. Эллипсометр, по п.1, отличающийся тем, что осветитель выполнен в виде источника монохроматического излучения или в виде источника монохроматического излучения, перестраиваемого по длине волны.