RU2006126723A - Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства и устройство для его реализации - Google Patents
Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства и устройство для его реализации Download PDFInfo
- Publication number
- RU2006126723A RU2006126723A RU2006126723/28A RU2006126723A RU2006126723A RU 2006126723 A RU2006126723 A RU 2006126723A RU 2006126723/28 A RU2006126723/28 A RU 2006126723/28A RU 2006126723 A RU2006126723 A RU 2006126723A RU 2006126723 A RU2006126723 A RU 2006126723A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrodes
- moving mass
- voltage
- gap
- measuring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Claims (2)
1. Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства, заключающийся в формировании электрического сигнала на одном из электродов и измерении электрических сигналов на других электродах, отличающийся тем, что изменяют напряжение, по крайней мере, на одном из электродов, измеряют перемещение подвижной массы, обусловленное этими изменениями напряжения, путем измерения изменения емкости между одним из электродов и подвижной массой и определяют зазор, используя зависимость перемещения от напряжения, полученную расчетным путем из выражения вида
где М - момент, создаваемый электрическим полем при подаче напряжения u на один из электродов;
α, d - угол наклона и зазор между подвижной массой и электродами;
с - жесткость упругого подвеса подвижной массы.
2. Устройство для измерения зазора между электродами и подвижной массой в микромеханическом гироскопе, включающем в себя подвижную массу на резонансном подвесе, дифференциальный емкостный датчик, образованный электродами, расположенными по оси вторичных колебаний, и подвижной массой, дополнительные электроды, расположенные по оси вторичных колебаний, и подвижной массой, содержащее источник напряжения, соединенный с одним из дополнительных электродов, преобразователь емкость - напряжение, вход которого соединен с электродами дифференциального емкостного датчика, отличающееся тем, что в него введено вычислительное устройство, входы которого соединены с выходами источника напряжения и преобразователя емкость - напряжение.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006126723/28A RU2338997C2 (ru) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства и устройство для его реализации |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006126723/28A RU2338997C2 (ru) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства и устройство для его реализации |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2006126723A true RU2006126723A (ru) | 2008-01-27 |
| RU2338997C2 RU2338997C2 (ru) | 2008-11-20 |
Family
ID=39109698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006126723/28A RU2338997C2 (ru) | 2006-07-13 | 2006-07-13 | Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства и устройство для его реализации |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2338997C2 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110261344A1 (en) * | 2009-12-31 | 2011-10-27 | Mapper Lithography Ip B.V. | Exposure method |
| RU2649226C1 (ru) * | 2016-12-02 | 2018-03-30 | Акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Устройство измерения зазора в микромеханическом гироскопе RR-типа |
-
2006
- 2006-07-13 RU RU2006126723/28A patent/RU2338997C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2338997C2 (ru) | 2008-11-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10139308B2 (en) | Physical quantity detection apparatus, measurement system, and measurement apparatus | |
| Shi et al. | Study of weak vibrating signal detection based on chaotic oscillator in MEMS resonant beam sensor | |
| EA201490658A1 (ru) | Микроэлектромеханическое гироскопическое устройство | |
| AU2008200126A1 (en) | Combined accelerometer and gyroscope system | |
| WO2003019204A3 (en) | Sensor for non-contacting electrostatic detector | |
| Paralı et al. | A digital measurement system based on laser displacement sensor for piezoelectric ceramic discs vibration characterization | |
| EP2498051A2 (en) | Inertial sensor | |
| RU2006126723A (ru) | Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства и устройство для его реализации | |
| WO2003019203A8 (en) | Sensor for non-contacting electrostatic detector | |
| RU2580871C1 (ru) | Камертонный микрогироскоп | |
| RU2301970C1 (ru) | Микромеханический гироскоп вибрационного типа | |
| RU2566655C1 (ru) | Способ измерения кажущегося ускорения и пьезоэлектронный акселерометр для его реализации | |
| RU2466354C1 (ru) | Микросистемный гироскоп | |
| JP2009236552A (ja) | センサ感度調整手段及びセンサの製造方法 | |
| RU2296301C1 (ru) | Способ измерения перемещения подвижной массы микромеханического гироскопа по оси вторичных колебаний и устройство для реализации данного способа | |
| RU2649226C1 (ru) | Устройство измерения зазора в микромеханическом гироскопе RR-типа | |
| Zając et al. | Coupled electro-mechanical simulation of capacitive MEMS accelerometer for determining optimal parameters of readout circuit | |
| JP2021060280A (ja) | 電圧センサ | |
| Roth | Simulation of the effects of acoustic noise on mems gyroscopes | |
| Langfelder et al. | MEMS integrating motion and displacement sensors | |
| TW201215887A (en) | Inertia sensing device and using method thereof | |
| Ghosh et al. | Lorentz force magnetic sensor based on a thin-film piezoelectric-on-silicon laterally vibrating micromechanical resonator | |
| RU2209394C2 (ru) | Микромеханический гироскоп | |
| Megherbi et al. | Behavioral modelling of vibrating piezoelectric micro-gyro sensor and detection electronics | |
| JP5496515B2 (ja) | 加速度センサ回路及び３軸加速度センサ回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090714 |