RU2006113068A - Тестовый объект для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов - Google Patents
Тестовый объект для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2006113068A RU2006113068A RU2006113068/28A RU2006113068A RU2006113068A RU 2006113068 A RU2006113068 A RU 2006113068A RU 2006113068/28 A RU2006113068/28 A RU 2006113068/28A RU 2006113068 A RU2006113068 A RU 2006113068A RU 2006113068 A RU2006113068 A RU 2006113068A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- test object
- scanning probe
- calibration
- probe microscopes
- angle
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Claims (3)
1. Тестовый объект для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов, выполненный в виде структуры с рельефной поверхностью, элементы которой имеют профиль с проекциями боковых сторон на плоскость нижнего основания, превышающими размеры зондов РЭМ и СЗМ, и во всех элементах рельефной поверхности выдержан постоянный острый угол между боковой гранью и плоскостью нижнего основания, отличающийся тем, что рельеф выполнен в виде совокупности ступенек, как минимум две из которых стыкуются под углом, не равным и не кратным 180°.
2. Тестовый объект по п.1, отличающийся тем, что стыкующиеся ступеньки расположены под углом 90° друг к другу.
3. Тестовый объект по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что четыре пары стыкующихся ступенек образуют рельефную структуру крестообразного выступа.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006113068/28A RU2325619C2 (ru) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | Тестовый объект для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006113068/28A RU2325619C2 (ru) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | Тестовый объект для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2006113068A true RU2006113068A (ru) | 2007-10-27 |
| RU2325619C2 RU2325619C2 (ru) | 2008-05-27 |
Family
ID=38955520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006113068/28A RU2325619C2 (ru) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | Тестовый объект для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2325619C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2519826C1 (ru) * | 2013-01-23 | 2014-06-20 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" (ОАО "НИИМЭ"), Российская Федерация | Тестовый объект для калибровки микроскопов в микрометровом и нанометровом диапазонах |
-
2006
- 2006-04-19 RU RU2006113068/28A patent/RU2325619C2/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2325619C2 (ru) | 2008-05-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6149060B2 (ja) | 垂直型プローブモジュールおよびその柱状支持部 | |
| TW200624815A (en) | Electrical contact testing probe | |
| WO2008103700A3 (en) | Process condition measuring device | |
| TW200710401A (en) | Probe card | |
| TW200642027A (en) | Probe assembly, method of producing it and electrical connecting apparatus | |
| WO2006073736A3 (en) | Probe head arrays | |
| WO2008063551A3 (en) | Gauge to measure distortion in glass sheet | |
| EP1837906A3 (en) | Semiconductor memory device and methods of manufacturing and operating the same | |
| CN105092900B (zh) | 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 | |
| RU2006113068A (ru) | Тестовый объект для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов | |
| WO2007090157A3 (en) | Bedding foundation support module | |
| JP2009180549A (ja) | コンタクトピン | |
| WO2006127787A3 (en) | A method of seating an electronic component and an electronic component handler | |
| CN103869103B (zh) | 原子力显微镜探针装置 | |
| GB2594191A (en) | Three-dimensional nonwoven materials and methods of manufacturing thereof | |
| USD566592S1 (en) | Front panel for measurement instruments | |
| JP2013215860A (ja) | 取り付け構造及びそれに用いられる取り付け部材 | |
| KR101467036B1 (ko) | 세팅 위치 조절이 용이한 시편 고정용 지그 | |
| CN203312250U (zh) | 一种多角度可紧固式扫描电镜用样品台 | |
| US9960047B2 (en) | Test pattern for trench poly over-etched step and formation method thereof | |
| EP2093617A3 (en) | Mark structure for coarse wafer alignment and method for manufacturing such a mark structure | |
| WO2008096211A3 (en) | Measurement of critical dimensions of semiconductor wafers | |
| USD580805S1 (en) | Electrical tester | |
| JP6789619B2 (ja) | 電子部品用のソケット、および電子部品の取付方法 | |
| WO2009118164A3 (en) | Nanoscale charge carrier mapping |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RH4A | Copy of patent granted that was duplicated for the russian federation |
Effective date: 20090430 |