RU2005134709A - Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок - Google Patents

Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок Download PDF

Info

Publication number
RU2005134709A
RU2005134709A RU2005134709/28A RU2005134709A RU2005134709A RU 2005134709 A RU2005134709 A RU 2005134709A RU 2005134709/28 A RU2005134709/28 A RU 2005134709/28A RU 2005134709 A RU2005134709 A RU 2005134709A RU 2005134709 A RU2005134709 A RU 2005134709A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
remote
film thickness
thickness
measuring
way method
Prior art date
Application number
RU2005134709/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2304759C1 (ru
Inventor
Михаил Леонидович Белов (RU)
Михаил Леонидович Белов
Виктор Александрович Городничев (RU)
Виктор Александрович Городничев
Валентин Иванович Козинцев (RU)
Валентин Иванович Козинцев
Ольга Алексеевна Смирнова (RU)
Ольга Алексеевна Смирнова
Юрий Викторович Федотов (RU)
Юрий Викторович Федотов
Original Assignee
Научно-Исследовательский Институт Радиоэлектроники и лазерной техники (НИИ РЛ) Московского Государственного Технического Университета им. Н.Э. Баумана (RU)
Научно-Исследовательский Институт Радиоэлектроники и лазерной техники (НИИ РЛ) Московского Государственного Технического Университета им. Н.Э. Баумана
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-Исследовательский Институт Радиоэлектроники и лазерной техники (НИИ РЛ) Московского Государственного Технического Университета им. Н.Э. Баумана (RU), Научно-Исследовательский Институт Радиоэлектроники и лазерной техники (НИИ РЛ) Московского Государственного Технического Университета им. Н.Э. Баумана filed Critical Научно-Исследовательский Институт Радиоэлектроники и лазерной техники (НИИ РЛ) Московского Государственного Технического Университета им. Н.Э. Баумана (RU)
Priority to RU2005134709/28A priority Critical patent/RU2304759C1/ru
Priority to US11/559,014 priority patent/US20070146725A1/en
Publication of RU2005134709A publication Critical patent/RU2005134709A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2304759C1 publication Critical patent/RU2304759C1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Claims (1)

  1. Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок на поверхности материала путем облучения поверхности оптическим излучением, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определения толщины пленки по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала от длины волны, отличающийся тем, что облучение поверхности проводят на трех близко расположенных друг к другу длинах волн зондирования, а толщину пленки определяют по результатам анализа интенсивности отраженного сигнала на этих трех длинах волн.
RU2005134709/28A 2005-11-10 2005-11-10 Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок RU2304759C1 (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005134709/28A RU2304759C1 (ru) 2005-11-10 2005-11-10 Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок
US11/559,014 US20070146725A1 (en) 2005-11-10 2006-11-13 Method of and device for thickness measurements of thin films

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005134709/28A RU2304759C1 (ru) 2005-11-10 2005-11-10 Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005134709A true RU2005134709A (ru) 2007-05-20
RU2304759C1 RU2304759C1 (ru) 2007-08-20

Family

ID=38163832

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005134709/28A RU2304759C1 (ru) 2005-11-10 2005-11-10 Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20070146725A1 (ru)
RU (1) RU2304759C1 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10914037B2 (en) 2012-10-09 2021-02-09 Michael Gorden Yankee dryer profiler and control
CN102997856B (zh) * 2012-12-12 2016-08-03 南京大学 一种基于参数查找表的海洋溢油油膜厚度高光谱遥感估算方法
CN105526874B (zh) * 2015-12-03 2019-09-20 重庆三峡学院 一种基于光谱特征参数的油膜厚度识别方法
CN106767454B (zh) * 2016-12-02 2018-11-20 大连海事大学 一种基于光谱反射率特征的水面油膜厚度测量系统及方法
CN108088371B (zh) * 2017-12-19 2020-12-01 厦门大学 一种用于大位移监测的光电探测器位置布局

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6176904A (ja) * 1984-09-21 1986-04-19 Oak Seisakusho:Kk 膜厚測定方法
US4909631A (en) * 1987-12-18 1990-03-20 Tan Raul Y Method for film thickness and refractive index determination

Also Published As

Publication number Publication date
US20070146725A1 (en) 2007-06-28
RU2304759C1 (ru) 2007-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Avella-Oliver et al. Label-free SERS analysis of proteins and exosomes with large-scale substrates from recordable compact disks
CN108027315B (zh) 利用光热斑点检测感应靶标
JP3579321B2 (ja) ２次元イメージング表面プラズモン共鳴測定装置および測定方法
RU2009126607A (ru) Микроэлектронное сенсорное устройство для обнаружения частиц-меток
JP4999707B2 (ja) 表面プラズモン共鳴センサにおける表面プラズモンの分光のための方法およびその使用のためのエレメント
RU2575946C1 (ru) Устройство измерения спектральных характеристик и способ измерения спектральных характеристик
Long et al. Grating coupled SPR sensors using off the shelf compact discs and sensitivity dependence on grating period
DE602004023322D1 (de) Optisches speichermedium mit einem analythaltigen polymerfilm, verwendung davon
DE602004025868D1 (de) Optische Messvorrichtung basierend auf der Phasenverschiebungsinterferometrie
JP2018009824A (ja) 試料分析方法及び試料分析装置
RU2005134709A (ru) Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок
KR20100061038A (ko) 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
JP2005532563A5 (ru)
JP2012145583A5 (ru)
JP6141525B2 (ja) 全反射減衰法による画像形成装置
RU2011138146A (ru) Сенсорное устройство для определения целевого вещества
Chen et al. Fast spectral surface plasmon resonance imaging sensor for real-time high-throughput detection of biomolecular interactions
JP2010002328A5 (ru)
KR100865755B1 (ko) 표면 플라즈몬 공명을 이용한 다채널 바이오 센서
JP2004527741A5 (ru)
KR20110039687A (ko) 표면 플라즈몬 공명 결상 타원 계측기 및 표면 플라즈몬 공명 결상 타원 계측방법
Dong et al. Improved polarization contrast method for surface plasmon resonance imaging sensors by inert background gold film extinction
Perino et al. Characterization of grating coupled surface plasmon polaritons using diffracted rays transmittance
JP2004317381A (ja) 青果物の非破壊糖度測定装置
JP2005127748A (ja) 光熱変換測定装置及びその方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20071111