Claims (16)
1. Лазерный микроанализатор, содержащий импульсный лазер для формирования плазмы, средства для фокусирования лазерного излучения на поверхности материала объекта, устройство для регистрации спектра, отличающийся тем, что длительность импульса лазера выбрана в диапазоне от 5 до 5000 пс с плотностью мощности излучения, равной или превышающей пороговый уровень пробоя материала.1. Laser microanalyzer containing a pulsed laser for plasma formation, means for focusing laser radiation on the surface of the object material, a device for recording the spectrum, characterized in that the laser pulse duration is selected in the range from 5 to 5000 ps with a radiation power density equal to or greater than threshold level of breakdown of the material.
2. Лазерный микроанализатор по п.1, отличающийся тем, что в состав устройства включен микроскоп.2. The laser microanalyzer according to claim 1, characterized in that the microscope is included in the device.
3. Лазерный микроанализатор по п.1, отличающийся тем, что объект размещен на устройстве пространственного сканирования.3. The laser microanalyzer according to claim 1, characterized in that the object is placed on a spatial scanning device.
4. Лазерный микроанализатор по п.1, отличающийся тем, что объект предпочтительно освещен монохроматически.4. The laser microanalyzer according to claim 1, characterized in that the object is preferably illuminated monochromatically.
5. Лазерный микроанализатор по п.1, отличающийся тем, что в качестве устройства для регистрации спектра выбран многоканальный спектрометр.5. The laser microanalyzer according to claim 1, characterized in that a multi-channel spectrometer is selected as a device for recording the spectrum.
6. Лазерный микроанализатор по п.5, отличающийся тем, что многоканальный спектрометр снабжен матричным устройством для регистрации спектра.6. The laser microanalyzer according to claim 5, characterized in that the multi-channel spectrometer is equipped with a matrix device for recording the spectrum.
7. Лазерный микроанализатор по п.1, отличающийся тем, что в зоне объекта установлены средства для подачи инертного газа в зону формирования плазмы.7. The laser microanalyzer according to claim 1, characterized in that means for supplying an inert gas to the plasma formation zone are installed in the object zone.
8. Лазерный микроанализатор по п.1, отличающийся тем, что в многоканальный спектрометр введен инертный газ.8. The laser microanalyzer according to claim 1, characterized in that an inert gas is introduced into the multichannel spectrometer.
9. Лазерный микроанализатор по п.1, отличающийся тем, что между областью формирования плазмы и многоканальным спектрометром установлен световод.9. The laser microanalyzer according to claim 1, characterized in that a light guide is installed between the plasma forming region and the multichannel spectrometer.
10. Лазерный микроанализатор по п.9, отличающийся тем, что выбран кварцевый световод.10. The laser microanalyzer according to claim 9, characterized in that the quartz fiber is selected.
11. Способ анализа материалов с помощью импульсной лазерной спектроскопии, включающий фокусировку лазерного излучения на поверхности исследуемого объекта, создание плазмы с помощью лазерного импульса, исследование плазмы с помощью спектрального прибора, отличающийся тем, что используют импульс лазера длительностью от 5 до 5000 пикосекунд, при этом выбирают плотность мощности излучения, равную или превышающую пороговый уровень пробоя материала.11. The method of analysis of materials using pulsed laser spectroscopy, including focusing laser radiation on the surface of the object under study, creating a plasma using a laser pulse, studying the plasma using a spectral device, characterized in that they use a laser pulse with a duration of 5 to 5000 picoseconds, while choose a radiation power density equal to or greater than the threshold level of breakdown of the material.
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что между моментом создания плазмы и моментом регистрации спектра вводят регулируемую задержку от 0 до 100 микросекунд и осуществляют регистрацию спектра во временном окне от 1 наносекунды до 10 миллисекунд.12. The method according to claim 11, characterized in that between the moment of plasma creation and the moment of spectrum registration, an adjustable delay of 0 to 100 microseconds is introduced and the spectrum is recorded in a time window of 1 nanosecond to 10 milliseconds.
13. Способ по.п.11, отличающийся тем, что для осуществления послойного анализа объекта дополнительно фокусируют излучение лазера на поверхности, образованной уже снятым слоем.13. The method according to claim 11, characterized in that in order to carry out a layer-by-layer analysis of the object, the laser radiation is further focused on the surface formed by the already removed layer.
14. Способ по п.11, отличающийся тем, что осуществляют анализ элементного состава по спектрам, при этом спектральный диапазон регистрирующего устройства выбирают в области от ультрафиолетовой до ближней инфракрасной части спектра.14. The method according to claim 11, characterized in that the elemental composition is analyzed by spectra, while the spectral range of the recording device is selected in the region from ultraviolet to near infrared.
15. Способ по п. 11, отличающийся тем, что осуществляют анализ химических связей объекта.15. The method according to p. 11, characterized in that they analyze the chemical bonds of the object.
16. Способ по п.11, отличающийся тем, что с учетом результата воздействия предыдущего импульса регулируют значение мощности последующего импульса.16. The method according to claim 11, characterized in that, taking into account the result of the previous pulse, the power value of the subsequent pulse is adjusted.