RU2003135833A - Способ нанесения композиционных покрытий в вакууме - Google Patents

Claims (5)

1. Способ нанесения композиционных покрытий в вакууме на изделия из металлов, включающий электродуговое распыление катодной мишени, обработку образовавшегося потока металлической плазмы в скрещенном электрическом и магнитном поле в полости дополнительного анода и осаждение полученного потока на изделия в атмосфере предварительно ионизированного реакционного и(или) инертного газа, образованного в несамостоятельном газовом разряде, отличающийся тем, что несамостоятельный разряд реакционного и(или) инертного газа зажигают внутри полости дополнительного анода, поток металлической плазмы дополнительно обрабатывают при прохождении через этот разряд и осаждают смешанный поток на поверхность изделия, потенциал которого ниже потенциала дополнительного анода на величину (0...2000)В.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что поверхность изделий перед нанесением покрытий очищают и активируют совместно ионами металла мишени катода и ионами плазмы несамостоятельного разряда сначала инертного газа, а затем реакционного и (или) инертного газа.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение совместного потока на изделия проводят при потенциале изделия меньше потенциала дополнительного анода на величину (0...200)В и периодическом уменьшении этого потенциала на величину (300...2000) В.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение совместного потока проводят при полном давлении реакционного и инертного газа в диапазоне (0,02...1,0) Па, регулируя количество реакционного газа при сохранении выбранной величины полного давления.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что степень ионизации газов в потоке регулируют изменением величины магнитного поля фокусирующего соленоида.