RU2003122540A - Импульсный газоразрядный источник электронного пучка (варианты) - Google Patents

Импульсный газоразрядный источник электронного пучка (варианты) Download PDF

Info

Publication number
RU2003122540A
RU2003122540A RU2003122540/28A RU2003122540A RU2003122540A RU 2003122540 A RU2003122540 A RU 2003122540A RU 2003122540/28 A RU2003122540/28 A RU 2003122540/28A RU 2003122540 A RU2003122540 A RU 2003122540A RU 2003122540 A RU2003122540 A RU 2003122540A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electron beam
mesh anode
gas
cathode
dielectric plate
Prior art date
Application number
RU2003122540/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2241278C1 (ru
Inventor
Александр Разумникович Сорокин (RU)
Александр Разумникович Сорокин
Original Assignee
Институт физики полупроводников Объединенного института физики полупроводников СО РАН (RU)
Институт физики полупроводников Объединенного института физики полупроводников СО РАН
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт физики полупроводников Объединенного института физики полупроводников СО РАН (RU), Институт физики полупроводников Объединенного института физики полупроводников СО РАН filed Critical Институт физики полупроводников Объединенного института физики полупроводников СО РАН (RU)
Priority to RU2003122540/28A priority Critical patent/RU2241278C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2241278C1 publication Critical patent/RU2241278C1/ru
Publication of RU2003122540A publication Critical patent/RU2003122540A/ru

Links

Landscapes

  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Claims (2)

1. Импульсный газоразрядный источник электронного пучка, содержащий катод, на рабочей поверхности которого расположена диэлектрическая пластина, сетчатый анод, область дрейфа электронного пучка за сетчатым анодом, размещенные в газоразрядной камере, и импульсный высоковольтный источник питания, подключенный к катоду и сетчатому аноду, отличающийся тем, что сетчатый анод расположен непосредственно на поверхности диэлектрической пластины.
2. Импульсный газоразрядный источник электронного пучка, содержащий катод, на рабочей поверхности которого расположена диэлектрическая пластина, сетчатый анод, область дрейфа электронного пучка за сетчатым анодом, размещенные в газоразрядной камере, и импульсный высоковольтный источник питания, отличающийся тем, что сетчатый анод расположен непосредственно на поверхности диэлектрической пластины, кроме того, в газоразрядной камере размещен дополнительный электрод, причем расстояние между сетчатым анодом и дополнительным электродом подбирают таким, чтобы напряжение электрического пробоя между ними обеспечивало заданный диапазон рабочих напряжений устройства, а импульсный высоковольтный источник питания подключен к катоду и дополнительному электроду.
RU2003122540/28A 2003-07-18 2003-07-18 Импульсный газоразрядный источник электронного пучка (варианты) RU2241278C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2003122540/28A RU2241278C1 (ru) 2003-07-18 2003-07-18 Импульсный газоразрядный источник электронного пучка (варианты)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2003122540/28A RU2241278C1 (ru) 2003-07-18 2003-07-18 Импульсный газоразрядный источник электронного пучка (варианты)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2241278C1 RU2241278C1 (ru) 2004-11-27
RU2003122540A true RU2003122540A (ru) 2005-01-10

Family

ID=34311115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2003122540/28A RU2241278C1 (ru) 2003-07-18 2003-07-18 Импульсный газоразрядный источник электронного пучка (варианты)

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2241278C1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3905300A3 (en) * 2009-05-15 2022-02-23 Alpha Source, Inc. Ecr particle beam source apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
RU2241278C1 (ru) 2004-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100503466B1 (ko) 방전램프용냉음극,상기냉음극이장치된방전램프,및상기방전램프의동작방법
JP3634870B2 (ja) 放射源
EP2477207A3 (en) Apparatus for generating high-current electrical discharges
US8063564B2 (en) Starting aid for HID lamp
ATE551881T1 (de) Verfahren und einrichtung zum erzeugen insbesondere von euv-strahlung und/oder weicher röntgenstrahlung
CA2255758C (en) Flat radiator
RU2003110016A (ru) Высокочастотный источник электронов, в частности нейтрализатор
RU2003122540A (ru) Импульсный газоразрядный источник электронного пучка (варианты)
RU98633U1 (ru) Генератор импульсного рентгеновского излучения
JP6919753B1 (ja) 紫外線照射装置
JP4140320B2 (ja) エキシマランプ点灯装置
RU98637U1 (ru) Лазер
RU2215383C1 (ru) Плазменный электронный источник
RU2008112458A (ru) Устройство для генерации импульсных пучков быстрых электронов в воздушном промежутке атмосферного давления
RU2444805C1 (ru) Сверхвысокочастотный генератор на основе виртуального катода
RU2314589C2 (ru) Газоразрядный коммутирующий прибор
RU2651579C1 (ru) Газоразрядный источник света
RU2284071C1 (ru) Генератор импульсного рентгеновского излучения
KR100330087B1 (ko) 플라즈마 음극을 이용한 디스플레이 타입의 평판형 램프
RU2654493C1 (ru) Вакуумный разрядник
SU668488A1 (ru) Импульсный холодный катод
JP2006179202A (ja) 平面光源
RU2383079C1 (ru) Способ получения электронного пучка и устройство для его осуществления (варианты)
RU2548240C1 (ru) Разрядная система высокоэффективного газового лазера
SU971022A1 (ru) Источник электронов со взрывным катодом

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090719