RU2003109892A - Способ измерения точности изготовления углоизмерительных структур, наносимых на прозрачный носитель - Google Patents

Claims (3)

1. Способ измерения точности изготовления углоизмерительных структур, наносимых на прозрачный носитель, заключающийся в том, что размещают на едином вращающемся валу два прозрачных носителя с углоизмерительными структурами, из которых один - контролируемый, а другой - эталонный, формируют теневые изображения элементов топологии обоих структур путем освещения последних пучками света, регистрируют с помощью фотоэлектрических преобразователей теневые изображения элементов структур, сравнивают взаимное положение зарегистрированных сигналов и по изменениям во взаимном расположении сигналов судят о точности изготовления контролируемой структуры, отличающийся тем, что полученное теневое изображение элементов топологии контролируемой структуры дополнительно направляют точно назад по оси прошедшего пучка и после повторного прохождения контролируемой структуры регистрируют новое теневое изображение, которое сравнивают с эталонным.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что полученное теневое изображение элементов топологии контролируемой структуры направляют точно назад по оси прошедшего пучка с помощью адаптивного отражателя, установленного на пути пучка, прошедшего через контролируемую структуру.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что полученное теневое изображение элементов топологии контролируемой структуры направляют назад параллельно оси прошедшего пучка с помощью отражателей типа “угол куба” (“триппель-призмы”) или системы “кошачий глаз”, установленных на пути светового пучка в непосредственной близости от места выхода его из прозрачного носителя.