RU2002123838A - Чувствительная к облучению композиция с изменяющимся показателем преломления и способ изменения показателя преломления - Google Patents

Чувствительная к облучению композиция с изменяющимся показателем преломления и способ изменения показателя преломления

Info

Publication number
RU2002123838A
RU2002123838A RU2002123838/04A RU2002123838A RU2002123838A RU 2002123838 A RU2002123838 A RU 2002123838A RU 2002123838/04 A RU2002123838/04 A RU 2002123838/04A RU 2002123838 A RU2002123838 A RU 2002123838A RU 2002123838 A RU2002123838 A RU 2002123838A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
group
alkylene
carbon atoms
arylene
compound
Prior art date
Application number
RU2002123838/04A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2239859C2 (ru
Inventor
Исао НИСИМУРА (JP)
Исао НИСИМУРА
Нобуо БЕССО (JP)
Нобуо БЕССО
Ацуси КУМАНО (JP)
Ацуси КУМАНО
Цутому СИМОКАВА (JP)
Цутому СИМОКАВА
Кендзи ЯМАДА (JP)
Кендзи ЯМАДА
Original Assignee
Джей Эс Эр КОРПОРЕЙШН (JP)
Джей Эс Эр КОРПОРЕЙШН
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Джей Эс Эр КОРПОРЕЙШН (JP), Джей Эс Эр КОРПОРЕЙШН filed Critical Джей Эс Эр КОРПОРЕЙШН (JP)
Publication of RU2002123838A publication Critical patent/RU2002123838A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2239859C2 publication Critical patent/RU2239859C2/ru

Links

Landscapes

  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Claims (17)

1. Чувствительная к облучению композиция с изменяющимся показателем преломления, включающая в себя разлагаемое соединение (А), неразлагаемое соединение (В), имеющее более низкий показатель преломления, чем разлагаемое соединение (А), чувствительное к облучению разлагающее вещество (С) и стабилизатор (D).
2. Композиция по п.1, отличающаяся тем, что максимальная разница между показателем преломления части, которая подвергнута облучению, и показателем преломления части, которая не подвергнута облучению, составляет 0,02 или более.
3. Композиция по п.1 или 2, отличающаяся тем, что соотношение между показателем преломления nB неразлагаемого соединения (В) и показателем преломления nА разлагаемого соединения (А) удовлетворяет следующему выражению (1):
nA-nB ≥ 0,05 (1)
4. Композиция по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что разлагаемое соединение (А) представляет собой разлагаемое кислотой соединение, неразлагаемое соединение (В) представляет собой неразлагаемый кислотой полимер, и чувствительное к облучению разлагающее вещество (С) представляет собой чувствительный к облучению агент, генерирующий кислоту.
5. Композиция по п.4, отличающаяся тем, что разлагаемое кислотой соединение (А) содержит, по меньшей мере, одно соединение, имеющее, по меньшей мере, одну структуру, выбранную из группы, состоящей из структур, представленных следующими формулами (1)-(8):
Figure 00000001
где R1 представляет собой алкиленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу или ариленовую группу;
R2 представляет собой алкиленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу, ариленовую группу, алкилсилиленовую группу или алкилгермиленовую группу
Figure 00000002
где М представляет собой Si или Ge;
R3 представляет собой алкиленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу, ариленовую группу, алкилсилиленовую группу или алкилгермиленовую группу;
R4 представляет собой атом кислорода, алкиленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу, ариленовую группу или одинарную связь;
R5, R6, R7 и R8, каждый независимо, представляют собой атом водорода, алкильную группу, арильную группу, алкокси группу или тиоалкильную группу;
m представляет собой целое число от 0 до 2
Figure 00000003
где R9 и R10, каждый независимо, представляют собой алкиленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу, ариленовую группу, алкилсилиленовую группу или алкилгермиленовую группу
Figure 00000004
где R11 представляет собой оксиалкиленовую группу или одинарную связь;
R12 представляет собой атом водорода, алкильную группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу или арильную группу
Figure 00000005
где R13 представляет собой атом водорода, алкильную группу или арильную группу
Figure 00000006
где R14 представляет собой алкиленовую группу или структуру, представленную следующими формулами (6)-1, (6)-2 или (6)-3:
Figure 00000007
где R15, R16, R17 и R18, каждый независимо, представляют собой атом водорода, цепочечную алкильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, атом хлора, атом брома, атом иода, гидроксильную группу, меркапто группу, карбоксильную группу, алкоксильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, алкилтио группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, галогеналкильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, галогеналкоксильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, галогеналкилтио группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, гидроксиалкильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, меркаптоалкильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, гидроксиалкоксильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, меркаптоалкилтио группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, арильную группу, содержащую от 6 до 10 атомов углерода, или аралкильную группу, содержащую от 7 до 11 атомов углерода
-O-R19-O-, (6)-2
где R19 представляет собой алкиленовую группу
-NH-R20-NH-, (6)-3
где R20 представляет собой алкиленовую группу
Figure 00000008
где R21 представляет собой алкиленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу или ариленовую группу
Figure 00000009
где R22, R23, R24 и R25, каждый независимо, представляют собой атом водорода, цепочечную алкильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, атом хлора, атом брома, атом иода, гидроксильную группу, меркапто группу, карбоксильную группу, алкоксильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, алкилтио группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, галогеналкильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, галогеналкоксильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, галогеналкилтио группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, гидроксиалкильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, меркаптоалкильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, гидроксиалкоксильную группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, меркаптоалкилтио группу, содержащую от 1 до 6 атомов углерода, арильную группу, содержащую от 6 до 10 атомов углерода, или аралкильную группу, содержащую от 7 до 11 атомов углерода.
6. Композиция по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что разлагаемое соединение (А) представляет собой разлагаемое основанием соединение, неразлагаемое соединение (В) представляет собой неразлагаемый основанием полимер, и чувствительное к облучению разлагающее вещество (С) представляет собой чувствительный к облучению агент, генерирующий основание.
7. Композиция по п.6, отличающаяся тем, что разлагаемое соединение (А) содержит, по меньшей мере, одно соединение, имеющее, по меньшей мере, одну структуру, выбранную из группы, состоящей из структур, представленных следующими формулами (9)-(12):
Figure 00000010
где R26 представляет собой алкиленовую группу, аралкиленовую группу или ариленовую группу;
R27 представляет собой алкиленовую группу, аралкиленовую группу, ариленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу, алкилсилиленовую группу или алкилгермиленовую группу;
R28, R29, R30 и R31, каждый независимо, представляют собой атом водорода, алкильную группу, арильную группу, алкоксильную группу или тиоалкильную группу;
i и j, каждый независимо, равен 0 или 1
Figure 00000011
где R32 представляет собой алкиленовую группу, аралкиленовую группу или ариленовую группу;
R33 представляет собой алкиленовую группу, аралкиленовую группу, ариленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу, алкилсилиленовую группу или алкилгермиленовую группу
Figure 00000012
где R34 и R35, каждый независимо, представляют собой алкиленовую группу, аралкиленовую группу, ариленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу, алкилсилиленовую группу или алкилгермиленовую группу
Figure 00000013
где R36 и R37, каждый независимо, представляют собой алкиленовую группу, аралкиленовую группу, ариленовую группу, алкилен-арилен-алкиленовую группу, алкилсилиленовую группу или алкилгермиленовую группу.
8. Композиция по любому из пп.1-7, отличающаяся тем, что стабилизатор (D) представляет собой, по меньшей мере, одно вещество, выбранное из группы, состоящей из аминосоединения, эпоксисоединения, соединения тиирана, соединения оксетана, алкоксиметилмеламинового соединения, алкоксиметилглюколурилового соединения, алкоксиметилбензогуанаминового соединения, соединения алкоксиметилмочевины, соединения изоцианата, соединения цианата, соединения оксазолина, соединения оксазина и силильного соединения.
9. Композиция по п.1, отличающаяся тем, что содержит стабилизатор (D) и дополнительно катализатор взаимодействия разлагаемого соединения (А) со стабилизатором (D).
10. Способ формирования структуры, образованной показателем преломления, включающий в себя этапы, на которых подвергают облучению чувствительную к облучению композицию с изменяющимся показателем преломления, содержащую разлагаемое соединение (А), неразлагаемое соединение (В), чувствительное к излучению разлагающее вещество (С) и стабилизатор (D), и нагревают для взаимодействия стабилизатора (D) с разлагаемым соединением (А) не подвергнутой облучению части.
11. Способ формирования структуры, образованной показателем преломления, включающий в себя этапы, на которых подвергают облучению чувствительную к облучению композицию с изменяющимся показателем преломления, содержащую разлагаемое соединение (А), неразлагаемое соединение (В), имеющее более низкий показатель преломления, чем разлагаемое соединение (А), и чувствительное к излучению разлагающее вещество (С) через шаблон структуры и обрабатывают композицию стабилизатором (D) для взаимодействия разлагаемого соединения (А) не подвергнутой облучению части со стабилизатором (D).
12. Способ формирования структуры, образованной показателем преломления, включающий в себя этапы, на которых подвергают облучению чувствительную к облучению композицию с изменяющимся показателем преломления, содержащую разлагаемое соединение (А), неразлагаемое соединение (В), имеющее более низкий показатель преломления, чем разлагаемое соединение (А), и чувствительное к излучению разлагающее вещество (С) через шаблон структуры и нагревают для разложения разлагаемого полимера не подвергнутой облучению части.
13. Способ по любому из пп.10, 11 или 12, отличающийся тем, что сформированная структура, образованная показателем преломления, имеет поры или не имеет никаких пор в подвергнутой облучению части.
14. Образованная показателем преломления структура, сформированная способом по любому из пп.10-12 или 13.
15. Образованная показателем преломления структура по п.14, которая состоит из первой области, имеющей или неимеющей пор, и второй области, имеющей более высокий показатель преломления, чем первая область, и неимеющей никаких пор.
16. Образованная показателем преломления структура по п.15, отличающаяся тем, что первая область имеет более низкий модуль упругости, чем вторая область.
17. Оптический материал, имеющий образованную показателем преломления структуру, сформированную способом по любому из пп.10-12 или 13.
RU2002123838/04A 2000-08-29 2001-08-24 Чувствительная к облучению композиция с изменяющимся показателем преломления и способ изменения показателя преломления RU2239859C2 (ru)

Applications Claiming Priority (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000258524 2000-08-29
JP2000265483 2000-09-01
JP2000345764 2000-11-13
JP2000-324508 2001-01-26
JP2001-018765 2001-01-26
JP2001018765 2001-01-26
JP2000-360075 2001-01-26
JP2000-265483 2001-01-26
JP2000-345764 2001-01-26
JP2000-258524 2001-01-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002123838A true RU2002123838A (ru) 2004-03-20
RU2239859C2 RU2239859C2 (ru) 2004-11-10

Family

ID=34317578

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002123838/04A RU2239859C2 (ru) 2000-08-29 2001-08-24 Чувствительная к облучению композиция с изменяющимся показателем преломления и способ изменения показателя преломления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2239859C2 (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
RU2239859C2 (ru) 2004-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2003108883A (ru) Чувствительные к излучению копозиции с изменяющейся диэлектрической проницаемостью и способ изменения диэлектрической проницаемости
KR840008171A (ko) 활성방사선에 의한 부가반응방법 및 그 구성조성물
KR880011127A (ko) 비닐실릴알콕시 아릴베조트리아졸 화합물 및 이로부터 제조된 uv 흡수조성물
BR8506316A (pt) Processo de preparacao de um catalisador de hidrossililacao complexo platina-olefina,complexo platina-alcenilciclo-hexenoe composicao organopolis-siloxanica
KR910006777A (ko) 포지티브-작용성 감조사성 혼합물 및 이로부터 제조된 감조사성 복사물질
Park et al. OH/OD initiated oxidation of isoprene in the presence of O2 and NO
DE3774999D1 (de) Aethylenoxid-katalysator und verfahren zur katalytischen herstellung von aethylenoxid.
KR960032093A (ko) 화학 증폭형 감방사선성 수지 조성물
RU2002123926A (ru) Стабилизация синтетических полимеров
ATE135001T1 (de) 2-substituierte phenyl-2-oxazolin-oder thiazolinderivate, verfahren zu ihrer herstellung und diese enthaltende akarizide und insektizide
KR20010052534A (ko) 광중합성 치과용 조성물
KR910004641A (ko) 모노-및 디-아실포스핀 옥사이드
RU2002130276A (ru) Радиационно-чувстивительная композиция, изменяющая показатель преломления, и ее применение
EP1206946A4 (en) MEDICAL SUBSTANCES AND PROCESS FOR OBTAINING THEM
KR910012800A (ko) 염료-벤질트리아릴 보레이트 광개시제
RU2002123838A (ru) Чувствительная к облучению композиция с изменяющимся показателем преломления и способ изменения показателя преломления
JP2004310004A5 (ru)
KR880004164A (ko) 플루오로 시약 조성물의 제조방법
RU2002128012A (ru) Чувствительная к облучению композиция, изменяющая показатель преломления
ATE89557T1 (de) Verfahren zur selektiven epoxidation von ungesaettigten (meth)acrylverbindungen sowie neu erhaltene bifunktionelle (meth)acrylate.
KR970071137A (ko) 화학 증폭 포지형 레지스트 재료 및 패턴 형성 방법
Hiura et al. Time-resolved resonance Raman spectroscopy of diphenylacetylene: structures and dynamics of the lowest excited triplet state, radical cation, and radical anion
HUP9900221A2 (hu) Eljárás stabilizált és szagmentesített szerves poliszulfidok előállítására
DE69024220T2 (de) Verfahren zur herstellung halogenierter 2,2-bis(trifluormethyl)-1,3-dioxolane
KR880000381A (ko) 치환 3-아미노-2-벤조일시클로헥스-2-에논과 이를 이용한 제초제 조성물 및 식물체 억제방법

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20140825