RU2002119440A -
A method of producing carbon nanotubes
- Google Patents
A method of producing carbon nanotubes
Info
Publication number
RU2002119440A
RU2002119440ARU2002119440/02ARU2002119440ARU2002119440ARU 2002119440 ARU2002119440 ARU 2002119440ARU 2002119440/02 ARU2002119440/02 ARU 2002119440/02ARU 2002119440 ARU2002119440 ARU 2002119440ARU 2002119440 ARU2002119440 ARU 2002119440A
Московский инженерно-физический институт (государственный университет)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский инженерно-физический институт (государственный университет)filedCriticalМосковский инженерно-физический институт (государственный университет)
Priority to RU2002119440ApriorityCriticalpatent/RU2218299C1/en
Application grantedgrantedCritical
Publication of RU2218299C1publicationCriticalpatent/RU2218299C1/en
Publication of RU2002119440ApublicationCriticalpatent/RU2002119440A/en
Способ получения углеродных нанотрубок, включающий напыление углеродных пленок в вакуумной камере в атмосфере инертного газа, отличающийся тем, что напыление углеродных пленок, содержащих нанотрубки, производится путем магнетронного распыления на постоянном токе, при этом процесс распыления проводят при давлении инертного газа в камере (1-5)·10-2 Торр и силе постоянного тока питания мишени 40-100 мА.A method of producing carbon nanotubes, including the deposition of carbon films in a vacuum chamber in an inert gas atmosphere, characterized in that the deposition of carbon films containing nanotubes is carried out by direct current magnetron sputtering, while the spraying process is carried out at an inert gas pressure in the chamber (1- 5) · 10 -2 Torr and the direct current power of the target is 40-100 mA.
RU2002119440A2002-07-172002-07-17A method to production of carbon nanopipes
RU2218299C1
(en)