RU2002116658A - Способ фазоконтрастной рентгенографии и устройство для его осуществления-малоугловой рентгеновский интерферометр на основе фазомодулирующих дифракционных решеток - Google Patents
Способ фазоконтрастной рентгенографии и устройство для его осуществления-малоугловой рентгеновский интерферометр на основе фазомодулирующих дифракционных решеток Download PDFInfo
- Publication number
- RU2002116658A RU2002116658A RU2002116658/28A RU2002116658A RU2002116658A RU 2002116658 A RU2002116658 A RU 2002116658A RU 2002116658/28 A RU2002116658/28 A RU 2002116658/28A RU 2002116658 A RU2002116658 A RU 2002116658A RU 2002116658 A RU2002116658 A RU 2002116658A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- fmdr2
- radiation
- fmdr1
- fmdr3
- detector
- Prior art date
Links
Landscapes
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Claims (5)
1. Способ получения проекционного изображения внутренней структуры объекта с помощью проникающего излучения, в соответствии с которым используется источник излучения, детектор излучения, рентгеновские фильтры для ограничения спектрального диапазона детектируемого излучения, три планарных рентгенооптических элемента для периодической модуляции рентгеновского излучения ФМДР1, ФМДР2, ФМДР3, ориентированные параллельно по отношению друг к другу, каждый из которых представляет собой тонкую подложку с периодической структурой из материала, взаимодействующего с излучением, где три вышеуказанных элемента располагаются между источником и детектором, так что излучение от вышеуказанного источника проходит последовательно через ФМДР1, ФМДР2, ФМДР3 и взаимодействуя с объектом, расположенным близко к ФМДР2 (до него или после него), регистрируется затем детектором, отличающийся тем, что все три вышеназванные рентгенооптические элементы являются фазомодулирующими дифракционными решетками (ФМДР), которые слабо поглощают излучение от вышеназванного источника, и, взаимодействуя с этим излучением, вызывают его фазовую модуляцию, действуя совместно так, что посредством ФМДР1 производят угловое разделение каждого из лучей, участвующих в формировании проекционного изображения объекта, на когерентные составляющие, которые разделяются пространственно на пути от ФМДР1 до ФМДР2 посредством достаточного удаления ФМДР1 и ФМДР2 друг от друга, и получают разный набег фазы при их прохождении через неоднородности в объекте, посредством ФМДР2 разделяют каждый из вышеназванных взаимно когерентных лучей на две части, формируя когерентные лучи, которые сходятся на рабочей поверхности ФМДР3, посредством ФМДР3 из когерентных лучей, сходящихся на его рабочей плоскости, формируют когерентные параллельные лучи, которые, интерферируя друг с другом, образуют луч, интенсивность которого зависит от разницы в набеге фазы сходящихся лучей и характеризует градиент показателя преломления исследуемого объекта, при этом детектор располагают на достаточном удалении от ФМДР3, чтобы разделить лучи, дающие контраст противоположного знака.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для уменьшения толщины фазомодулирующего вещества слоя используют дифракционные решетки с частичной фазовой модуляцией так, что дифракционные максимумы нулевого порядка этих решеток соизмеримы по интенсивности с максимумами первого порядка.
3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что для обеспечения настройки рентгенооптической схемы ФМДР1, ФМДР2, ФМДР3 и детектор позиционируют так, что если расстояние между ФМДР1 и ФМДР2 равно l2, расстояние между ФМДР2 и ФМДР3 равно l3, R - пространственное разрешение детектора, удаленного от ФМДР3 на расстояние l4, a d1, d2, d3 - периоды фазомодулирующих решеток, то с большой точностью выполняются следующие условия 1) рабочие плоскости ФМДР1, ФМДР2 и ФМДРЗ компланарны друг другу, 2) направления периодической модуляции ФМДР1,ФМДР2 и ФМДРЗ совпадают, 3) условие углового разделения и последующего углового совмещения (параллелизации) интерферирующих пучков
a1/d1-a2/d2+a3/d3=-b1/d1+b2/d2-b3/d3,
где ai=bi=1, для i-й (i=1,2,3) решетки с полной фазовой модуляцией, аi=1, bi=0 или ai=0, bi=1 для i-й решетки с неполной фазовой модуляцией, 4) условие пространственного разделения и последующего пространственного совмещения (фокусировки) интерферирующих пучков на ФМДР3
a1(l2+l3)/d1-a2l3/d2=-b1(l2+l3)/d1+b2l3/d2,
5) условие разделения изображений с контрастом разного знака: детектор удален от ФМДР3 на такое расстояние, что для каждой длины волны λ из используемого спектрального диапазона излучения выполняется неравенство l4>Rd3/λ.
4. Устройство для получения проекционного изображения внутренней структуры объекта с помощью проникающего излучения, содержащее источник излучения, детектор излучения, средства для ограничения спектрального диапазона детектируемого излучения, три планарных рентгенооптических элемента, средства для обеспечения точного углового и линейного позиционирования этих элементов по отношению друг к другу, где три вышеуказанных элемента располагаются между источником и детектором, так что излучение от вышеуказанного источника проходит последовательно через эти элементы и регистрируется линейным или двумерным позиционно-чувствительным детектором, отличающееся тем, что все три вышеназванных планарных рентгенооптических элемента являются фазомодулирующими дифракционными решетками - ФМДР1 с периодом d1, ФМДР2 периодом d2 и ФМДР3 с периодом d3, которые, взаимодействуя с излучением, производят периодическую модуляцию фазы, так что в отсутствие объекта ФМДР1 и ФМДР2, действуя совместно создают в плоскости ФМДР3 сильную модуляцию фазы, причем средства позиционирования ФМДР с высокой точностью обеспечивают пространственное расположение вышеназванных элементов схемы таким образом, что если расстояние между ФМДР1 и ФМДР2 равно l2, расстояние ФМДР2 и ФМДРЗ равно l3, R-пространственное разрешение детектора, удаленного от ФМДРЗ на расстояние l4, а d1, d2, d3 - периоды фазомодулирующих решеток, то с высокой точностью одновременно выполняются следующие условия: 1) рабочие плоскости ФМДР1, ФМДР2 и ФМДРЗ компланарны друг другу, 2) направления периодической модуляции ФМДР1, ФМДР2 и ФМДРЗ совпадают, 3) условие углового разделения и последующего углового совмещения (параллелизации) интерферирующих пучков
a1/d1-a2/d2+a3/d3=-b1/d1+b2/d2-b3/d3,
где ai=bi=1, для i-й (i=1, 2, 3) решетки с полной фазовой модуляцией, ai=1 bi=0 или ai=0, bi=1 для i-й решетки с неполной фазовой модуляцией, дающей дифракционный максимум нулевого порядка, 4) условие пространственного разделения и последующего пространственного совмещения (фокусировки) интерферирующих пучков на ФМДР3
a1(l2+l3)/d1-a2l3/d2=-b1(l2+l3)/d1+b2l3/d2,
5) условие разделения изображений с контрастом разного знака: детектор удален от ФМДРЗ на такое расстояние, что для каждой длины волны λ из используемого спектрального диапазона излучения выполняется неравенство l4>Rd3/λ.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2002116658/28A RU2002116658A (ru) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | Способ фазоконтрастной рентгенографии и устройство для его осуществления-малоугловой рентгеновский интерферометр на основе фазомодулирующих дифракционных решеток |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2002116658/28A RU2002116658A (ru) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | Способ фазоконтрастной рентгенографии и устройство для его осуществления-малоугловой рентгеновский интерферометр на основе фазомодулирующих дифракционных решеток |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2002116658A true RU2002116658A (ru) | 2004-03-10 |
Family
ID=35847506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2002116658/28A RU2002116658A (ru) | 2002-06-24 | 2002-06-24 | Способ фазоконтрастной рентгенографии и устройство для его осуществления-малоугловой рентгеновский интерферометр на основе фазомодулирующих дифракционных решеток |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2002116658A (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013126296A1 (en) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | University Of Massachusetts Medical School | Apparatus and method for x-ray phase contrast imaging |
RU2562879C2 (ru) * | 2009-12-10 | 2015-09-10 | Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. | Устройство для фазоконтрастного формирования изображений, содержащее перемещаемый элемент детектора рентгеновского излучения, и соответствующий способ |
RU2663176C2 (ru) * | 2013-09-30 | 2018-08-01 | Конинклейке Филипс Н.В. | Устройство получения дифференциального фазоконтрастного изображения с подвижной решеткой(ами) |
-
2002
- 2002-06-24 RU RU2002116658/28A patent/RU2002116658A/ru not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2562879C2 (ru) * | 2009-12-10 | 2015-09-10 | Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. | Устройство для фазоконтрастного формирования изображений, содержащее перемещаемый элемент детектора рентгеновского излучения, и соответствующий способ |
WO2013126296A1 (en) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | University Of Massachusetts Medical School | Apparatus and method for x-ray phase contrast imaging |
RU2663176C2 (ru) * | 2013-09-30 | 2018-08-01 | Конинклейке Филипс Н.В. | Устройство получения дифференциального фазоконтрастного изображения с подвижной решеткой(ами) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105612460B (zh) | 独立于偏振的干涉仪 | |
US7483147B2 (en) | Apparatus and method for measuring thickness and profile of transparent thin film using white-light interferometer | |
TWI636280B (zh) | 物鏡系統 | |
TW200931208A (en) | Alignment method and apparatus, lithographic apparatus, metrology apparatus and device manufacturing method | |
CN105359039B (zh) | 检验设备和方法、光刻设备、光刻处理单元以及器件制造方法 | |
US20130335819A1 (en) | Systems and methods for illumination phase control in fluorescence microscopy | |
JP5787483B2 (ja) | 計測装置及び露光装置 | |
CN107924132A (zh) | 检查设备、检查方法和制造方法 | |
DE112009001652T5 (de) | Mehrkanal-Erfassung | |
CN105807573B (zh) | 用于套刻误差检测的装置和方法 | |
TW201921147A (zh) | 量測參數之方法及裝置 | |
TW200403541A (en) | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby | |
CN109581643B (zh) | 傅里叶叠层显微成像装置及方法 | |
TW201219747A (en) | Self-referencing interferometer, alignment system, and lithographic apparatus | |
US10036630B1 (en) | Three-dimensional imaging using a multi-phase projector | |
JPS631031A (ja) | 倍率誤差検出装置及びこの倍率誤差検出装置を用いる結像装置 | |
CN108168704B (zh) | 基于双周期阶梯相位反射镜的红外偏振干涉成像光谱仪 | |
CN105278253B (zh) | 套刻误差测量装置及方法 | |
CN108121059A (zh) | 一种基于结构光照明的sted并行显微成像系统 | |
CN109163673A (zh) | 一种多波长和相移干涉双同步的表面实时测量方法及系统 | |
JP2017072526A (ja) | 偏光測定装置、偏光測定方法、検査装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 | |
CN105182701A (zh) | 一种同步辐射x射线大面积干涉光刻系统 | |
CN101487695B (zh) | 一种多灵敏度制栅云纹干涉仪 | |
CN109643071A (zh) | 对准方法 | |
RU2002116658A (ru) | Способ фазоконтрастной рентгенографии и устройство для его осуществления-малоугловой рентгеновский интерферометр на основе фазомодулирующих дифракционных решеток |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20050625 |