Claims (2)
1. Способ интерполяции порядка интерференции, который заключается в том, что измеряемое перемещение преобразуют с помощью оптико-электронного преобразователя в интерференционный сигнал, из которого осуществляют формирование электрического сигнала, получают набор электрических сигналов, сдвинутых по фазе на π/n, отличающийся тем, что задают число разрядов р выходного кода, создают циклы измерения, включающие последовательность из р тактов, в каждом такте из набора электрических сигналов в качестве опорного выбирают сигнал, являющийся серединой набора и делящий его на две половины, сравнивают фазы сигналов, полученного из интерференционного сигнала, и опорного, по результатам сравнения в качестве набора электрических сигналов для последующего такта выбирают одну из половин набора электрических сигналов предыдущего такта, по совокупности результатов сравнения за р тактов создают р-разрядный выходной код, по которому судят о фазовом сдвиге световых волн.1. The method of interpolation of the order of interference, which consists in the fact that the measured movement is converted using an optoelectronic converter into an interference signal from which the electrical signal is generated, a set of electrical signals is obtained that are phase shifted by π / n, characterized in that the number of bits p of the output code is set, measurement cycles are created that include a sequence of p clocks; in each clock, from a set of electrical signals, a signal that is the middle of the set and dividing it into two halves, the phases of the signals obtained from the interference signal are compared with the reference one; according to the results of the comparison, one of the half of the set of electric signals of the previous cycle is selected as a set of electrical signals for the next clock cycle; p-bit output code used to judge the phase shift of light waves.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что управляют числом разрядов р выходного кода путем формирования для разных циклов измерения совокупность двух значений p1 и р2.2. The method according to claim 1, characterized in that the number of bits p of the output code is controlled by forming a combination of two values p 1 and p 2 for different measurement cycles.