RU2001134500A - MEASURING INFRARED RADIATION USING SiC - Google Patents

MEASURING INFRARED RADIATION USING SiC

Info

Publication number
RU2001134500A
RU2001134500A RU2001134500/28A RU2001134500A RU2001134500A RU 2001134500 A RU2001134500 A RU 2001134500A RU 2001134500/28 A RU2001134500/28 A RU 2001134500/28A RU 2001134500 A RU2001134500 A RU 2001134500A RU 2001134500 A RU2001134500 A RU 2001134500A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sic crystal
infrared radiation
sic
crystal
substrate
Prior art date
Application number
RU2001134500/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2218631C2 (en
Inventor
Джеймс Д. Парсонс
Original Assignee
Хетрон Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US09/316,239 external-priority patent/US6239432B1/en
Application filed by Хетрон Корпорейшн filed Critical Хетрон Корпорейшн
Publication of RU2001134500A publication Critical patent/RU2001134500A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2218631C2 publication Critical patent/RU2218631C2/en

Links

Claims (10)

1. Схема, управляемая инфракрасным излучением, содержащая тело кристалла SiC (6), поглощающее инфракрасное излучение и открытое для приема инфракрасного излучения (4), и электрическую схему (8, 12), подсоединенную для подачи электрического сигнала в тело кристалла SiC, причем тело кристалла SiC реагирует на падающее инфракрасное излучение, изменяя свою реакцию на электрический сигнал, и закреплено в монтажной конструкции, включающей в себя подложку из A1N (46) и электропроводный монтажный слой (48а, 48b), содержащий W, WC или W2C, который электрически и механически соединяет тело кристалла SiC с подложкой.1. An infrared-controlled circuit comprising an SiC crystal body (6), absorbing infrared radiation and open to receiving infrared radiation (4), and an electric circuit (8, 12) connected to supply an electrical signal to the SiC crystal body, wherein the body SiC crystal reacts to incident infrared radiation, changing its response to an electrical signal, and is fixed in an assembly structure including an A1N substrate (46) and an electrically conductive assembly layer (48a, 48b) containing W, WC, or W 2 C, which electrically and fur nical connects the SiC body to the substrate crystal. 2. Схема, управляемая инфракрасным излучением по п.1, в которой монтажный слой содержит адгезивный слой из W, WC или W2C (54a, 54b), прилипающий к подложке, и слой металлизации (52а, 52b), прилипающий к адгезивному слою и связанный с электродами (20а, 20b) для тела кристалла SiC, причем упомянутый слой металлизации имеет коэффициент теплового расширения, который не более чем примерно в 3,5 раза превосходит аналогичный коэффициент подложки во всем диапазоне температур, представляющем интерес.2. The infrared controlled circuit according to claim 1, wherein the mounting layer comprises an adhesive layer of W, WC or W 2 C (54a, 54b) adhering to the substrate, and a metallization layer (52a, 52b) adhering to the adhesive layer and coupled to the electrodes (20a, 20b) for the body of the SiC crystal, said metallization layer having a thermal expansion coefficient that is no more than about 3.5 times that of the substrate coefficient over the entire temperature range of interest. 3. Схема, управляемая инфракрасным излучением по п.1, дополнительно включающая множество электродных контактных площадок (50а, 50b), имеющих тот же состав, что и монтажный слой, которые электрически и механически соединены с подложкой и электрически соединены с монтажным слоем.3. The infrared controlled circuit according to claim 1, further comprising a plurality of electrode contact pads (50a, 50b) having the same composition as the mounting layer, which are electrically and mechanically connected to the substrate and electrically connected to the mounting layer. 4. Датчик мощности или энергии инфракрасного излучения, содержащий тело кристалла SiC (6), открытое для приема инфракрасного излучения (4), схему возбуждения (8, 12), скомпонованную таким образом, чтобы подавать либо регулируемое напряжение, либо регулируемый ток на тело кристалла SiC, и выходную схему, включающую в себя датчик тока (10) для тела кристалла SiC в случае подачи регулируемого напряжения из схемы возбуждения, либо датчик напряжения (14) для тела кристалла SiC в случае подачи регулируемого тока из схемы возбуждения, причем выходная схема обеспечивает индикацию мощности или энергии инфракрасного излучения, падающего на тело кристалла SiC в диапазоне волн, представляющем интерес, в котором тело кристалла SiC закреплено в монтажной конструкции, содержащей подложку из AlN (46) и электропроводный монтажный слой (48а, 48b), содержащий W, WC или W2C, который электрически и механически соединяет тело кристалла SiC с подложкой.4. Power or energy sensor of infrared radiation, containing the body of the SiC crystal (6), open to receive infrared radiation (4), an excitation circuit (8, 12), arranged in such a way as to supply either an adjustable voltage or an adjustable current to the crystal body SiC, and an output circuit including a current sensor (10) for the SiC crystal body in the case of supplying a controlled voltage from the drive circuit, or a voltage sensor (14) for the SiC crystal body in the case of supplying a controlled current from the drive circuit, the output circuit Shows an indication of the power or energy of infrared radiation incident on the SiC crystal body in the wavelength range of interest, in which the SiC crystal body is fixed in a mounting structure comprising an AlN substrate (46) and an electrically conductive mounting layer (48a, 48b) containing W, WC or W 2 C, which electrically and mechanically connects the body of a SiC crystal to a substrate. 5. Устройство по п.4, в котором в тело кристалла SiC введены легирующие примеси так, что оно реагирует на инфракрасное излучение в диапазоне волн, представляющем интерес, изменяя свое сопротивление в соответствии с уровнем легирования.5. The device according to claim 4, in which dopants are introduced into the body of the SiC crystal so that it reacts to infrared radiation in the wavelength range of interest, changing its resistance in accordance with the doping level. 6. Датчик по п.4, в котором тело кристалла SiC расположено таким образом, что известно, насколько оно подвергается облучению инфракрасным излучением (38) относительно уровня инфракрасного излучения, принимаемого тестируемым телом (28), чью температуру требуется измерить, а выходная схема обеспечивает индикацию температуры тестируемого тела в функции сопротивления тела кристалла SiC.6. The sensor according to claim 4, in which the body of the SiC crystal is located in such a way that it is known how much it is exposed to infrared radiation (38) relative to the level of infrared radiation received by the test body (28), whose temperature needs to be measured, and the output circuit provides indication of the temperature of the test body as a function of the resistance of the body of the SiC crystal. 7. Схема варистора, управляемого инфракрасным излучением, включающая рабочую схему (68, 70), тело кристалла SiC (66), включенное в рабочую схему, и регулируемый источник инфракрасного излучения (72), скомпонованный для направления инфракрасного излучения (74) на тело кристалла SiC и для регулирования его сопротивления, и в связи с этим регулирования работы рабочей схемы в функции характеристик инфракрасного излучения, в которой тело кристалла SiC закреплено в монтажной конструкции, включающей подложку из AlN (46) и электропроводный монтажный слой (48а, 48b), содержащий W, WC или W2C, который электрически и механически соединяет тело кристалла SiC с подложкой.7. The scheme of the varistor controlled by infrared radiation, including the working circuit (68, 70), the body of the SiC crystal (66), included in the working circuit, and an adjustable infrared radiation source (72), arranged to direct infrared radiation (74) on the crystal body SiC and to regulate its resistance, and in this regard, regulate the operation of the working circuit as a function of the characteristics of infrared radiation, in which the body of the SiC crystal is fixed in a mounting structure including an AlN substrate (46) and an electrically conductive mounting layer (48a, 48b), containing W, WC or W 2 C, which electrically and mechanically connects the body of the SiC crystal to the substrate. 8. Способ использования инфракрасного излучения, заключающийся в том, что подают электрический сигнал в тело кристалла SiC (6), и подают инфракрасное излучение (4) на тело кристалла SiC для его нагрева и в связи с этим изменения сопротивления тела кристалла, которое регулирует реакцию тела кристалла на электрический сигнал,8. The method of using infrared radiation, which consists in supplying an electrical signal to the body of the SiC crystal (6), and applying infrared radiation (4) to the body of the SiC crystal to heat it and, therefore, changing the resistance of the crystal body, which regulates the reaction crystal body to an electrical signal, в котором тело кристалла SiC закреплено в монтажной конструкции (46), содержащей подложку из AlN и электропроводный монтажный слой (48а, 48b), содержащий W, WC или W2C, который электрически и механически соединяет тело кристалла SiC с подложкой.in which the body of the SiC crystal is fixed in the mounting structure (46) comprising an AlN substrate and an electrically conductive mounting layer (48a, 48b) comprising W, WC or W 2 C, which electrically and mechanically connects the body of the SiC crystal to the substrate. 9. Способ по п.8, в котором подаваемый электрический сигнал содержит сигнал напряжения (8) или тока (12), дополнительно содержащей измерение результирующего тока (10) через тело кристалла SiC в случае подачи сигнала напряжения, либо результирующего напряжения (14) на тело кристалла SiC в случае подачи сигнала тока для обеспечения индикации мощности или энергии инфракрасного излучения.9. The method according to claim 8, in which the supplied electrical signal contains a voltage signal (8) or current (12), further comprising measuring the resulting current (10) through the body of the SiC crystal in the case of a voltage signal or the resulting voltage (14) to the body of the SiC crystal in the case of a current signal to provide an indication of the power or energy of infrared radiation. 10. Способ по п.8 или 9, дополнительно содержащий облучение тела кристалла SiC и тестируемого тела (28), чью температуру требуется измерить, непосредственно зависящими друг от друга уровнями инфракрасного излучения и измерение реакции тела кристалла SiC на электрический сигнал в качестве индикации температуры тестируемого тела.10. The method according to claim 8 or 9, further comprising irradiating the body of the SiC crystal and the test body (28), whose temperature is required to be measured, directly depending on each other by the levels of infrared radiation and measuring the reaction of the body of the SiC crystal to an electrical signal as an indication of the temperature of the test body.
RU2001134500/28A 1999-05-21 2000-03-20 INFRARED RADIATION CONTROLLED CIRCUIT ( VARIANTS ), INFRARED RADIATION DETECTOR AND METHOD OF EMPLOYMENT OF INFRARED RADIATION BASED ON SiC RU2218631C2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/316,239 1999-05-21
US09/316,239 US6239432B1 (en) 1999-05-21 1999-05-21 IR radiation sensing with SIC

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2001134500A true RU2001134500A (en) 2003-11-27
RU2218631C2 RU2218631C2 (en) 2003-12-10

Family

ID=23228175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001134500/28A RU2218631C2 (en) 1999-05-21 2000-03-20 INFRARED RADIATION CONTROLLED CIRCUIT ( VARIANTS ), INFRARED RADIATION DETECTOR AND METHOD OF EMPLOYMENT OF INFRARED RADIATION BASED ON SiC

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6239432B1 (en)
EP (1) EP1196953A4 (en)
JP (1) JP3303974B1 (en)
CN (1) CN1189948C (en)
AU (1) AU3908100A (en)
RU (1) RU2218631C2 (en)
TW (1) TW496950B (en)
WO (1) WO2000072385A1 (en)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6576972B1 (en) * 2000-08-24 2003-06-10 Heetronix High temperature circuit structures with expansion matched SiC, AlN and/or AlxGa1-xN(x>0.69) circuit device
US6989574B2 (en) 2000-08-24 2006-01-24 Heetronix High temperature circuit structures with thin film layer
US6995691B2 (en) * 2001-02-14 2006-02-07 Heetronix Bonded structure using reacted borosilicate mixture
US6713762B2 (en) * 2001-07-16 2004-03-30 Heetronix Acoustic absorption electromagnetic radiation sensing with SIC
US6883370B2 (en) * 2002-06-28 2005-04-26 Heetronix Mass flow meter with chip-type sensors
US7106167B2 (en) * 2002-06-28 2006-09-12 Heetronix Stable high temperature sensor system with tungsten on AlN
US7125163B2 (en) * 2003-11-24 2006-10-24 The Boeing Company Simple high accuracy high energy calorimeter
US20050236616A1 (en) * 2004-04-26 2005-10-27 Horng-Huei Tseng Reliable semiconductor structure and method for fabricating
FR2925158B1 (en) * 2007-12-12 2011-07-01 Ulis DEVICE FOR THE DETECTION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION COMPRISING A RESISTIVE IMAGING BOLOMETER, SYSTEM COMPRISING A MATRIX OF SUCH DEVICES AND METHOD FOR READING AN IMAGING BOLOMETER OF SUCH A SYSTEM
EP2924402A4 (en) * 2012-11-26 2016-01-06 Panasonic Ip Man Co Ltd Infrared detecting device
IL238339B (en) * 2014-08-04 2020-05-31 Sensors Unlimited Inc Low noise hybridized detector using charge transfer
TWI509230B (en) * 2014-12-25 2015-11-21 Univ Nat Cheng Kung Graphene optoelectronic detector and method for detecting photonic and electromagnetic energy by using the same
RU2709413C1 (en) * 2019-04-26 2019-12-17 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный университет" Ir-radiation laser detector
WO2021168693A1 (en) * 2020-02-26 2021-09-02 Shenzhen Xpectvision Technology Co., Ltd. Radiation detector

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6019641B2 (en) * 1980-02-26 1985-05-17 松下電器産業株式会社 thermistor
US4695733A (en) * 1984-10-17 1987-09-22 Philip Pesavento Photoconductive power switch
JPH0625695B2 (en) * 1988-09-07 1994-04-06 綜合警備保障株式会社 Infrared detector
JP2840735B2 (en) * 1989-05-26 1998-12-24 日本カーボン株式会社 Infrared detector
KR970063801A (en) * 1996-02-22 1997-09-12 김광호 A thermocouple of a semiconductor device manufacturing apparatus,

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2001134500A (en) MEASURING INFRARED RADIATION USING SiC
US5917272A (en) Oven-heated crystal resonator and oscillator assembly
RU2003107836A (en) HIGH TEMPERATURE SCHEME STRUCTURES
DE60328904D1 (en) SWITCHING SUPPLY AND METHOD
RU2218631C2 (en) INFRARED RADIATION CONTROLLED CIRCUIT ( VARIANTS ), INFRARED RADIATION DETECTOR AND METHOD OF EMPLOYMENT OF INFRARED RADIATION BASED ON SiC
TW201126890A (en) Constant-temperature type crystal oscillator
KR101074822B1 (en) Apparatus for solar cell reliability test
JPH0317381B2 (en)
CN212230437U (en) InSb sensitive element, InSb photoelectric infrared sensor and detector
DK0693677T3 (en) Power supply device, especially for electrically operated measuring instruments
CN101261157B (en) Rapid response infrared detector and method for making same
CN114324494A (en) Semiconductor film gas sensor
CN111525028B (en) Low temperature variable resistor regulated by electric pulse
DK1082877T3 (en) Flexible flat heating element
US4940896A (en) Pyroelectric calorimeter
JP3248882B2 (en) Structure of highly stable piezoelectric oscillator
US4719348A (en) Optical sensor having heating element to heat amorphous semiconductor film
JPS53131781A (en) Condensing type solar battery device
KR100575651B1 (en) Solid electrolyte carbondioxide sensor and manufacturing method thereof
JPS6432127A (en) Support for infrared detecting element
JPH05323047A (en) Apparatus and method for measuring snowfall
KR200244263Y1 (en) Generator of appling thermocouple
RU95104197A (en) Electric heater and material of resistive layer for its manufacture
RU2155442C1 (en) Quartz-crystal resonator with internal thermostatic control
SU509842A1 (en) Device for testing semiconductor solar batteries