RU2001116440A - Датчик термоанемометра - Google Patents

Датчик термоанемометра

Info

Publication number
RU2001116440A
RU2001116440A RU2001116440/28A RU2001116440A RU2001116440A RU 2001116440 A RU2001116440 A RU 2001116440A RU 2001116440/28 A RU2001116440/28 A RU 2001116440/28A RU 2001116440 A RU2001116440 A RU 2001116440A RU 2001116440 A RU2001116440 A RU 2001116440A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
hot
wire anemometer
anemometer sensor
sensing element
sensor
Prior art date
Application number
RU2001116440/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2207576C2 (ru
Inventor
Александр Николаевич Шиплюк
Владимир Александрович Селезнев
Владимир Михайлович Анискин
Original Assignee
Институт теоретической и прикладной механики СО РАН
Filing date
Publication date
Application filed by Институт теоретической и прикладной механики СО РАН filed Critical Институт теоретической и прикладной механики СО РАН
Priority to RU2001116440A priority Critical patent/RU2207576C2/ru
Priority claimed from RU2001116440A external-priority patent/RU2207576C2/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2207576C2 publication Critical patent/RU2207576C2/ru
Publication of RU2001116440A publication Critical patent/RU2001116440A/ru

Links

Claims (1)

  1. Датчик термоанемометра, содержащий трубчатый чувствительный элемент, закрепленный на державках, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде подложки из монокристаллического полупроводникового материала трубчатой формы с диаметром 100-0,1 мкм и толщиной стенки 1-0,001 мкм, на внутреннюю или наружную поверхность которой нанесен чувствительный слой электропроводного материала.
RU2001116440A 2001-06-13 2001-06-13 Датчик термоанемометра RU2207576C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001116440A RU2207576C2 (ru) 2001-06-13 2001-06-13 Датчик термоанемометра

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001116440A RU2207576C2 (ru) 2001-06-13 2001-06-13 Датчик термоанемометра

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2207576C2 RU2207576C2 (ru) 2003-06-27
RU2001116440A true RU2001116440A (ru) 2003-07-10

Family

ID=29209797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001116440A RU2207576C2 (ru) 2001-06-13 2001-06-13 Датчик термоанемометра

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2207576C2 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69928061D1 (de) Halbleiter-beschleunigungssensor mit selbstdiagnose
DE19519488B4 (de) Drehratensensor mit zwei Beschleunigungssensoren
EP0081992A3 (en) Ceramic packaged semiconductor device
DE69527714D1 (de) Drehgeschwindigkeitskreiselsensor aus monolithischem silizium mit integrierten sensoren
IL173281A (en) Back illuminated photodetector
NO20022104D0 (no) Transparentsubstrat utstyrt med et sjikt fremstilt av et silikonderivat
JP2008004893A5 (ru)
FR2700012B1 (fr) Accéléromètre intégré à axe sensible parallèle au substrat.
NO20010579D0 (no) Utforminger på overflaten av et legeme
DE10011830B8 (de) Winkelgeschwindigkeitssensor mit Oszillatoren
DE59913523D1 (de) Magnetoresistives sensorelement mit wahlweiser magnetisierungsausrichtung der biasschicht
FR2843481B1 (fr) Memoire sur substrat du type silicium sur isolant
RU2001116440A (ru) Датчик термоанемометра
DE60022128D1 (de) Frequenzadaptiver Herzschrittmacher mit zwei Sensoren
DE59209344D1 (de) Strahlungsempfindliches Aufzeichnungsmaterial aus Schichtträger und positiv arbeitender, strahlungsempfindlicher Schicht mit rauher Oberfläche
DE60021828D1 (de) Dickschicht-Widerstand und Keramiksubstrat
DE60221103D1 (de) Aus Halbleitermaterial hergestellter integrierter Kreisel mit wenigstens einer empfindlichen Achse in der Sensorebene
JP6804439B2 (ja) 迅速応答センサ筐体
FI20010582A0 (fi) Menetelmä piianturin valmistamiseksi sekä piianturi
DE60222558D1 (de) Transparentes integriertes optisches substrat mit diffraktivem optischen element
SE9701721D0 (sv) Sensor
DE60023396D1 (de) Dünnschichtthermistor und Herstellungsverfahren
JP2001284603A5 (ru)
JP2008147466A5 (ru)
FR2838522B1 (fr) Capteur inertiel a sonde de temperature integree