RU2001116440A - Датчик термоанемометра
- Google Patents
Датчик термоанемометра
Info
Publication number
RU2001116440A
RU2001116440ARU2001116440/28ARU2001116440ARU2001116440ARU 2001116440 ARU2001116440 ARU 2001116440ARU 2001116440/28 ARU2001116440/28 ARU 2001116440/28ARU 2001116440 ARU2001116440 ARU 2001116440ARU 2001116440 ARU2001116440 ARU 2001116440A
Датчик термоанемометра, содержащий трубчатый чувствительный элемент, закрепленный на державках, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде подложки из монокристаллического полупроводникового материала трубчатой формы с диаметром 100-0,1 мкм и толщиной стенки 1-0,001 мкм, на внутреннюю или наружную поверхность которой нанесен чувствительный слой электропроводного материала.