Claims (1)
Мультикасповый источник ионов с двухступенчатым электрическим разрядом, состоящий из катода, промежуточного электрода, анода с отверстием эмиссии, расположенных в перечисленном порядке и электрически изолированных друг от друга, отличающийся тем, что в нем по периметру промежуточного электрода установлены независимые электромагниты, магнитные сердечники которых выполнены в виде протяженных вдоль продольной оси ионного источника стержней, а их электрокатушки включены таким образом, что электромагниты создают между катодом и анодом остроугольное мультикасповое магнитное поле, величина которого приближается к нулю на продольной оси источника и резко нарастает по радиусу в области стержней.A multicasp ion source with a two-stage electric discharge, consisting of a cathode, an intermediate electrode, an anode with an emission hole located in the listed order and electrically isolated from each other, characterized in that independent electromagnets are installed along the perimeter of the intermediate electrode, the magnetic cores of which are made in rods extended along the longitudinal axis of the ion source, and their electrocoils are turned on in such a way that electromagnets create between the cathode and anode strougolnoe multikaspovoe magnetic field whose value is close to zero on the longitudinal axis of the source and sharply increases in radius in the rods.