RU2002109324A - Hollow cathode ion source - Google Patents

Hollow cathode ion source

Info

Publication number
RU2002109324A
RU2002109324A RU2002109324/09A RU2002109324A RU2002109324A RU 2002109324 A RU2002109324 A RU 2002109324A RU 2002109324/09 A RU2002109324/09 A RU 2002109324/09A RU 2002109324 A RU2002109324 A RU 2002109324A RU 2002109324 A RU2002109324 A RU 2002109324A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
ion source
cylinder
filament
hollow cathode
hollow
Prior art date
Application number
RU2002109324/09A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2231163C2 (en
Inventor
Владимир Иванович Турчин
Борис Константинович Кондратьев
Original Assignee
Государственное унитарное предприятие Государственный научный центр Российской Федерации, Институт теоретической и экспериментальной физики
Министерство Российской Федерации по атомной энергии
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное унитарное предприятие Государственный научный центр Российской Федерации, Институт теоретической и экспериментальной физики, Министерство Российской Федерации по атомной энергии filed Critical Государственное унитарное предприятие Государственный научный центр Российской Федерации, Институт теоретической и экспериментальной физики
Priority to RU2002109324/09A priority Critical patent/RU2231163C2/en
Priority claimed from RU2002109324/09A external-priority patent/RU2231163C2/en
Publication of RU2002109324A publication Critical patent/RU2002109324A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2231163C2 publication Critical patent/RU2231163C2/en

Links

Claims (1)

Источник ионов с эффектом полого катода, состоящий из анода с отверстием эмиссии, промежуточного электрода, магнитной катушки и полого безнакального цилиндра, размещенного на катодном стержне, отличается тем, что внутри полого безнакального цилиндра установлен дополнительный стержень из магнитопроводящего материала, длина которого меньше длины полого безнакального цилиндра, соединенный с выполненным из магнитопроводящего материала катодным стержнем таким образом, что силовые линии магнитного поля, создаваемого магнитной катушкой, проходят внутри полости безнакального цилиндра.An ion source with a hollow cathode effect, consisting of an anode with an emission hole, an intermediate electrode, a magnetic coil and a hollow non-filament cylinder placed on the cathode rod, is characterized in that an additional magnetically conductive material rod is installed inside the hollow non-filament cylinder, the length of which is less than the length of the hollow non-filament a cylinder connected to a cathode rod made of a magnetic material in such a way that the lines of force of the magnetic field generated by the magnetic coil, rohodyat nonincandescent cavity inside the cylinder.
RU2002109324/09A 2002-04-10 2002-04-10 Ion source with effect of hollow cathode RU2231163C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002109324/09A RU2231163C2 (en) 2002-04-10 2002-04-10 Ion source with effect of hollow cathode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002109324/09A RU2231163C2 (en) 2002-04-10 2002-04-10 Ion source with effect of hollow cathode

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002109324A true RU2002109324A (en) 2003-10-20
RU2231163C2 RU2231163C2 (en) 2004-06-20

Family

ID=32845568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002109324/09A RU2231163C2 (en) 2002-04-10 2002-04-10 Ion source with effect of hollow cathode

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2231163C2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU176087U1 (en) * 2017-10-03 2017-12-28 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Институт теоретической и экспериментальной физики имени А.И. Алиханова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" ION GUN WITH VARIABLE PULSE RATE

Similar Documents

Publication Publication Date Title
UA81616C2 (en) Plasma accelerator with closed drift of electrons
ATE173130T1 (en) PLASMA ACCELERATOR WITH CLOSED ELECTRON TRACK
WO2005077069A3 (en) Cathode head with focal spot control
EP1422738A3 (en) Magnetron for microwave oven
ATE459734T1 (en) CATHODE EVAPORATION MACHINE
JP2006511921A5 (en)
TW200516627A (en) Field emission device with coating layer and method for fabricating the same
WO2004061889A3 (en) Magnet assembly for sputter ion pump
ATE283382T1 (en) ARC EVAPORATION DEVICE
RU2002109324A (en) Hollow cathode ion source
RU2006113290A (en) HIGH-PRECISION ELECTRON GUN
SG133405A1 (en) Vacuum arc evaporation apparatus
RU2007106839A (en) SOURCE OF IONS WITH A MULTIPOLE MAGNETIC FIELD IN A HOLLOW CATHODE
RU2003119003A (en) COMBINED SOURCE OF IONS WITH TWO STAGE ELECTRIC DISCHARGE
ATE336822T1 (en) FUEL CELL POWERED MAGNETIC DRIVEN SHAFT ARRANGEMENT
RU2002117699A (en) Two-way vacuum diode
RU2001110570A (en) Multistage ion source with two-stage electric discharge
RU2003116203A (en) ION SOURCE WITH COLD CATHODE
RU93028140A (en) PROTON PULSE SOURCE WITH CATHODE CONE
RU97108884A (en) MEANS OF INFLUENCE ON THE HUMAN BODY
RU2001107367A (en) REFLECTIVE TRIOD
KR850005724A (en) magnetron
DE502004010435D1 (en) Multi-mode metal ion source with the structure of a hollow cathode sputtered ion source with radial ion extraction
RU2003108235A (en) HIGH-PRECISION ELECTRON GUN
DE60306140D1 (en) ELECTROMAGNETIC ACTUATOR WITH PERMANENT MAGNET