RU198294U1 - Device for cleaning the surface of samples for electron microscopy - Google Patents
Device for cleaning the surface of samples for electron microscopy Download PDFInfo
- Publication number
- RU198294U1 RU198294U1 RU2020101511U RU2020101511U RU198294U1 RU 198294 U1 RU198294 U1 RU 198294U1 RU 2020101511 U RU2020101511 U RU 2020101511U RU 2020101511 U RU2020101511 U RU 2020101511U RU 198294 U1 RU198294 U1 RU 198294U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cleaning
- samples
- voltage
- electrode
- sample
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
- H01T23/00—Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
Устройство предназначено для очистки поверхности образцов для электронной микроскопии. Очистка производится с помощью коронного разряда в воздушной среде при атмосферном давлении.Устройство содержит рабочую камеру с закрепленными в ней внешним коронирующим электродом малой площади с иглами на поверхности и опорным электродом-экстрактором, на котором располагается образец. Электроды подключены к вторичной обмотке высоковольтного импульсного трансформатора, на первичную обмотку которого непрерывно подается импульсное напряжение от внешнего источника, которое трансформатором повышается до 10 кВ или больше, что приводит к загоранию коронного разряда над поверхностью очищаемого образца.The device is intended for cleaning the surface of samples for electron microscopy. Cleaning is carried out using a corona discharge in air at atmospheric pressure. The device contains a working chamber with an external corona electrode of a small area fixed in it with needles on the surface and a reference extractor electrode on which the sample is located. The electrodes are connected to the secondary winding of a high-voltage pulse transformer, to the primary winding of which a pulse voltage is continuously applied from an external source, which is increased by the transformer to 10 kV or more, which leads to ignition of a corona discharge over the surface of the sample to be cleaned.
Description
Полезная модель относится к устройствам очистки поверхности от загрязнений, которое предназначено для использования в электронной микроскопии.The utility model relates to devices for cleaning the surface from contamination, which is intended for use in electron microscopy.
При подготовке образцов для электронной микроскопии происходит загрязнение их поверхности как веществами, применяемыми для подготовки образцов, так и веществами, осаждающимися на поверхность из окружающей атмосферы. В основном это продукты органического происхождения, например, аэрозольные капельки пота, выделяемого человеком, капельки испаряющихся с оборудования смазочных материалов. Они адсорбируются на поверхности образцов и при воздействии электронного луча, который активирует межатомные связи, образуют плотную полимерную пленку в виде нагара, которая мешает исследованию образцов.When preparing samples for electron microscopy, their surface is contaminated with both substances used for sample preparation and substances deposited onto the surface from the surrounding atmosphere. These are mainly products of organic origin, for example, aerosol droplets of sweat produced by a person, droplets evaporating from the equipment of lubricants. They are adsorbed on the surface of the samples and, when exposed to an electron beam that activates interatomic bonds, form a dense polymer film in the form of soot, which interferes with the study of the samples.
Для борьбы с этим нежелательным явлением производят очистку поверхности образцов с помощью плазмы непосредственно в рабочей камере электронного микроскопа или производят десорбцию загрязнения в вакууме (с нагревом образцов или без нагрева), или производят очистку поверхности перед загрузкой образцов в электронный микроскоп.To combat this undesirable phenomenon, the surface of the samples is cleaned using plasma directly in the working chamber of an electron microscope, or contamination is desorbed in vacuum (with or without heating the samples), or the surface is cleaned before loading the samples into an electron microscope.
Известны устройства для очистки поверхности образцов с помощью жидкостной обработки моющими составами [1, 2]. Их недостатком является возможность повреждения некоторых образцов силами поверхностного натяжения жидкостей. Образцы для электронного просвечивающего микроскопа имеют толщину несколько микрон, они ломаются при извлечении их из жидкости. Кроме того, моющие составы, содержащие кислоты и щелочи, могут растворять сами образцы или их отдельные детали.Known devices for cleaning the surface of samples using liquid treatment with detergent compositions [1, 2]. Their disadvantage is the possibility of damage to some samples by the surface tension of liquids. Samples for an electron transmission microscope have a thickness of several microns; they break when removed from the liquid. In addition, detergents containing acids and alkalis can dissolve the samples themselves or their individual parts.
Известно устройство, очищающее поверхность образцов с помощью лазерного излучения [3]. Его недостатками являются дороговизна устройства и возможность повреждения тонких структур в образце, ведь очистка осуществляется мощным световым пучком, испаряющим загрязнения.A device is known that cleans the surface of samples using laser radiation [3]. Its disadvantages are the high cost of the device and the possibility of damage to fine structures in the sample, because cleaning is carried out by a powerful light beam that evaporates pollution.
Известно устройство, очищающее поверхность образцов с помощью пламени [4]. Его недостатком является возможность повреждения тонких структур в образце под действием высоких температур.A device that cleans the surface of samples using a flame [4]. Its disadvantage is the possibility of damage to fine structures in the sample under the influence of high temperatures.
Известно устройство, очищающее поверхность образцов путем облучения поверхности потоком ускоренных ионов и плазмой при подаче на проводящий держатель высокочастотных коротких импульсов напряжения смещения [5]. Устройство достаточно дорогое, т.к. включает в себя высоковакуумную камеру, систему подачи газов, источник плазмы и источник высоковольтного смещения. Кроме того, оно может вызывать аморфизацию поверхности из-за большой энергии ионов.A device is known that cleans the surface of samples by irradiating the surface with a stream of accelerated ions and plasma when high-frequency short pulses of bias voltage are applied to the conductive holder [5]. The device is quite expensive, because includes a high-vacuum chamber, a gas supply system, a plasma source and a high-voltage bias source. In addition, it can cause surface amorphization due to the high energy of the ions.
Известно устройство, очищающее поверхность образцов путем облучения поверхности потоком ионов и плазмой, возбуждаемой СВЧ разрядом [6]. За счет высокой частоты колебаний электромагнитного поля энергия ионов и электронов в этом разряде низкая, не повреждает образцы. Эффективность очистки высокая. Недостатком его является высокая стоимость, связанная с необходимостью иметь вакуумную систему и источник СВЧ.A device is known that cleans the surface of samples by irradiating the surface with a stream of ions and plasma excited by a microwave discharge [6]. Due to the high frequency of oscillations of the electromagnetic field, the energy of ions and electrons in this discharge is low, it does not damage the samples. The cleaning efficiency is high. Its disadvantage is the high cost associated with the need to have a vacuum system and a microwave source.
Таким же недостатком - высокой стоимостью - обладают устройство с использованием индуктивно связанной плазмы [7] и устройство очистки с использованием низкотемпературной плазмы [8].The same disadvantage - high cost - have a device using inductively coupled plasma [7] and a cleaning device using low-temperature plasma [8].
В качестве прототипа выбрано устройство, описанное в патенте "Способ импульсно-периодической ионной обработки металлического изделия и устройство для его осуществления" [9]. Очистка поверхности изделия осуществляется низкоэнергетичной ионной и электронной бомбардировкой способом, включающим в себя следующие операции; помещение изделий в вакуумную камеру, подачу ионизируемого газа внутрь камеры, ионизацию газа для формирования ионной плазмы вблизи поверхности обрабатываемого изделия, ускорение ионов в плазме при помощи электрического поля.As a prototype, the device described in the patent "Method for pulse-periodic ion processing of a metal product and a device for its implementation" [9] was selected. Cleaning the surface of the product is carried out by low-energy ion and electronic bombardment by a method that includes the following operations; placing the products in a vacuum chamber, supplying ionized gas into the chamber, ionizing the gas to form an ionic plasma near the surface of the workpiece, accelerating the ions in the plasma using an electric field.
Устройство для его осуществления содержит заземленную металлическую вакуумную камеру с закрепленными в ней внешним электродом и опорным электродом, которые через вакуумные проходные изоляторы подключены к источнику переменного напряжения подаваемого от высоковольтного импульсного трансформатора.The device for its implementation contains a grounded metal vacuum chamber with an external electrode and a reference electrode fixed in it, which are connected through a vacuum bushing to an alternating voltage source supplied from a high-voltage pulse transformer.
Для осуществления очистки поверхности в предварительно откачанную камеру с образцами, лежащими на опорном электроде, напускают рабочий газ и от источника переменного высокого напряжения подают питание на внешний и опорный электроды. При этом при пониженном давлении загорается тлеющий разряд, который генерирует ионы и электроны, ускоряемые электрическим полем и очищающие поверхность. Очистка производится при энергии ионов и электронов не более 1 кэВ, что минимизирует повреждение поверхности образца.To carry out surface cleaning, a working gas is introduced into a previously evacuated chamber with samples lying on the reference electrode, and power is supplied to the external and reference electrodes from an alternating high voltage source. In this case, under reduced pressure, a glow discharge lights up, which generates ions and electrons accelerated by the electric field and clean the surface. Cleaning is performed at an ion and electron energy of not more than 1 keV, which minimizes damage to the surface of the sample.
К недостаткам указанного устройства для очистки следует отнести его высокую стоимость, связанную в основном с наличием вакуумной системы.The disadvantages of this device for cleaning should include its high cost, associated mainly with the presence of a vacuum system.
Задачей полезной модели является уменьшение стоимости устройства для очистки поверхности при сохранении других преимуществ.;The objective of the utility model is to reduce the cost of the device for cleaning the surface while maintaining other advantages .;
Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве процесс очистки осуществляется при атмосферном давлении в обычной воздушной среде, для чего используется не тлеющий разряд при пониженном давлении, а коронный, который может зажигаться и при атмосферном давлении. При этом в конструкцию устройства вносятся следующие изменения: площадь внешнего коронирующего электрода делается меньше площади опорного электрода (экстрактора), коронирующий электрод оснащается иглами, торчащими из его поверхности, высоковольтные емкостные накопители, переключатели и вакуумная система исключаются. На первичную обмотку высоковольтного импульсного трансформатора непрерывно подается импульсное напряжение, которое трансформатором повышается до 10 кВ или больше.This is achieved by the fact that in the proposed device, the cleaning process is carried out at atmospheric pressure in a normal air environment, which uses not a glow discharge at reduced pressure, but a corona discharge that can be ignited at atmospheric pressure. In this case, the following changes are made to the design of the device: the area of the external corona electrode is made smaller than the area of the reference electrode (extractor), the corona electrode is equipped with needles protruding from its surface, high-voltage capacitive storage devices, switches and a vacuum system are excluded. The primary winding of a high-voltage pulse transformer is continuously supplied with a pulse voltage, which is increased by a transformer to 10 kV or more.
Отличительными признаками полезной модели являются: применение коронного разряда для очистки поверхности, использование напряжения 10 кВ или более, уменьшение площади внешнего электрода и наличие игл на его поверхности. Применение коронного разряда позволяет проводить очистку поверхности при атмосферном давлении в воздушной среде, что исключает необходимость в вакуумной системе и в использовании баллонов с газами, что и делает этот способ очистки более дешевым. Использование напряжения 10 кВ или более обусловлено тем, что при напряжении 9 кВ и менее коронный разряд загорается только на одной из игл, самой длинной или острой, а этого не достаточно для эффективной очистки всей площади образца. Постепенное повышение напряжения приводит к тому, что разряд загорается на двух, трех и т.д. иглах. При 10 кВ он горит на 7 иглах, что обеспечивает очистку всей площади стандартного предметного столика для образцов. Значительное уменьшение площади одного из электродов необходимо, поскольку на внешнем электроде равной или близкой с опорным электродом площади даже наличие игл на его поверхности не обеспечивает достаточно мощный коронный разряд. При большом межэлектродном расстоянии разряд очень слабый, а при сближении электродов происходит искровой пробой воздушного промежутка. Малая площадь внешнего электрода позволяет создавать неравномерное электрическое поле в камере, что усиливает коронный разряд при межэлектродных расстояниях, исключающих искровой пробой. Иглы на поверхности электрода необходимы для создания центров ионизации газа. На остриях игл достигается наибольшая напряженность электрического поля, что и обеспечивает ионизацию газа.The distinguishing features of the utility model are: the use of a corona discharge to clean the surface, the use of a voltage of 10 kV or more, a decrease in the area of the external electrode and the presence of needles on its surface. The use of corona discharge allows cleaning the surface at atmospheric pressure in the air, which eliminates the need for a vacuum system and the use of gas cylinders, which makes this cleaning method cheaper. The use of a voltage of 10 kV or more is due to the fact that at a voltage of 9 kV or less, the corona discharge ignites only on one of the needles, the longest or sharpest, and this is not enough to effectively clean the entire area of the sample. A gradual increase in voltage leads to the fact that the discharge lights up on two, three, etc. needles. At 10 kV, it burns on 7 needles, which ensures cleaning of the entire area of a standard sample stage for samples. A significant reduction in the area of one of the electrodes is necessary, since even the presence of needles on its surface on an external electrode equal or close to the reference electrode does not provide a sufficiently powerful corona discharge. At a large interelectrode distance, the discharge is very weak, and when the electrodes approach each other, a spark breakdown of the air gap occurs. The small area of the external electrode allows you to create a non-uniform electric field in the chamber, which enhances the corona discharge at interelectrode distances that exclude spark breakdown. Needles on the electrode surface are needed to create gas ionization centers. At the tip of the needles, the greatest electric field strength is achieved, which ensures the ionization of the gas.
Предлагаемое устройство схематически изображено на чертеже (фиг. 1), где 1 - рабочая камера, 2 - внешний коронирующий электрод, 3 - опорный электрод-экстрактор, 4 - высоковольтные проходные изоляторы, 5 - высоковольтный импульсный трансформатор, 6 - обрабатываемый образец, 7 - низковольтный источник импульсного напряжения, 8 - короткие иглы, торчащие из поверхности коронирующего электрода.The proposed device is schematically shown in the drawing (Fig. 1), where 1 is the working chamber, 2 is an external corona electrode, 3 is a reference electrode-extractor, 4 is a high-voltage bushings, 5 is a high-voltage pulse transformer, 6 is a processed sample, 7 is low voltage source of pulse voltage, 8 - short needles sticking out of the surface of the corona electrode.
Устройство работает следующим образом. Образец 6 устанавливают на опорном электроде 3, камеру 1 закрывают (с целью электробезопасности и накопления в ней образующегося в коронном разряде озона), на внешний коронирующий электрод 2 и опорный электрод-экстрактор 3 через изоляторы 4 подается высокое импульсное напряжение от высоковольтного импульсного трансформатора 5, питаемого от низковольтного источника импульсного напряжения 7. На иглах 8 коронирующего электрода загорается коронный разряд. Образовавшиеся в нем ионы и электроны ускоряются высоким напряжением и движутся в сторону образца. При этом они непрерывно сталкиваются с атомами воздуха, ионизируя их или просто передавая им часть своей энергии. Образуется поток частиц, бомбардирующих поверхность образца и производящих ее очистку. Несмотря на большую величину ускоряющего напряжения, энергия электронов и ионов не превышает нескольких десятков эВ, поскольку за время действия импульса напряжения они не успевают набрать в электрическом поле скорость из-за постоянных столкновений с атомами воздуха. Образующиеся в коронном разряде ионы, озон и активные радикалы кислорода и азота удаляют загрязнения не только за счет бомбардировки поверхности, но и за счет химических реакций с органическими составляющими загрязнений. Поэтому важно и накопление озона в камере.The device operates as follows.
Пример конкретного применения. При практической реализации устройства в качестве рабочей камеры использовалась стеклянная банка, позволяющая наблюдать за процессом. При слабом освещении поток частиц виден в виде слабо светящегося факела. Расстояние между электродами выбрано таким, чтобы не наблюдалось искровых пробоев и загорания дугового разряда между ними, а факел коронного разряда касался поверхности образца. Диаметр коронирующего электрода 12 мм, из его поверхности торчат 7 коротких игл на равных расстояниях друг от друга. Площадь электрода-экстрактора, обращенная к коронирующему электроду, составляет 50 см2. В качестве высоковольтного импульсного трансформатора используется строчный трансформатор ТВС-ПОЛА от лампового телевизора. Низковольтный импульсный источник собран по схеме блокинг-генератора на транзисторе КТ838А и обеспечивает на вторичной обмотке трансформатора не менее 10 кВ. Время очистки поверхности составляет 2-5 минут в зависимости от расстояния между электродами.An example of a specific application. In the practical implementation of the device, a glass jar was used as a working chamber, which made it possible to observe the process. In low light, the particle flux is visible as a faintly luminous plume. The distance between the electrodes was chosen so that spark breakdowns and ignition of the arc discharge between them were not observed, and the corona discharge torch touched the surface of the sample. The diameter of the corona electrode is 12 mm; 7 short needles stick out from its surface at equal distances from each other. The area of the extractor electrode facing the corona electrode is 50 cm 2 . As a high-voltage pulse transformer, a horizontal transformer TVS-POLA from a lamp TV is used. The low-voltage pulse source is assembled according to the blocking generator circuit on the KT838A transistor and provides at least 10 kV on the secondary winding of the transformer. The surface cleaning time is 2-5 minutes depending on the distance between the electrodes.
Преимуществом данного устройства перед прототипом является его низкая стоимость и возможность изготовления устройства своими силами. Качество очистки поверхности удовлетворяет требованиям электронной микроскопии, а вероятность повреждения тонких структур образцов ниже, чем у прототипа за счет меньшей энергии ионов.The advantage of this device over the prototype is its low cost and the ability to manufacture the device on its own. The quality of surface cleaning meets the requirements of electron microscopy, and the probability of damage to the fine structures of the samples is lower than that of the prototype due to the lower ion energy.
Источники информации:Sources of information:
1. Патент США №7879783, опубл. 1.02.2011.1. US patent No. 7879783, publ. 02/01/2011.
2. Патент США №7928046, опубл. 19.04.2011.2. US Patent No. 7928046, publ. 04/19/2011.
3. Патент РФ №2668619, опубл. 02.10.2018.3. RF patent No. 2668619, publ. 10/02/2018.
4. Патент РФ №2038534, опубл. 27.06.1995.4. RF patent No. 2038534, publ. 06/27/1995.
5. Патент РФ №2526654, опубл. 27.05.2014.5. RF patent No. 2526654, publ. 05/27/2014.
6. Патент РФ №2332268, опубл. 27.08.2008.6. RF patent No. 2332268, publ. 08/27/2008.
7. Патент США №10083817 (В1), опубл. 04.02.2013.7. US patent No. 10083817 (B1), publ. 02/04/2013.
8. Патент Китая №207746187 (U), опубл. 14.12.2017.8. Chinese Patent No. 207746187 (U), publ. 12/14/2017.
9. Патент РФ №2454485, опубл. 27.06.2012 - прототип.9. RF patent No. 2454485, publ. 06/27/2012 - a prototype.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020101511U RU198294U1 (en) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | Device for cleaning the surface of samples for electron microscopy |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020101511U RU198294U1 (en) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | Device for cleaning the surface of samples for electron microscopy |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU198294U1 true RU198294U1 (en) | 2020-06-30 |
Family
ID=71510714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2020101511U RU198294U1 (en) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | Device for cleaning the surface of samples for electron microscopy |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU198294U1 (en) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0840357A2 (en) * | 1996-11-05 | 1998-05-06 | Ebara Corporation | Method and apparatus for removing particles from surface of article |
| US6006763A (en) * | 1995-01-11 | 1999-12-28 | Seiko Epson Corporation | Surface treatment method |
| EA008013B1 (en) * | 2002-04-10 | 2007-02-27 | Дау Корнинг Айэлэнд Лимитед | An atmospheric pressure plazma assembly |
| RU2454485C1 (en) * | 2010-10-18 | 2012-06-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ивановский государственный энергетический университет имени В.И. Ленина" (ИГЭУ) | Method of pulse-periodic ion treatment of metal ware, and device for its implementation |
| RU2480878C2 (en) * | 2008-07-31 | 2013-04-27 | Шарп Кабусики Кайся | Device to generate ions and electric instrument |
| WO2017153898A1 (en) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | King Abdullah University Of Science And Technology | Non thermal plasma surface cleaner and method of use |
-
2019
- 2019-02-26 RU RU2020101511U patent/RU198294U1/en active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6006763A (en) * | 1995-01-11 | 1999-12-28 | Seiko Epson Corporation | Surface treatment method |
| EP0840357A2 (en) * | 1996-11-05 | 1998-05-06 | Ebara Corporation | Method and apparatus for removing particles from surface of article |
| EA008013B1 (en) * | 2002-04-10 | 2007-02-27 | Дау Корнинг Айэлэнд Лимитед | An atmospheric pressure plazma assembly |
| RU2480878C2 (en) * | 2008-07-31 | 2013-04-27 | Шарп Кабусики Кайся | Device to generate ions and electric instrument |
| RU2454485C1 (en) * | 2010-10-18 | 2012-06-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ивановский государственный энергетический университет имени В.И. Ленина" (ИГЭУ) | Method of pulse-periodic ion treatment of metal ware, and device for its implementation |
| WO2017153898A1 (en) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | King Abdullah University Of Science And Technology | Non thermal plasma surface cleaner and method of use |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Subedi et al. | Dielectric barrier discharge (DBD) plasmas and their applications | |
| CN108611623B (en) | Spraying coating device and method for inhibiting secondary electron yield of solid dielectric material | |
| KR20070119072A (en) | Apparatus and process for generating, accelerating and propagating beams of electrons and plasma | |
| JP7440528B2 (en) | Ion source with biased extraction plate | |
| JP6419078B2 (en) | Ion implantation apparatus having a plurality of plasma source parts | |
| Li et al. | Diffuse plasma treatment of polyamide 66 fabric in atmospheric pressure air | |
| RU198294U1 (en) | Device for cleaning the surface of samples for electron microscopy | |
| JP6114262B2 (en) | Ion implanter in plasma immersion mode for low pressure process | |
| Maskrey et al. | The role of inclusions and surface contamination arc initiation at low pressures | |
| JP2003073814A (en) | Film forming apparatus | |
| EA009514B1 (en) | Method of ion treatment of dielectric surface and device for implementing thereof | |
| CN103760221B (en) | A kind of needle point electric discharge device degraded for solid surface | |
| US11600473B2 (en) | Ion source with biased extraction plate | |
| CN104395496A (en) | Deposition device and deposition method | |
| CN1087128A (en) | Microwave plasma source ion implantation apparatus | |
| JP6972693B2 (en) | Ion generator and ion generation method | |
| RU2665315C1 (en) | Method for processing electrodes of insulating intermediates of high-voltage electrical-vacuum devices | |
| KR101102324B1 (en) | Methods for neutralization of electron beam charge irradiated from an electron beam source | |
| Benocci et al. | I–V characteristics and photocurrents of a He corona discharge under flow conditions | |
| CN104332338A (en) | Method for improving aging effect for vacuum arc-extinguishing chamber | |
| Sharma et al. | Electrical and optical characterization of cold atmospheric pressure plasma jet and the effects of N2 gas on argon plasma discharge | |
| WO2010082345A1 (en) | Silicon-dot forming method, and silicon-dot forming apparatus | |
| RU2454485C1 (en) | Method of pulse-periodic ion treatment of metal ware, and device for its implementation | |
| JP2703029B2 (en) | Method of introducing impurities into substrate | |
| SU938330A1 (en) | Method of thermal treatment of pulse gas-discharge equipment |