RU1811567C

RU1811567C - Generator of fluid flow rate oscillations

Info

Publication number: RU1811567C
Application number: SU904875914A
Authority: RU
Inventors: Петр Иванович Шипилов; Нина Александровна Круглова
Original assignee: Воронежский опытный завод микроэлектроники "РИФ"
Priority date: 1990-09-21
Filing date: 1990-09-21
Publication date: 1993-04-23

Abstract

Использование: дл создани пульсирующего потока жидкости в устр-вэх дл высо- кокачественной очистки от жировых и механических загр знений поверхностей деталей. Сущность изобретени : упругий вибратор выполнен в виде коаксиально установленного в камере турбулизатора полого цилиндра с сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов подачи и отвода жидкости и имеющим заостренные кромки. Кромки вход т в канал подачи жидкости. Регул тор частоты колебаний выполнен в виде плоской пружины , один конец к-рой закреплен на вибраторе, другой - на поворотной оси, имеющей рычаг, установленный с возможностью взаимодействи с регулировочными винтами. 3 ил. Usage: to create a pulsating fluid flow in the device for high-quality cleaning of grease and mechanical pollution of the surfaces of parts. SUMMARY OF THE INVENTION: an elastic vibrator is made in the form of a hollow cylinder coaxially mounted in a turbulator chamber with a through groove made along a generatrix on the side of the fluid supply and discharge channels and having pointed edges. Edges enter the fluid supply channel. The oscillation frequency regulator is made in the form of a flat spring, one end is mounted on a vibrator, the other on a rotary axis having a lever mounted to interact with the adjusting screws. 3 ill.

Description

Изобретение относитс к машиностроению и может быть использовано дл создани пульсирующего потока жидкости в устройствах дл высококачественной очистки от жировых и механических загр знений поверхностей деталей, например, пластин кремни в полупроводниковой промышленности или подложек поликоровых плат в производстве изделий микроэлектронной техники.The invention relates to mechanical engineering and can be used to create a pulsating fluid flow in devices for high-quality cleaning of grease and mechanical contaminants on the surfaces of parts, for example, silicon wafers in the semiconductor industry or substrates of multicorrosive boards in the manufacture of microelectronic devices.

Целью предлагаемого изобретени вл етс сохранение частоты потока жидкости за счет исключени подвижных взаимодействующих элементов конструкции, т.е. исключение веро тности внесени в промывочную жидкость загр знений при упрощении конструкции генератора колебаний.The aim of the invention is to maintain the frequency of the fluid flow by eliminating moving interacting structural members, i.e. eliminating the possibility of contaminants in the flushing fluid while simplifying the design of the oscillation generator.

На фиг.1 изображен общий вид генератора; на фиг,2 - сечение А-А на фиг.1; на фиг.З - вид по стрелке Б на фиг.2.Figure 1 shows a General view of the generator; in Fig.2 - section aa in Fig.1; in Fig.3 is a view along arrow B in Fig.2.

Генератор состоит из следующих основных элементов: цилиндрического корпуса 1, в котором установлен упругий вибратор 2, .имеющий входное 3 и выходное 4 отверсти дл жидкости; элементов регулировани частоты колебаний в виде плоской пружины 5, один конец которой закреплен на вибраторе 2, а другой - на поворотной оси 6, имеющей рычаг 7 (фиг.2), взаимодействующий с регулировочными винтами 8 и 9 (см.фиг.З), установленными с наружной стороны корпуса 1. Корпус закрыт крышками 10 и 11. Внутри корпуса установлен сегмент 12, который с рабочим концом вибратора образует дроссельный канал 13. Вибратор выполнен в ви00The generator consists of the following main elements: a cylindrical body 1, in which an elastic vibrator 2 is installed, having an inlet 3 and an outlet 4 for liquid; vibration frequency control elements in the form of a flat spring 5, one end of which is mounted on the vibrator 2, and the other on the rotary axis 6 having a lever 7 (Fig. 2), interacting with the adjusting screws 8 and 9 (see Fig. 3); mounted on the outside of the housing 1. The housing is closed by covers 10 and 11. Inside the housing, a segment 12 is installed, which forms a throttle channel 13 with the working end of the vibrator. The vibrator is made in vi00

ел оate about

4 4

СОWith

де коаксиально установленного в камере 1 полого цилиндра со сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов и имеющим заостренные кромки, вход щие в канал подачи жидкости.de coaxially installed in the chamber 1 of the hollow cylinder with a through groove made along the generatrix on the side of the channels and having pointed edges entering the fluid supply channel.

Вибратор 2 с помощью утолщени 15 закреплен консольно, а свободна заостренна кромка 16 направлена навстречу по- даваемой жидкости из отверсти 4.The vibrator 2 is fixed by cantilever 15 with a cantilever, and the free pointed edge 16 is directed towards the fluid supplied from the hole 4.

Генератор работает следующим образом .The generator operates as follows.

При подаче жидкости через входное отверстие 3 в дроссельный канал 13 одна часть потока попадает в выходное отверстие 4, а друга завихр етс в камере турбулизации 14. При этом, в результате поверхностных срывов жидкости у стенок камеры и взаимодействи пр мого и завихренного потоков в дросселирующем канале 13 возникают высокочастотные колебани . Они ввод т в колебательный процесс вибратор 2, возбужда в нем низкочастотные колебани . Процесс входит в режим автоколебаний.When fluid is supplied through the inlet 3 to the throttle channel 13, one part of the flow enters the outlet 4, and the other swirls in the turbulence chamber 14. Moreover, as a result of surface disruptions of the liquid at the chamber walls and the interaction of direct and swirl flows in the throttle channel 13 high frequency oscillations occur. They introduce a vibrator 2 into the oscillatory process, exciting low-frequency vibrations therein. The process enters auto-oscillation mode.

В конкретном устройстве при длине консольной части вибратора 70 мм, диаметре камеры 38 мм и давлении подаваемой воды 200 кГс/см2 получены регулируемые колебани потока с частотами 900-3000 Гц и амплитудой ± 15 кГс/см2.In a particular device, with the length of the cantilever part of the vibrator 70 mm, the chamber diameter 38 mm and the pressure of the feed water 200 kG / cm2, adjustable flow oscillations with frequencies of 900-3000 Hz and an amplitude of ± 15 kG / cm2 were obtained.

00

55

00

55

00

В конструкции предложенного генератора колебаний потока жидкости нет движущихс взаимодействующих частей, что полностью исключает загр знение жидкости продуктами износа. Это вл етс важным положительным качеством особенно при использовании жидкости дл промывки изделий в полупроводниковой промышленности и в производстве изделий микроэлектроники .In the design of the proposed fluid flow oscillation generator there are no moving interacting parts, which completely eliminates the contamination of the fluid by wear products. This is an important positive feature especially when using liquid for washing products in the semiconductor industry and in the manufacture of microelectronic products.

Claims

SUMMARY OF THE INVENTION A fluid flow oscillation generator comprising a housing with fluid supply and exhaust channels, a turbulator chamber, an elastic vibrator cantilever and an oscillation frequency regulator, characterized in that, in order to maintain the purity of the fluid flow by eliminating moving interacting structural elements, the vibrator is made in the form of a hollow cylinder coaxially mounted in the chamber with a through groove made along the generatrix on the side of the channels and having pointed edges entering the hearth channel fluid, and the oscillation frequency controller is made in the form of a flat spring, one end of which is mounted on a vibrator, and the other on a rotary axis having a lever mounted to interact with adjusting screws.

X

Fie. 1

FIG. 2