RU1808411C - Device for applying poly-p-xylylene coating - Google Patents
Device for applying poly-p-xylylene coatingInfo
- Publication number
- RU1808411C RU1808411C SU4946832A RU1808411C RU 1808411 C RU1808411 C RU 1808411C SU 4946832 A SU4946832 A SU 4946832A RU 1808411 C RU1808411 C RU 1808411C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- chamber
- coating
- coating chamber
- pyrolysis chamber
- pyrolysis
- Prior art date
Links
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Использование: нанесение поли-п-кси- лиленовых покрытий на издели в радиотехнической , электронной и др. отрасл х промышленности. Сущность изобретени : устройство содержит камеру сублимации с емкостью дл материала покрыти , камеру пиролиза, емкость предварительного охлаждени и камеру покрыти с центральным патрубком. Он соединен с вакуумопрово- дом. Емкость предварительного охлаждени выполнена в виде кольца с винтообразным подъемом дна. Она тангенциально соединена с камерой пиролиза и отделена от камеры покрыти съемной перегородкой с отверсти ми. Размер отверстий увеличиваетс по мере удалени от камеры пиролиза. Пластины-охладители размещены радиально на центральном патрубке внутри камеры покрыти . Они выполнены с возможностью регулировки температуры по их длине. Покрываемые детали уста на вливаютс на пластинах-охладител х с зазором. 2 ил.Usage: applying poly-p-xylene oxide coatings to products in the radio engineering, electronic and other industries. SUMMARY OF THE INVENTION: the device comprises a sublimation chamber with a container for coating material, a pyrolysis chamber, a pre-cooling tank and a coating chamber with a central nozzle. It is connected to a vacuum pipe. The pre-cooling tank is made in the form of a ring with a screw-shaped bottom. It is tangentially connected to the pyrolysis chamber and is separated from the coating chamber by a removable partition with holes. The size of the holes increases with distance from the pyrolysis chamber. Cooler plates are arranged radially on a central pipe inside the coating chamber. They are configured to adjust the temperature along their length. The coated parts of the mouth are poured onto the cooling plates with a gap. 2 ill.
Description
Изобретение предназначено дл нанесени влагозащитного сло на блоки электронной аппаратуры, микросборки и может быть использовано в радиотехнической, электронной и других отрасл х промышленности .The invention is intended to apply a moisture barrier layer to electronic equipment, microassembly blocks and can be used in the radio engineering, electronics and other industries.
Целью изобретени вл етс повышение качества покрыти путем обеспечени равномерности его нанесени по всей поверхности издели .The aim of the invention is to improve the quality of the coating by ensuring uniform application over the entire surface of the product.
На фиг, 1 изображен продольный разрез устройства; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.On Fig, 1 shows a longitudinal section of a device; figure 2 is a section aa in figure 1.
Устройство дл нанесени поли-п-кси- лиленовых покрытий представл ет собой герметичную емкость 1, соединенную с ва- куумоповодом2. Емкость 1 состоит из камеры сублимации 3, камеры пиролиза 4, емкости предварительного охлаждени 5, размещенной на входе камеры покрыти 6. Камеры 3,4 и б имеют цилиндрическую форму , а емкость предварительного охлаждени 5 выполнена в виде кольца 7 с винтообразным подъемом дна 8 и тангенциально соединена посредством патрубка 9 с камерой пиролиза 4. Камера сублимации 3 снабжена нагревател ми 10, крышкой 11 и емкостью 12 с материалом покрыти и соединена с камерой пиролиза 4, котора снабжена нагревател ми 13,14, съемным винтом 15, выполненным из жаростойкого тепло- провод щего материала. Между емкостью предварительного охлаждени 5 и камеройThe device for applying poly-p-xylylene coatings is a sealed container 1 connected to a vacuum manifold 2. The tank 1 consists of a sublimation chamber 3, a pyrolysis chamber 4, a pre-cooling tank 5 located at the inlet of the coating chamber 6. The chambers 3,4 and 6 are cylindrical, and the pre-cooling tank 5 is made in the form of a ring 7 with a screw-like raising of the bottom 8 and tangentially connected via a pipe 9 to the pyrolysis chamber 4. The sublimation chamber 3 is provided with heaters 10, a cover 11 and a container 12 with coating material and is connected to the pyrolysis chamber 4, which is equipped with heaters 13.14, a removable screw 15 made of heat heat conductive material. Between Pre-Cooling Tank 5 and Chamber
0000
оabout
00 00
покрыти 6 размещена съемна перегородка 16, выполненна с отверсти ми 17,18,19, 20, 21, 22, расположенными по окружности, размер которых увеличиваетс по мере удалени от камеры пиролиза 4, Камеры предварительного охлаждени 5 и покрыти 6 снабжены нагревател ми 23 и 24 и центральным патрубком 25, соединенным с ва- куумпроводом,the cover 6 is a removable partition 16, made with holes 17,18,19, 20, 21, 22, located on a circle, the size of which increases with distance from the pyrolysis chamber 4, the Pre-cooling chamber 5 and the cover 6 are equipped with heaters 23 and 24 and a central pipe 25 connected to a vacuum pipe,
Внутри камеры покрыти б на центральном патрубке 25 радиально размещены держатели в виде пластин - охладителей 26, снабженных средствами регулировки температуры по их длине, при этом на пластинах - охладител х 26 с зазором 27 с помощью захватов 28 устанавливаютс покрываемые издели 29.Inside the coating chamber b, holders in the form of cooler plates 26 are provided radially placed on the central pipe 25 and equipped with temperature adjustment means along their length, while on the cooler plates 26 with a clearance of 27, covered articles 29 are installed with grippers 28.
Устройство работает следующим обра-. зом.The device operates as follows. zom.
Перед началом работы с устройства снимаютс крышка 11 и в емкость 12 засыпаетс необходима доза материала покрыти 30 (циклода-п-ксилилена), после чего крышка 11 закрываетс .Before starting work, the lid 11 is removed from the device and the required dose of the coating material 30 (cyclod-p-xylylene) is poured into the container 12, after which the lid 11 is closed.
С устройства снимаетс камера покрыти 6 и покрываемые издели 29 устанавливаютс на пластинах-охладител х 26 с зазором 27 с помощью захватов 28, после чего камера покрыти б устанавливаетс на прежнее место. Затем из емкости 1 через центральный патрубок 25 и вакуумпровод 2 откачиваетс воздух дл создани необходимого воздуха. При этом пластины-охладители 26, выполненные с возможностью регулировки температуры по их длине, охлаждают издели 29, установленные на них с зазором 27 с помощью захватов 28. Причем охлаждение изделий 29 производитс неравномерно - более сильно охлаждаетс верхн , наиболее удаленна от камеры предварительного охлаждени 5 часть деталей с целью получени более равномерного покрыти на всей поверхности деталей.The coating chamber 6 is removed from the device and the coated articles 29 are mounted on the cooler plates 26 with a clearance 27 by means of grippers 28, after which the coating chamber b is installed in its original place. Then, air is evacuated from the container 1 through the central pipe 25 and the vacuum pipe 2 to create the necessary air. At the same time, cooler plates 26, made with the possibility of adjusting the temperature along their length, cool the products 29 installed on them with a gap 27 by means of grippers 28. Moreover, the cooling of the products 29 is uneven - the upper, most distant from the pre-cooling chamber 5 is cooled more strongly. part of the parts in order to obtain a more uniform coating on the entire surface of the parts.
После достижени необходимого вакуума в емкости 1 и охлаждени изделий 29 включаютс нагреватели 10, 14, 23 и 24 и в течение установленного времени провод т процесс нанесени покрыти , во врем которого пары цикло-п-ксилилена из камеры сублимации 2( поступают в камеру пиролиза 4, где происходит образование п-ксилилена.After reaching the necessary vacuum in the tank 1 and cooling the products 29, the heaters 10, 14, 23 and 24 are turned on and a coating process is carried out for a set time, during which the cyclo-p-xylylene vapor from the sublimation chamber 2 (enters the pyrolysis chamber 4 where the formation of p-xylylene occurs.
При этом при прохождении паров циклода-п-ксилилена через разогретый винт 15, выполненный из жаростойкого теплопрово- д щего материала, обеспечиваетс более полное образование п-ксилилена.In this case, when the vapors of the cyclod-p-xylylene pass through the heated screw 15 made of heat-resistant heat-conducting material, a more complete formation of p-xylylene is ensured.
Далее в емкости предварительного охлаждени 5, выполненной в виде кольца 7 с винтообразным подъемом дна 8, пары постепенно охлаждаютс и через отверсти Further, in the pre-cooling tank 5, made in the form of a ring 7 with a screw-shaped rise of the bottom 8, the vapors are gradually cooled through the holes
17, 18, 19. 20, 21, 22, расположенные по кругу в съемной перегородке 16, равномер но поступают в камеру покрыти 6, далее, проход вдоль изделий 29, осаждаютс на17, 18, 19. 20, 21, 22, located in a circle in the removable partition 16, uniformly enter the coating chamber 6, then, the passage along the products 29, are deposited on
их поверхности ровным слоем, где и происходит полимеризаци покрыти .their surfaces in an even layer, where the polymerization of the coating takes place.
Сразу после начала полимеризации покрыти средства регулировки пластин - охладителей выключаютс с целью экономииImmediately after the start of the polymerization of the coating, the means for adjusting the plate-coolers are turned off in order to save
материала покрыти .coating material.
После окончани цикла выключают все нагреватели и после охлаждени всех камер 3, 4, 5, 6 в емкость 1 подаетс воздух.After the end of the cycle, all heaters are turned off and after cooling all the chambers 3, 4, 5, 6, air is supplied to the tank 1.
Далее с устройства снимаетс камераThen the camera is removed from the device
5 покрыти 6 и покрытые издели 29 снимаютс с пластин-охладителей 26, а на их место устанавливаетс нова парти изделий 29 и устанавливаетс камера покрыти 6 на прежнее место, В емкость 12 как и прежде5 of the coating 6 and the coated products 29 are removed from the cooler plates 26, and in their place a new batch of products 29 is installed and the coating chamber 6 is installed in the same place, In the container 12 as before
0 засыпаетс нова порци материала покрыти 30, После чего цикл повтор етс .0, a new portion of coating material 30 is poured, After which the cycle is repeated.
В предложенном устройстве емкость предварительного охлаждени выполнена с винтообразным подъемом дна 8 , а отвер5 сти в перегородке 16 расположены по кругу и размер их увеличиваетс по мере удалени от камеры пиролиза 4, вследствие чего поток паров в емкости предварительного охлаждени 5, постепенно охлажда сь уIn the proposed device, the pre-cooling tank is made with a screw-shaped raising of the bottom 8, and the openings 5 in the partition 16 are arranged in a circle and their size increases with distance from the pyrolysis chamber 4, as a result of which the vapor stream in the pre-cooling tank 5 is gradually cooled
0 перегородки 16, равномерно поступает в ка- меру покрыти 6.0 partitions 16, evenly enters the coating chamber 6.
Кроме того в предложенном устройстве обеспечиваетс возможность регулировки температуры при охлаждении изделий 29In addition, the proposed device provides the ability to adjust the temperature when cooling products 29
5 пластинами-охладител ми 26 дл того, чтобы части изделий, расположенные дальше от источника паров, охладились сильнее с тем, чтобы там образовывалс такой же слой покрыти , как и на част х, более близких к5 by cooling plates 26 so that parts of the products further from the vapor source are cooled more so that the same coating layer forms there as on parts closer to
0 источнику паров.0 source of vapor.
Отсос паров производитс из верхней части камеры покрыти 6,с тем чтобы уменьшить возможность образовани так называемых мертвых зон.Vapor is sucked out from the top of the coating chamber 6 so as to reduce the possibility of forming so-called dead zones.
5 Предложенное устройство обеспечивает равномерное покрытие по всей поверхности покрываемых изделий 29, снижает процент брака издели за счет повышени качества покрыти и, кроме того уменьшает5 The proposed device provides uniform coverage over the entire surface of the coated products 29, reduces the percentage of marriage of the product by improving the quality of the coating and, in addition, reduces
0 расход материала покрыти за счет уменьшени охлаждени на стенках камеры и пластинах-охладител х 26.0 consumption of coating material by reducing cooling on the walls of the chamber and cooling plates 26.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4946832 RU1808411C (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Device for applying poly-p-xylylene coating |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4946832 RU1808411C (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Device for applying poly-p-xylylene coating |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1808411C true RU1808411C (en) | 1993-04-15 |
Family
ID=21579984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4946832 RU1808411C (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Device for applying poly-p-xylylene coating |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1808411C (en) |
-
1991
- 1991-06-19 RU SU4946832 patent/RU1808411C/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент US № 3246627, кл. 118-49, опублик. 1966. Патент Швейцарии № 580649, кл. С 08 О 61/02, опублик. 1976. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1062069C (en) | Drying hopper and powder drying method using the same | |
RU1808411C (en) | Device for applying poly-p-xylylene coating | |
EP0284464B1 (en) | Furnace for the dehydration of powders, sand and agglomerates | |
US3445262A (en) | Method for lining container closures | |
GB1081324A (en) | Process and apparatus for vacuum coating articles | |
JPS6436085A (en) | Method and apparatus for forming functional deposition film by microwave plasma cvd method | |
US3515095A (en) | Coating process | |
US3119354A (en) | Method for the baking of bread and other bakery products with infra-red rays | |
TW200411079A (en) | Apparatus for chemical vapor deposition | |
US6642484B2 (en) | Glass ceramic plates for holding substrates during pre-heating | |
JP3121833B2 (en) | Wear drying apparatus, wear drying method, and automatic wear molding machine | |
CA1128894A (en) | Process for coking coal and coke oven for performing process | |
JP5015944B2 (en) | A cooled device for plasma depositing a barrier layer on a vessel | |
TW201515995A (en) | Bulk silicon carbide having low defect density | |
RU16145U1 (en) | TECHNOLOGICAL LINE FOR THERMAL DIFFUSION ZINC | |
SU1597251A1 (en) | Method of applying coatings from metallic powders on internal surfaces of articles | |
KR970000511Y1 (en) | Coating apparatus for chemical vapor deposition | |
SU947809A1 (en) | Vacuum chamber for selenium coating application to electro-photographic drum | |
JPH0215633B2 (en) | ||
SU953003A1 (en) | Apparatus for applying coatings from gaseous phase | |
JPH02250972A (en) | Chemical vapor phase growing device | |
JPS5659846A (en) | Continuous, high-temperature, high-vacuum drying solid-phase polymerizer for polycondensed resin chip | |
JPH0736386B2 (en) | Vapor phase growth equipment | |
SU1182245A1 (en) | Apparatus for moulding and drying ceramic articles | |
RU2034091C1 (en) | Unit for application of coatings |