RU1806150C

RU1806150C - Polymeric film-forming composition for production of pellicles

Info

Publication number: RU1806150C
Application number: SU914953787A
Authority: RU
Inventors: Юрий Станиславович Кольцов; Анатолий Петрович Чавгун; Нина Владимировна Беликова; Татьяна Леонидовна Темченко; Олег Павлович Гущин; Марина Сергеевна Вилесова
Original assignee: Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной химии"
Priority date: 1991-05-08
Filing date: 1991-05-08
Publication date: 1993-03-30

Abstract

Использование: проекционна фотоме- тографи дл предохранени фотошаблонов от пылевидных частиц. Сущность изобретени : композици дл изготовлени пелликлов содержит 3-%5% ацетобутирата целлюлозы, 10-45% растворител с температурой кипени 70-160&deg;С и 50-85% бути- лацетата. Растворителем вл ютс этилацетат, диоксан, циклогексанон, ацети- лацетон. 1 з.п. ф-лы, 1 табл.Usage: projection photometography to protect photomasks from dust particles. SUMMARY OF THE INVENTION: a composition for making pellicles contains 3% to 5% cellulose acetate butyrate, 10-45% solvent with a boiling point of 70-160 ° C and 50-85% butyl acetate. The solvent is ethyl acetate, dioxane, cyclohexanone, acetylacetone. 1 s.p. crystals, 1 tab.

Description

Изобретение относитс к области полимерных пленкообразующих композиций, а именно: композиций дл изготовлени пленок пелликлов-специальных рамок, накладываемых сверху на фотошаблоны и предотвращающих попадание на их поверхность пылевидных частиц.The invention relates to the field of polymer film-forming compositions, namely: compositions for the manufacture of pellicle films-special frames, superimposed on top of photo masks and preventing dust particles from entering their surface.

Целью изобретени вл етс увеличение времени эксплуатации пленок, получаемых из полимерных пленкообразующих композиций.The aim of the invention is to increase the operating time of films obtained from polymer film-forming compositions.

Поставленна цель достигаетс тем, что полимерна пленкообразующа композици на основе АБЦ и растворител дополнительно содержит бутмлацетат, а в качестве The goal is achieved in that the polymer film-forming composition based on ABC and the solvent additionally contains butyl acetate, and as

растворител используют растворитель с температурой кипени в интервале 70- 160°С при следующем соотношении компонентов , мае.:the solvent uses a solvent with a boiling point in the range of 70-160 ° C in the following ratio, May:

АБЦ3-5 Растворитель с температурой кипе ни 70-160°С 10-45 Бутилацетат 50-85 В качестве растворител можно использовать органические жидкости, хорошо раствор ющие АБЦ, температура кипени которых находитс в пределах 70-160°С, например, этилацетат, диоксан, циклогексанон , ацетилацетон. При использовании расСОABC3-5 Solvent with a boiling point of 70-160 ° С 10-45 Butyl acetate 50-85 As a solvent, organic liquids that dissolve ABC well, boiling points of which are in the range of 70-160 ° С, for example, ethyl acetate, dioxane, can be used , cyclohexanone, acetylacetone. When using racSO

о оoh oh

101101

оabout

ыs

творителей с температурой кипени меньшей , чем 70°С не удаетс получить пленки с требуемым уровнем равнотолщинности. При больших, чем 160°С значени х температуры кипени , скорость испарени раствор ющей системы мала и, соответственно, врем формировани полимерной пленки превышает технологически допустимое (10 мин). .creators with a boiling point less than 70 ° C, it is not possible to obtain films with the desired level of uniform thickness. At higher boiling points than 160 ° C, the rate of evaporation of the solvent system is small and, accordingly, the formation time of the polymer film exceeds technologically permissible (10 minutes). .

Принципиальное значение имеет содержание БА в композиции. При содержании БА меньшем, чем 50 мас.% происходит резкое снижение времени стабильности полимерной пленки в нат нутом состо ний. А при большем, чем 85 мас.% наблюдаетс плоха гомогенизаци раствора, что существенно сказываетс на однородности формируемых из ПОК пленок. Получаемые при этом значени разнотолщинности существенно больше нормы (табл.1). Введение БА в композицию неочевидно, поскольку он не вл етс растворителем дл АБЦ, что и приводит к выпадению полимера из системы при увеличении содержани БА свыше 85 мас.%. В то же врем введение БА в композицию в количествах, указанных в формуле изобретени , позвол ет получать пленки с удовлетворительным уровнем свойств.Of fundamental importance is the content of BA in the composition. When the BA content is less than 50 wt.%, A sharp decrease in the stability time of the polymer film in the tension state occurs. And at greater than 85 wt.%, Poor homogenization of the solution is observed, which significantly affects the uniformity of the films formed from the POC. The resulting thickness values are substantially greater than normal (Table 1). The introduction of AD into the composition is not obvious, since it is not a solvent for ABC, which leads to the precipitation of the polymer from the system with an increase in the content of AD over 85 wt.%. At the same time, the introduction of BA into the composition in the amounts indicated in the claims makes it possible to obtain films with a satisfactory level of properties.

Таким образом, при реализации изобретени в объеме признаков,представленных в формуле изобретени , в за вл емых пределах по температуре кипени растворител и соотношении компонентов, получают пленки требуемого качества. При этом использование предлагаемой рецептуры позвол ет в 2-3 раза повысить врем эксплуатации пленки АБЦ в составе пеллик- лы.Thus, when implementing the invention within the scope of the features presented in the claims, within the specified limits on the boiling point of the solvent and the ratio of the components, films of the required quality are obtained. Moreover, the use of the proposed formulation makes it possible to increase the operating time of the ABC film in the composition of the pellicle by a factor of 2–3.

Пример.Example.

Пленкообразующа композици , содержаща , мас.%:Film-forming composition containing, wt.%:

АБЦ.4ABC. 4

Циклогексанон35Cyclohexanone35

Бутилацетат61Butyl acetate61

Композицию готов т путем растворени 4 мае.ч. АБЦ в 35 мас.ч. цмлогексано- на. В полученный раствор затем добавл ют 61 мас.ч. бутилацетата и перемешивают полученную систему при комнатной температуре до ее полной гомогенизации. Дл получени пленки 3-5 мл ЛОК выливают на вращающуюс со скоростью 700-1000 об/мин полированную кремниевую пласти- ну и сушат на воздухе при нормальных услови х в течение 10 мин. Качество полученной пленки:The composition is prepared by dissolving 4 wt. ABC in 35 parts by weight tsmlohexanone. To the resulting solution, 61 parts by weight are then added. butyl acetate and the resulting system is stirred at room temperature until it is completely homogenized. In order to obtain a film, 3-5 ml of LOC is poured onto a polished silicon wafer rotating at a speed of 700-1000 rpm and dried in air under normal conditions for 10 minutes. The quality of the film:

разнотолщинность0,02 мкм врем эксплуатации 45 сут.thickness 0.02 μm; operating time 45 days.

Остальные примеры, подтверждающие возможность получени положительного эффекта только в объеме признаков, указанных в формуле изобретений, приведены в таблице.Other examples confirming the possibility of obtaining a positive effect only in the scope of the features indicated in the claims are given in the table.

Примеры пленкообразующих композиций на основе АБЦ.Examples of film-forming compositions based on ABC.

Claims

Formula 1, A polymer film-forming composition for the manufacture of pellicles, including cellulose acetate butyrate and an organic solvent, characterized in that, in order to increase the life of the pellicles, it contains an organic solvent with a boiling point of 70-160 ° C. and additionally butyl acetate in the following components, wt.%:

cellulose acetate butyrate 3-5 solvent with a temperature of 70 to 160 ° C 10-45 butyl acetate 50-85,

2. The composition according to claim 1, wherein the composition comprises ethyl acetate, dioxane, cyclohexanone and acetylacetone as an organic solvent with a boiling point of 70-160 ° C.

Examples of film-forming compositions based on ABC