RU1791666C - Способ подготовки к работе двухстенного трубопровода - Google Patents

Abstract

Область применени : в газоснабжении и целесообразно использовать при газоснабжении производства, выпускающего особо чистые вещества и покрыти . Сущность изобретени : от источника газа с очистителем заполн ют рабочим расходом внутреннюю полость трубопровода и через нее межтрубное пространство с заранее заданными расходами дл  вытеснени  газовых примесей. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к газоснабжению , преимущественно, технологического оборудовани , использующего высокочистые вещества (в том числе и газы), гарантирующие особую точность проведени  химических процессов. Способ позвол ет применить в технологических процессах рабочий газ с допустимым содержанием газовых примесей (0,1...10)х .%. Поэтому изобретение найдет применение при производстве особых чистых веществ (сплавов, реактивов, лекарств). Особенно целесообразно способ использовать при изготовлении изделий микроэлектроники (газоснабжение окислительными и восстановительными газами операций по напылению сверхтонких пленок металлов и неметаллов).

Развитие электроники потребовало создани  более емкой элементной базы путем последовательной миниатюризации схем: интегральные схемы - супербольшие интегральные схемы (СБИС) - жидкие кристаллы и т.д. Миниатюризаци  элементной базы требует посто нного уменьшени  (в процессе совершенствовани ) размеров полупроводниковых р-п переходов и сечений линий их св зей. Например, современный уровень миниатюризации р-п переходов - 0,12 мкм, при этом при производстве микроэлементов необходимо выполнить до 10 тыс ч слоев таких же тонких покрытий (напылений). Производство бракованных элементов микроэлектроники гГослёднеГо поколени  достигают 50% и более. Одной из главных причин брака  вл етс  низка  чистота используемых в производстве веществ, в том числе и газов: кислород, водород, хлор, аргон, аммиак, гидридные газы. Просвечивание (посредством рентгена или теп- ловизорной техники) бракованных микросхем при большом увеличении показывает не однор одность и раШ6то пщ лн- ноеть покрытий сформированных под воздействием неоднородной газовой среды (с газовыми примес ми). Например, процесс окислени  провод т кислородом, процесс восстановлени  - водородом. Технологами устанавливаютс  и уменьшаютс  дл  следующего поколени  микроэлементов нормы по содержанию газовых примесей. На сегодн шний день нормы дл 

XI Ю

о о

разных типов газовых примесей по величине наход тс  в интервале (0,1...10) об.% основного газа. Производство высокочистого газа освоено промышленностью. Однако с такой допускаемой микроконцентрацией газовых примесей качество газа резко ухудшаетс  даже от добавлени  ничтожно малого количества примесей.

Перед системами газоснабжени  высокочистыми газами стоит проблема сохранени  качества гйз а при Транспортировке от очистител  до места потреблени  газа, Практически очищенный газ при транспортировке загр зн етс  за счет газовыделени  микропримесей из микропор стенок трубопровода и натекани  воздуха из вне (диффузи  на молекул рном уровне). Следует отметить, что это  вление наблюдаетс  непрерывно и особенно энергично сказываетс  в ответвлени х трубопровода, например , в полост х перед закрытыми запорными органами систем газоснабжени . Поэтому первые порции поданного потребителю газа после открыти  запорного органа об зательно недопустимо низкого качества. Этот недостаток устран етс  проведением специальной подготовки газоснабжени  потребител  высокочистого газа.

Наиболее близким к за вл емому техническому решению  вл етс  способ наддува потребител , например процесса напылени  теплоизол ции. В качестве потребител  в нем выступает внутренн   стенка наружного трубопровода, а способ подготовки дл  осуществлени  последующих основных (рабочих) операций заключаетс  в том, что от источника газа с очистителем заполн ют рабочим расходом внутреннюю полость трубопровода и через нее - межтрубное пространство, а из межтрубного пространства газ сбрасывают.

В процессе осуществлени  подготовительных операций рабочий газ, пройд  межтрубное пространство двухстенного трубопровода, выбрасываетс  в атмосферу. Выброс происходит с полным расходом. О завершении процесса подготовки суд т по факту по влени  выброса газа. Отсутствие газоизолированности у выводимой из межтрубного пространства части трубы (в процессе выполнени  основных операций) приведет к тому, что будут наблюдатьс  последстви  процесса диффузии. Перечисленные факторы делают неприемлемым использование такой подготовки в качестве способа подготовки газоснабжени  потребител  высокочистыми газами.

Цель изобретени  - повышение эффективности путем обеспечени  высокой концентрации газа перед потребителем в двух- стенном трубопроводе с ответвлени ми.

Это достигаетс  тем, что сброс осуществл ют расходом меньше рабочего, подостижению рабочего давлени  во внутренней полости трубопровода это давление поддерживают от источника расходом, равным расходу сброса, с момента достижени  в межтрубном пространстве давлени , равного давлению всасывани  очистител , прекращают подачу газа от источника и осуществл ют в трубопроводе газозамещение путем циркулировани  газа из межтрубного пространства во внутреннюю полость

трубопровода через очиститель, при этом расход сброса не превышает 1/4 рабочего расхода и его формируют непрерывным перепуском газа из внутренней полости трубопровода в межтрубное пространство в

конце ответвлений, причем перед очистителем измер ют концентрацию сбрасываемого из межтрубного пространства газа и о завершении подготовки суд т по прекращению роста этой концентрации, Одновременно в способе определ етс  момент завершени  подготовки по одному параметру благодар  обеспечению синхронности завершени  вытеснени  газовых примесей, накопленных в ответвлени х. Дл  этого газ

перепускают в каждом ответвлении из внутренней полости в межтрубное пространство трубопровода с расходом, равным:

q-ffxQ,

где q - расход перепуска в конце i-ro ответвлени ;

Q - производительность очистител ; f - площадь внутренней стенки 1-го ответвлени ;

F - сумма площадей внутренних стенок всех ответвлений.

Таким образом, при подготовке к наддуву потребител  по двухстенному трубопроводу обеспечиваетс  и посто нно

поддерживаетс  максимальна  чистота и высока  концентраци  газа в конце ответвлений трубопровода (перед потребителем), тем самым гарантируетс  качество газа в первых порци х при наддуве потребител ;

газозамещение и поддержание готовности к наддуву высокочистым газом осуществл етс  газом, заполнившим трубопровод, тем самым обеспечиваетс  экономичность и замкнутость процесса подготовки; рационально и точно определ етс  момент завер- шени  подготовки к наддуву высокочистыми газами; реализуетс  наиболее благопри тные услови  газоанализа, т.е. при минимальном вли нии смешени 

чистого газа с газовыми примес ми; реализуетс  зависимость интенсивности газозамещени  от объемов газовых примесей в ответвлени х трубопровода, тем самым обеспечиваетс  рациональное распределение циркулируемого газа при газозамещении .

Способ иллюстрируетс  схемой, представленной на чертеже.

Схема содержит двухстенный трубопровод 1 с межтрубным пространством 2 и внутренней полостью 3, вход которой соединен с очистителем 4. Этот двухстенный трубопровод имеет целый р д ответвлений 5, которые  вл ютс  (по выполн емой функции ) выходами этого трубопровода. Полость 3 соединена через эти ответвлени , в каждом из которых установлен электро- пневмоклапан 6 двойного действи  (ЭПК), непосредственно с соответствующим местом потреблени  (на рисунке не показаны). Нормально открытые выходы ЭПК соединены с межтрубным пространством 3 через дроссели 7. На входе двухстенного трубопровода 1 межтрубное пространство 3 сообщено по линии 8 с первым входом очистител  4 и с аппаратурой 9 анализа качества газа. На выходе лини  8 имеет датчик 10 измерени  давлени  всасывани  сбрасываемого из межтрубного пространства газа. В свою очередь очиститель состоит из отсасывающих агрегатов 11 и очищающей аппаратуры 12,

Дл  более полного понимани  существа за вленного способа за витель счел целесообразным дать разъ снени . Они касаютс   влений, происход щих в операци х при реализации способа в конструкции.

Очиститель 4 представл ет собой совокупность отсасывающего 11 и очищающего 12 оборудовани . Отсасывающее оборудование состоит из отсасывающих агрегатов и распредел ющей по входам этих агрегатов пневмоарматуры. В качестве отсасывающих агрегатов очистител  примен ют компрессоры без смазки (незагр зн ющие высокочистые газы), например, мембранные компрессоры. Эти агрегаты имеют небольшую производительность и их устанавливают параллельно по несколько штук. При этом производительность всасывани  очистител  можно изменить подключением одного, двух или нескольких компрессоров. Самую минимальную производительность очистител  можно осуществить эпизодическим (циклическим) подключением одного компрессора по мере накоплени  газа в межтрубном пространстве , при этом определ ют момент включени  и отключени  по величине давлени  в межтрубном пространстве по датчику 10. Избыточное давление в межтрубном пространстве 2 назначаетс  по давлению на всасывающих патрубках компрессоров, что

указываетс  в паспортных данных каждой марки компрессора. Проходное сечение дросселей рассчитывают по известным методикам из условий обеспечени  перепада рабочего давлени  на входе и давлени  в

0 межтрубном пространстве на их выходе, а также пропуска расхода, рассчитанного по уравнению формулы изобретени . Такой расчетный режим дросселировани  сохран ет расход газозамещени  в ответвлени х,

5 временно не участвующих в наддуве, т.е. при временно закрытом запорном органе на конце ответвлени , Газозамещение примесей чистым газом, как подготовительную операцию, целесообразно как экономиче0 ски (экономи  ресурсов), так и технически (толькочастичный износ оборудовани ) проводить расходом меньше рабочего расхода, Загазованность трубопровода примес ми зависит от множества факторов; длительно5 сти периода нахождени  без давлени  и полноты дренажа; состо нием, количеством узлов соединени  труб и их конструкцией; материал труб и т.п. Поэтому только измерени  в каждом цикле подготовки могут под0 твердить завершение газозамещени , а врем  перехода этого событи  не подлежит теоретическому прогнозу. Из-за малого объема примесей в измер емом газе точность их регистрации можно повысить, уменьшив

5 долю чистого газа, т.е. снизить вли ние фактора смешени  (разбавлени ) высокочистым газом. Таким образом удаетс  условно повысить концентрацию газовых примесей в измер емом газе. Уменьша  расход по0 ступлени  высокочистого газа можно надежно определить и момент стабилизации процесса повышени  концентрации высокочистого газа. Поступающий из межтрубного пространства загр зненный газ

5 анализируют на содержание основных примесей в объемных процентах. Например, дл  азотоснабжени  электронного производства , основными газовыми примес ми  вл ютс  кислород (не более 0,), во0 дород(неболее10х10 4%)и газ СО (не более 0,). Обычно в начале процесса циркул ции концентраци  газа быстро растет до величины, например, 97%...98%. Дальнейший прирост концентрации до величи5 ны, например, 99,9% идет значительно дольше (врем  зависит от мощности полоскаемой сети труб: их проходных сечений и длин; количества ответвлений, разъемных соединений и т.п.). Заключительный этап газозамещени  характеризуетс  стабилизацией показаний около величины 99,97...99,98%, что характеризует завершение интенсивного газовыделени  стенок трубопровода и замещени  газовых примесей , накопленных за период нерабочего (сдренированного) состо ни  трубопровода . В дальнейшем ухудшать качество высокочистого газа будут посто нные и минимальные примеси, излучаемые из микроопор трубопровода. Их вынос будет осуществл тьс  путем сохранени  газозамещени  в период наддува и в ответвлени х , не участвующих в наддуве. Поэтому непосредственно перед потребителем всегда поддерживаетс  высокое качество газа, вплоть до момента выдачи азота. В ответвлени х , наддувающих потребитель, накопление газовых примесей невозможно.

Однако в прот женных и сильно разветвленных трубопроводах (например, при газоснабжении сложных технологических комплексов) проводитс  газозамещение больших объемов, поэтому обеспечива  циркул цию газа расходом, равным минимальной производительности очистител , подготовку осуществл ют слишком долго. Дл  оперативного осуществлени  подготовки к газоснабжению трубопроводной сети большого объема целесообразно увеличить расход циркул ции (по сравнению с величиной минимального расхода, минимальной производительности очистител ). На практике установлено (например, строительными нормами и правилами, а также примен етс  это в практике проектировани  вентил ционных агрегатов), что гарантированное газозамещение обеспечиваетс  4-кратным обменом (в требовани х к вентил ции помещений с оборудованием, выдел ющим вредные и взрывоопасные утечки газов). Это означает, что газозамещение необходимо выполн ть фактически 4-кратного объема трубопровода. На практике усредненной предельной величиной расхода циркул ции (дл  основной массы случаев соотношени  внутренних объемов трубопроводов , рабочих расходов и допускаемого времени подготовки)  вл етс  величина, не более 25% величины рабочего расхода. В нижеприведенном примере будет показан вывод этой величины. Об зательным условием вытеснени  в ответвлени х газовых примесей  вл етс  условие непрерывного перепуска газа из внутренней полости трубопровода в межтрубное пространство в конце каждого ответвлени . Если это условие не будет соблюдено, то в ответвлени х будут образовыватьс  газовые тупики, заполненные газовыми примес ми, что недопустимо (так как это приведет к их подаче в потребитель при наддуве).

Излучающие газовые примеси поверхности трубопровода представл ют собой

цилиндрическую поверхность, образующую объем внутренней полости трубопровода. Суммарный расход циркул ции должен распредел тьс  по ответвлени м трубопровода таким обазом, чтобы была обеспечена синх0 ронность в завершении вытеснени  примесных накоплений по всем ответвлени м. Дл  выполнени  этого, деление расхода циркул ции по ответвлени м должно осуществл тьс  пропорционально площад м

5 поверхностей, излучающих газовые примеси. В подобных случа х необходимо определить долю расхода циркул ции, приход щуюс  на единицу площади излучающих поверхностей, сброс, газа в каждом ответвлении устанав0 ливают с расходом, пр мо пропорциональным площади внутренней поверхности ответвлени  (см. уравнение в формуле изобретени ).

В качестве источника газа используют

5 оборудование или производ щее сжатый газ (газификаторы жидкого азота, газоотде- л ющие агрегаты, электролизеры и т.д.) или накапливающее газ (баллоны, сосуды, ресиверы ).

0 Суть за вленного способа заключаетс  в следующем.

В исходном положении во внутренней полости 3 трубопровода и межтрубном пространстве 2 давлени  нет, ЭПК 6 обесточены

5 (выключены) и их входы сообщены с нормально открытыми выходами и через дроссели 7 с межтрубным пространством 2. Полости потребителей, подлежащие наддуву , не сообщаютс  с трубопроводом (нор0 мально закрытые выхода ЭПК закрыты). Межтрубное пространство 2 сообщено с входом компрессоров 11 очистител  4, а выход очистител  4 с входом трубопровода 1. Компрессор выключен.

5 Процесс подготовки наддува потребител  начинаетс  с заполнени  трубопровода высокочистым азотом от источника газа. Заполнение трубопровода от источника газа через очиститель 4 осуществл ют до до0 стижени  величины рабочего давлени  наддува. В процессе заполнени  трубопровода до рабочего давлени  высокочистый азот перемещаетс  по длине трубопровода, смешиваетс  с наход щимис  в трубопро5 воде примес ми, качество газа падает и он вытесн етс  в межтрубное пространство 2 через дроссели 7 в конце ответвлений. Таким образом, газ сбрасывают расходом, меньше рабочего, а в трубопроводе давле- ние возрастает быстрее, чем в межтрубном

пространстве. Заполнение трубопровода осуществл ют, использу  полную производительность очистител  4, а максимальна  производительность очистител  устанавливаетс  равной рабочему расходу наддува потребител . Использование максимальной производительности очистител  в период заполнени  трубопровода позвол ет, как можно быстрее, заполнить трубопровод, сбрасывающий газ в межтрубное пространство , и выйти на режим циркулировани  газа (газозамещение загр зненного примес ми газа - чистым).

По достижении рабочего давлени  во внутренней полости двухстенного трубопровода это давление от источника газа поддерживают до момента достижени  в межтрубном пространстве давлени  всасывани  очистител . Это обеспечиваетс  подпиткой расходом меньше рабочего и равным сумме расходов потоков газа, истекающих из дросселей. По достижении дав- лени  всасывани  очистител  в межтрубном пространстве (с одновременным поддержанием рабочего давлени  во внутренней полости трубопровода) включают в работу отсасывающие агрегаты очистител  (компрессоры) и прекращают выдачу газа от источника. Таким образом, начинаетс  газозамещение в трубопроводе путем циркулировани  газа из межтрубного пространства во внутреннюю полость трубопровода через очиститель. Одновременно с циркулированием начинают газоанализ сбрасываемого из межтрубного, пространства газа в цел х определени  момента завершени  процесса подготовки трубопровода к наддуву высокочистым газом . После прекращени  роста концентрации возвращаемого из межтрубного пространства газа, показани  газоанализаторов стабилизируетс  и процесс подготовки завершают прекращением газоанализа (газозамещение сохран етс  и на период наддува потребител ).

Пример. Необходимо подготовить к газоснабжению высокочистым азотом двух- стенный трубопровод, наддувающий потребитель по трем ответвлени м. Суммарный внутренний объем трубопровода - 5 м3. Наддув осуществл ют при рабочем давлении 50 кгс/см2, с рабочим расходом 300 нм3/ч. Площади внутренних поверхностей ответвлений равны соответственно 0,35; 0,5; 0,65 м2 (суммарна  площадь - 1,5 м2). В качестве отсасывающих агрегатов очистител  используютс  10-ть мембранных компрессоров марки 4,0 MK-30/5-400MI с производительностью 30 нм3/ч каждый и давлением всасывани  5 кгс/см , Рабочий

расход обеспечивает одновременна  работа всех компрессоров (30 нм3/ч х 10 300 нм3/ч). В качестве источника азота используетс  газификатор, вырабатывающий газ

под давлением 5 кгс/см (производительностью до 300 нм3/ч газообразного азота). При это м а п п a pStypaT о чТл Щающа  газ (оч и стите- л ), как дл  отсасывающих агрегатов очистител , так и дл  источника газа выполнена

0 общей (единой). Первоначально необходимо установить расходы дроссельных шайб и рассчитать режим циркул ции. Эти величины рассчитываютс  из услови  минимального времени подготовки, при этом наиболее

5 оптимальным минимальным временем подготовки будет врем , необходимое дл  завершени  газоанализа сбрасываемого из межтрубного пространства газа. С учетом времени выхода на режим приборов газо0 анализа, врем  обработки результатов измерений , необходимости повторов анализа (дл  подтверждени  полученного результата) потребуетс , примерно 17-25 мин. Дл  случа , приведенного в примере,

5 диапазон расхода циркул ции (производительность очистител  в процессе газоза- мещени ) составит, соответственно, от 71,4 нм3/ч (5м3 х 4): 0,28 ч, что составл ет , примерно, 23% рабочего расхода, и до

0 47,6нм3/ч (5м3х4):0,42ч,чтосоставл ет примерно 16% рабочего расхода. Из примера вытекает, что циркул цию при газозамещении целесообразно осуществл ть расходом не более 1/4 рабочего расхода.

5 При этом (дл  диапазона 47,6...71,4 нм /ч) необходимо дл  газозамещени  использовать одновременную работу двухмембран- ных компрессоров (30+30 60 нм /ч). Использу  уравнение, приведенное в фор0 муле изобретени , газ при циркул ции в конце первого ответ в л I н и   дросс ел иру расходом 14 нм3/ч (0,35 м2 : 1,5 м2) х 60 нм3/ч. В конце второго и третьего ответвлени , соответственно, 20 и 26 нм3/ч. Исход- 5 ное положение системы газоснабжени  соответствует указанному в разделе суть способа.

Первой операцией процесса подготовки  вл етс  операци  заполнени  газом

0 внутренней полости 3 и межтрубного пространства двухстенного трубопровода 1. Дл  этого азот подают от источника (например , газификатора) с давлением 5 кгс/см2 и расходом 300 нм3/ч. Запорные элементы на

5 входах мембранных компрессоров открываютс , все компрессоры включаютс  и сжимают азот до рабочего давлени  50 кгс/см2. С выходов компрессоров сжатый азот поступает в очищающую аппаратуру 12, а с выхода очистител  4 - на вход внутренней

полости двухсменного трубопровода 1. Давление в трубопроводе 1 и его ответвлени х 5 начинает расти. Одновременно часть азота (с расходом не более 60 нм /час) в концах ответвлений выдают из полости 3 в меж- трубное пространство 2 по цепочке вход ЭПК6 - нормально открытый выход ЭПКб - дроссель 7 - межтрубное пространство 3 конца ответвлени .

Из межтрубного пространства газ за- полн ет линию 8 (на ее выходе запорный элемент закрыт). Поскольку заполнение межтрубного пространства идет менее интенсивно (по расходу), заполнение внутренней полости трубопровода до рабочего давлени  произойдет раньше, чем заполнение межтрубного пространства до давлени  всасывани  очистител . В момент достижени  рабочего давлени  во внутренней полости трубопровода уменьшают производительность очистител  до величины расхода циркул ции, т.е. до 60 нм3/час. Дл  этого выключают 8 компрессоров и составл ют включенными только два (30 нм3/ч + 30 нм3/ч). Таким образом привод т в соответствие расход под- питки (расход циркул ции) с суммарным расходом выдачи газа через дроссели 7 (рас- четный режим). Режим подпитки сохран ют до момента достижени  в межтрубном пространстве давлени  всасывани  компрессо- ров. О достижении давлени  сообщает датчик давлени  10. В момент достижени  давлени  всасывани  очистител  в межтрубном пространстве подачу от источника газа прекращают и на входы двух работаю- щих компрессоров подают газ из межтрубного пространства 2 по линии 8. Далее идет режим циркул  ции газа с выхода очистител  в полость 3, из полости 3 через дроссели 7 в пространство 2, из пространства 2 по линии 8 в очиститель. Одновременно с режимом циркул ции начинают осуществл ть газовый анализ концентрации газа, возвращаемого в очиститель. Первоначально аппаратура 9 анализа покажет минималь- ные значени  концентрации и ее резкий прирост. В дальнейшем прирост начнет убывать и в момент стабилизации показаний станет посто нной по величине, например , 99,9888%. Прекращение роста концентрации означает завершение выноса именно накопленных газовых примесей, Подготовка трубопровода к наддуву потребител  завершена.

Если наддув потребител  осуществл - етс  не сразу, то режим газозамещени  процесса подготовки сохран етс , хот  подготовка завершена. Если наддув потре- битёЛ й выпбЯй  ют сразу после получени  сигнала о завершении подготовки, то газозамещение сохран етс  только в ответвлени х с закрытым запорным органом. Сохранение частичного газозамещени  обеспечиваетс  в примере эпизодическим (по мере роста давлени  в межтрубном пространстве ) подключением линии 8 к входу одного компрессора.

Технико-экономическа  эффективность за вл емого способа заключаетс  в том, что: осуществл етс  сброс накопленных за период просто  в ответвлени х (тупиковых полост х) трубопровода газовых примесей, что исключает возможность выдачи потребителю микропримесных накоплений;

обеспечиваетс  высока  концентраци  газа в первых порци х подаваемого потребителю потока путем выполнени  газозамещени  у места потреблени  (на концах ответвлений трубопровода);

обеспечиваетс  экономичное использование высокочистого газа путем осуществлени  подготовки объемом газа заполнившим трубопровод;

обеспечиваетс  безопасность подготовки к газоснабжению потребител   довитыми и взрывоопасными газами за счет замкнутости цикла подготовки (без дренажа загазованного примес ми газа);

. установленное уравнением формулы изобретени  режим дросселировани  позвол ет осуществить при газозамещении в ответвлени х трубопровода синхронность завершени  вытеснени  накоплений газовых примесей;

обеспечиваетс  достоверное и точное регистрирование момента завершени  подготовки к наддуву.

Все упом нутое позволит повысить эффективность подготовки к наддуву потребител  высокочистым газом.

Claims (2)

1. Формула изобретени  1. Способ подготовки к работе двухстен- ного трубопровода, включающий подачу газа с рабочим расходом от источника с очистителем во внутреннюю полость трубопровода , перепуском газа в межтрубное пространство с последующим сбросом газа , отличающийс  тем, что, с целью повышени  эффективности вытеснени  газовых примесей за счет обеспечени  высокой концентрации газа перед потребителем при применении двухстенного трубопровода с ответвлени ми, сброс осуществл ют с расходом, меньшим рабочего расхода с достижением рабочего давлени  во внутренней полости трубопровода, после чего рабочее давление поддерживают путем подачи от источника газа с расходом, равным расходу сброса до достижени  в меж

   трубном пространстве давлени , равного давлению на очистителе, после чего прекращают подачу газа от источника и осуществл ют циркул цию газа из межтрубного пространства во внутреннюю полость трубопровода через очиститель с расходом сброса, не превышающим 1 /4 рабочего расхода , при этом сброс ведут перепуском газа из внутренней полости в межтрубное пространство в конце ответвлений, измер ют концентрацию сбрасываемого затем из межтрубного пространства газа и при прекращении роста концентрации заканчивают подготовку.

   0
2. 2. Способ по п.1, отличающийс  тем, что, с целью определени  момента завершени  подготовки по одному параметру за счет обеспечени  синхронности завершени  вытеснени  газовых примесей в ответвлени х , газ перепускают в каждом ответвлении из внутренней полости в межтрубное пространство с расходом, равным f/FQ, где Q - производительность очистител ;

   f - площадь внутренней стенки ответвлени ;

   F - сумма площадей внутренних стенок всех ответвлений.