RU1788511C

RU1788511C - Optical radiation modulator

Info

Publication number: RU1788511C
Application number: SU904816105A
Authority: RU
Inventors: Эдуард Александрович Грибов
Original assignee: Э.А.Грибов
Priority date: 1990-04-17
Filing date: 1990-04-17
Publication date: 1993-01-15

Abstract

Использование: дл модул ции оптического излучени электронным или оптическим модулирующим излучением. Сущность изобретени заключаетс в том, что модул тор включает в себ размещенные на подложке 1 деформируемые выполненные из провод щего материала зеркальные элементы 2 и первый управл ющий электрод 3. С противоположной от первого управл ющего электрода 3 стороны к зеркальным элементам 2 примыкает диэлектрический слой 6 и третий управл ющий электрод 7. Слой 6 и электрод 7 прозрачны. Опоры 8 зеркальных элементов 2 со стороны модулируемого излучени прикрыты зеркальными участками, а их провод щие участки соедин ют зеркальные элементы 2 с контактными электродами 9, примыкающими к слою 4. Зеркальные элементы 2 электрически изолированы друг от друга. 1 ил.Use: for modulating optical radiation with electronic or optical modulating radiation. The essence of the invention lies in the fact that the modulator includes deformable mirror elements 2 made of a conductive material placed on a substrate 1 and a first control electrode 3. On the opposite side from the first control electrode 3, a dielectric layer 6 is adjacent to and third control electrode 7. Layer 6 and electrode 7 are transparent. The supports 8 of the mirror elements 2 from the side of the modulated radiation are covered by mirror sections, and their conductive sections connect the mirror elements 2 to the contact electrodes 9 adjacent to the layer 4. The mirror elements 2 are electrically isolated from each other. 1 ill.

Description

Изобретение относитс к модул торам оптического излучени электронным или оптическим же модулирующим излучением.The invention relates to optical radiation modulators by electronic or optical modulating radiation.

Известен модул тор оптического излучени , включающий размещенные на под- ложке первый управл ющий электрод, деформируемые, выполненные из провод щего материала зеркальные элементы, соединенные через чувствительный к модулирующему излучению слой со вторым управл ющим электродом (а.с. № 1607029, МКИ5 G 03 G 16/00, 1985г).A known optical radiation modulator, including a first control electrode placed on a substrate, deformable, mirror elements made of conductive material, connected through a layer sensitive to modulating radiation to a second control electrode (AS No. 1607029, MKI5 G 03 G 16/00, 1985).

Если модулирующее излучение содержит фоновую составл ющую, то она будет присутствовать и в воспроизводимом изо- бражении,If the modulating radiation contains a background component, then it will be present in the reproduced image,

Цель изобретени - расширение функциональных возможностей путем устранени этого недостатка.The purpose of the invention is to enhance the functionality by eliminating this drawback.

Указанна цель достигаетс тем, что в модул тор, содержащий размещенный на подложке первый электрод, деформируемые , выполненные из провод щего материала зеркальные элементы, соединенные со вторым управл ющим электродом через фо- торезистивный слой, введены последовательно расположенные с противоположной от первого управл ющего электрода стороны примыкающий к деформируемым элементам диэлектрический слой и третий управл ющий электрод.This goal is achieved by the fact that in the modulator containing the first electrode placed on the substrate, deformable mirror elements made of a conductive material connected to the second control electrode through a photoresistive layer are introduced sequentially located on the opposite side from the first control electrode a dielectric layer adjacent to the deformable elements and a third control electrode.

Изобретение по сн етс чертежом.The invention is illustrated in the drawing.

Модул тор оптического излучени включает в себ размещенные на подложке 1 деформируемые, выполненные из прово- д щего материала зеркальные элементы 2 и первый управл ющий электрод 3. В варианте на фиг. 1 зеркальные элементы 2 через чувствительный к модулирующему излучению слой 4 соединены со вторым управл ю- щим электродом 5. С противоположной от первого управл ющего электрода 3 стороны к зеркальным элементам 2 примыкает диэлектрический слой 6 и третий управл ющий электрод 7. Слой 6 и электрод 7 прозрачны. The optical radiation modulator includes deformable mirror elements 2 made of conductive material 2 and a first control electrode 3. In the embodiment of FIG. 1, the mirror elements 2 are connected through a layer 4 sensitive to modulating radiation to the second control electrode 5. On the opposite side from the first control electrode 3, a dielectric layer 6 and a third control electrode 7 are adjacent to the mirror elements 2. Layer 6 and electrode 7 transparent.

Опоры 8 зеркальных элементов 2 со стороны модулируемого излучени прикрыты зеркальными участками, а их провод щие участки соедин ют зеркальные элементы 2 с контактными электродами 9, примыкающими к слою 4. Зеркальные элементы 2 электрически изолированы друг от друга.The supports 8 of the mirror elements 2 from the side of the modulated radiation are covered by mirror sections, and their conductive sections connect the mirror elements 2 to the contact electrodes 9 adjacent to the layer 4. The mirror elements 2 are electrically isolated from each other.

Устройство работает следующим образом .The device operates as follows.

Модулирующее излучение в слое 4 наводит проводимость, на зеркальных элементах 2 устанавливаетс электрический потенциал, соответствующий таковому управл ющего электрода 5, что вызывает электростатическую деформацию зеркальных элементов 2 и рассеивание ими оптических лучей, регистрируемое считывающей шли- рен-оптикой как полезный сигнал.The modulating radiation in the layer 4 induces conductivity, the electric potential corresponding to that of the control electrode 5 is established on the mirror elements 2, which causes electrostatic deformation of the mirror elements 2 and their scattering of optical rays, recorded by read-through Schlieren optics as a useful signal.

Если на дополнительный электрод 7 подать соответствующий потенциал, стрем щийс деформировать зеркальные элементы 3 в противоположную сторону, то совместное действие приведет к тому, что модулирующее излучение низкой интенсивности не сможет деформировать элементы 3. Таким образом можно отфильтровать фоновую составл ющую модулирующего излучени .If a corresponding potential is applied to the additional electrode 7, which tends to deform the mirror elements 3 in the opposite direction, the combined action will cause low-intensity modulating radiation to not be able to deform the elements 3. In this way, the background component of the modulating radiation can be filtered.

Claims

The claims

An optical radiation modulator, including a first control electrode placed on a substrate, deformable, mirror elements made of a conductive material, connected through a photoresistive layer to a second control electrode, characterized in that, in order to expand the functionality by eliminating the background component modulating radiation, introduced in it are sequentially located on the opposite side from the first control electrode adjacent to the deformable elements of the dielectric a layer and a third control electrode.