RU1775699C - Устройство дл юстировки оптических элементов - Google Patents

Abstract

Использование: в системах напылени  оптических элементов. Сущность изобретени : неподвижна  рамка 1, котора  предназначена дл  креплени  оптического элемента, расположена внутри подвижной рамки 2, выполненной в виде правильного многоугольника. В рамке 2 на противоположных взаимно перпендикул рных сторонах выполнены отверсти  3, параллельные оси рамки 2, В отверсти х 3 расположены механизмы регулировани , состо щие из втулок 4 и 8, полушайб 12 и винтов 11. Один из торцов втулки 4 имеет сферическую поверхность б, контактирующую с конической внутренней поверхностью 7 другой втулки 8. Фланец 9, в котором установлен оптический элемент 10, св зан с подвижной рамкой 2 при помощи пластинчатых V-образных пружин 13. На подвижной рамке 2 закреплены также направл ющие 14, в которых размещены ползуны 15, которые св заны с регулировочными винтами 17. 3 ил.

Description

Изобретение относитс  к приборостроению и может найти применение при юстировке оптических элементов в системах напылени  и контрол  качества напылени  оптических элементов.

Известен зеркально-линзовый объектив микроспектрометра, имеющий п ть степеней свободы регулировочных перемещений, содержащий фланец с оптическим элементом , вертикальную и горизонтальную направл ющие и регулировочные винты.

Недостаток этой конструкции заключаетс  в больших габаритах установки, сложности монтажа и управлени  в ограниченном пространстве , например, вакуумных камер.

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению  вл етс  устройство дл  юстировки оптических элементов, со- держащее неподвижное основание, регулируемый фланец с оптическим элементом , рычажно-винтовой механизм с винтами грубой и тонкой регулировки, соединенный пружинным шарниром с регулируемым фланцем.

Недостаток этой конструкции заключаетс  в ограниченном диапазоне регулировани  положени  оптического элемента, т. е. наличие только двух степеней свободы, и кроме того в наличии повышенного трени  в опорах и регулирующих поверхност х.

Цель изобретени  - расширение диапазона регулировани , повышение долговечности , уменьшение габаритов и удобство эксплуатации.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  юстировки оптических элементов , содержащем неподвижную раму фланец с оптическим элементом, подвижную рамку и регулировочный механизм, неподвижна  рамка расположена внутри

XJ

СП

Ю

подвижной, выполненной в форме правильного многоугольника с отверсти ми, распо- ложенными на противоположных попарно-перпендикул рных ее сторонах, с ос ми параллельными оси подвижной рамки , снабженной направл ющими, расположенными соответственно на других ее сторонах, с ползунами и регулировочными винтами, один конец которых шарнирно св зан с ползунами, а другой - посредством резьбы с неподвижной рамкой, оснащенной V-образными симметрично расположенными пружинами, концы которых закреплены на фланце, регулировочный механизм выполнен в виде отулок и полушайб, жестко закрепленных на подвижной раме, соединенных винтом, одна из втулок установлена с возможностью перемещени  в соответствующем отверстии подвижной рамки и имеет внутреннюю резьбу и сферическую поверхность на одном из торцов, а друга  жестко св зана с фланцем и имеет внутреннюю коническую поверхность, взаимодействующую со сферической поверхностью.

На фиг. 1 изображено устройство в разрезе; на фиг. 2 - вид А на фиг 1, на фиг 3 - вид В на фиг. 1.

Устройство содержит неподвижную раму 1, котора  предназначена дл  креплени  его, например, в вакуумной камере. Снаружи неподвижную рамку 1 охватывает подвижна  рамка 2 в виде правильного многоугольника, например, восьмиугольника . В рамке 2 на четырех противоположных взаимно перпендикул рных сторонах выполнены четыре отверсти  3 параллельные оси рамки 2, В отверсти х 3 расположены вход щие в состав механизма регулировани  втулки 4 с сиутренней резьбой. Втулки 4 имеют возможность перемещатьс  вдоль осей отверстий 3, а оси поворота зафиксированы штифтами 5,расположенными в продольных пазах отулок 4. Один из торцев каждой втулки 4 имеет сферическую поверхность бдонтактирующую с конической поверхностью 7 соответствующей ей втулке 8, четыре штуки которых жестко св заны с фланцем 9. Во фланце 9 установлен оптический элемент 10. Четыре винта 11 ввернуты в соответствующие втулки 4 и одними концами св заны с подвижной рамкой-2 посредством полушайб 12. Фланец 9 св зан с подвижной рамкой 2 при помощи четырех пластинчатых V-образных пружин 13. На подвижной рамке 2 закреплены также направл ющие 14, в которых размещены ползуны 15. Последние при помощи сферических шарниров 16 св заны регулировочными винтами 17. Винты 17 ввинчены в резьбовое отверстие в неподвижной рамке 1. Кроме

винтов 17 неподвижна  1 и подвижна  2 рамки св заны пружинами 18.

Работает устройство следующим образом , Регулировочными винтами 17 производ т перемещение и фиксацию подвижной рамки 2 относительно неподвижной рамки 1 в вертикальной и горизонтальной плоскост х . Вместе с рамкой 2 перемещаетс  св занный с ней фланец 9 с оптическим

0 элементом 10. Поворот фланца 9 с оптическим элементом 10 относительно горизонтальной и вертикальной осей осуществл етс  винтами 11, которые вращаютс  в полушайбах 12, а втулка 4 при

5 этом перемещаетс  вдоль своей оси, и взаимодейству  с конической поверхностью втулки 8, поворачивает фланец 9.

Из-за разной жесткости V-образных пружин 13 во взаимно перпендикул рных

0 плоскост х, они надежно удерживают фланец 9 и обеспечивают минимально допустимое усилие контакта трущихс  поверхностей, кроме того отсутствие поворота втулки 4 при перемещении уменьшает

5 трение в опорных сферичес.ких и конических поверхност х, что увеличивает долговечность устройства.

Форма подвижной рамки 2 в виде правильного многоугольника и расположение

0 ее снаружи неподвижной рамки 1 позвол ет уменьшить габариты устройства и разместить его, например, внутри небольших вакуумных камер, используемых при контроле покрытий зеркал, а также осуществл ть сме5 ну оптических элементов и их юстировку с одной стороны, что облегчает обслуживание устройства в ограниченном пространстве вакуумных камер.

Установка между подвижной 2 и непод0 вижной 1 рамками регулировочных винтов 17 обеспечивает две дополнительные степени свободы регулировани  по сравнению с прототипом, что позвол ет расширить диапазон регулировани  устройства.

5Предлагаема  конструкци  устройства

обеспечивает получение большой точности выставки юстируемого оптического элемента , надежную фиксацию этого положени , расшир ет диапазон регулировани  поло0 жени  оптического элемента,

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  юстировки оптических элементов, содержащее неподвижную рэм- 5 ку, фланец с оптическим элементом, подвижную рамку и регулировочный механизм, отличающеес  тем, что, с целью расширени  диапазона регулировани , повышени  долговечности, уменьше- ни  габаритов и улучшени  удобства

   обслуживани , неподвижна  рамка расположена внутри подвижной, выполненной в форме правильного многоугольника с отверсти ми , расположенными на противоположных попарно-перпендикул рных ее сторонах, с ос ми, параллельными оси подвижной рамки, снабженной направл ющими , расположенными соответственно на других ее сторонах, с ползунами и регулировочными винтами, один конец которых шар- нирно св зан с ползунами, а другой - посредством резьбы с неподвижной рамкой , снабженной V-образными симметрич0

   но расположенными пружинами, концы которых закреплены на фланце, при этом каждый из регулировочных механизмов выполнен в виде втулок, соединенных винтом , и полушайб, жестко закрепленных на подвижной рамке, причем одна из втулок установлена с возможностью перемещени  в соответствующем отверстии подвижной рамки и имеет внутреннюю резьбу и сферическую поверхность на одном из торцев, а друга  жестко св зана с фланцем и имеет внутреннюю коническую поверхность, взаимодействующую со сферической поверхностью.

   11

   Фиг.1

   //

   Ъг,2

   I-e

   &

   X