RU177151U1 - Device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product - Google Patents

Device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product Download PDF

Info

Publication number
RU177151U1
RU177151U1 RU2017133966U RU2017133966U RU177151U1 RU 177151 U1 RU177151 U1 RU 177151U1 RU 2017133966 U RU2017133966 U RU 2017133966U RU 2017133966 U RU2017133966 U RU 2017133966U RU 177151 U1 RU177151 U1 RU 177151U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
measuring
electrodes
thickness
spring
conductive layer
Prior art date
Application number
RU2017133966U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Виктор Иванович Бутенко
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Донской государственный технический университет" (ДГТУ)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Донской государственный технический университет" (ДГТУ) filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Донской государственный технический университет" (ДГТУ)
Priority to RU2017133966U priority Critical patent/RU177151U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU177151U1 publication Critical patent/RU177151U1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к машиностроению, преимущественно к созданию приборов и устройств для измерения и контроля качества поверхностного слоя изделий после механообработки.Техническим результатом предлагаемой полезной модели является расширение области применения устройства по точности измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия.Устройство для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия, содержащее диэлектрические корпус и крышку, два подпружиненных токоподводящих электрода и два подпружиненных в подвижных обоймах измерительных электрода, расположенных перпендикулярно поверхности крышки, клеммы, струбцины, пружины возврата, источник питания, подключённый к токоподводящим электродам, и измерительную линейку, при этом два подпружиненных токоподводящих электрода установлены в подвижные обоймы с возможностью перемещения вдоль измерительной линейки на расстояние между их осями, равное 1,5 – 1,6 расстояния между осями подпружиненных в подвижных обоймах измерительных электродов. 5 ил.The utility model relates to mechanical engineering, mainly to the creation of instruments and devices for measuring and controlling the quality of the surface layer of products after machining. The technical result of the proposed utility model is to expand the scope of the device for the accuracy of measuring the thickness of the surface conductive layer of the product. A device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product containing a dielectric housing and a cover, two spring-loaded current-conducting electrodes and two fixed in movable clips of the measuring electrode, perpendicular to the surface of the cover, terminals, clamps, return springs, a power source connected to the current-supplying electrodes, and a measuring ruler, while two spring-loaded current-supplying electrodes are mounted in movable clips with the possibility of moving along the measuring line at a distance between their axes equal to 1.5 - 1.6 the distance between the axes of the measuring electrodes spring-loaded in the movable clips. 5 ill.

Description

Полезная модель относится к машиностроению, преимущественно к созданию приборов и устройств для измерения и контроля качества поверхностного слоя изделий после механообработки.The utility model relates to mechanical engineering, mainly to the creation of instruments and devices for measuring and controlling the quality of the surface layer of products after machining.

Известно устройство для измерения толщины поверхностного слоя детали, состоящее из корпуса, двух токоподводящих и двух измерительных электродов, установленных в диэлектрическом корпусе с крышкой перпендикулярно поверхности крышки, клемм и струбцин, прикреплённых к корпусу при помощи винтов (см. книгу А.В. Чистякова, В.И. Бутенко, А.Я. Гоголев «Оптимизация эксплуатационно-технологических процессов в машиностроении», Ростов-на-Дону, изд-во РГУ, 1997, С. 22 – 24).A device is known for measuring the thickness of the surface layer of a part, consisting of a housing, two current-carrying and two measuring electrodes installed in a dielectric housing with a cover perpendicular to the surface of the cover, terminals and clamps attached to the housing with screws (see book by A.V. Chistyakov, VI Butenko, A.Ya. Gogolev “Optimization of operational and technological processes in mechanical engineering”, Rostov-on-Don, publishing house of the RSU, 1997, pp. 22-24).

Известно устройство для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия, содержащее диэлектрический корпус и крышку, два подпружиненных токоподводящих электрода, размещённых в корпусе под углом

Figure 00000001
к его поверхности:A device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product, containing a dielectric housing and a cover, two spring-loaded current-conducting electrodes placed in the housing at an angle
Figure 00000001
to its surface:

Figure 00000002
Figure 00000002

где а – высота части электродов, выступающей за поверхность крышки; b – расстояние от торца корпуса до оси токоподводящего электрода; В – длина корпуса; Н – суммарная высота корпуса и крышки устройства,where a is the height of the portion of the electrodes protruding beyond the surface of the lid; b is the distance from the end of the housing to the axis of the current-conducting electrode; B is the length of the body; N is the total height of the housing and the cover of the device,

два подпружиненных измерительных электрода, установленных в средней части корпуса под углом

Figure 00000003
.на расстоянии
Figure 00000004
между их осями, где h – расстояние между осями измерительных электродов по крышке, расположенной на нижней плоскости;
Figure 00000005
– устанавливаемая максимально допустимая толщина измеряемого токопроводящего слоя изделия; L – расстояние между точками контакта токоподводящих электродов,two spring-loaded measuring electrodes mounted in the middle of the housing at an angle
Figure 00000003
.on distance
Figure 00000004
between their axes, where h is the distance between the axes of the measuring electrodes along the cover located on the lower plane;
Figure 00000005
- set the maximum allowable thickness of the measured conductive layer of the product; L is the distance between the contact points of the current-carrying electrodes,

источник питания, подключённый к токоподводящим электродам, и измерительный прибор, соединённый с измерительными электродами (см. патент RU №2167392, МПК G 01 B 7/06, G 01 R 27/16, опубл. 20.05.2001 г., бюлл. № 14).a power source connected to current-carrying electrodes and a measuring device connected to measuring electrodes (see patent RU No. 2167392, IPC G 01 B 7/06, G 01 R 27/16, published on 05/20/2001, bull. fourteen).

Наиболее близким техническим решением является устройство для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия, содержащее диэлектрический корпус и крышку, два подпружиненных токоподводящих электрода, два подпружиненных измерительных электрода, расположенных перпендикулярно крышки в подвижных обоймах, клеммы, струбцины, пружины возврата, источник питания, подключённый к токоподводящим электродам и измерительный прибор, соединённый с измерительными электродами (см. патент RU №76708, МПК G01B 7/06, G01R 27/16 , опубл. 27.09.2009 г., бюлл. №27).The closest technical solution is a device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product, containing a dielectric housing and a cover, two spring-loaded current-conducting electrodes, two spring-loaded measuring electrodes located perpendicular to the cover in movable clips, terminals, clamps, return springs, a power source connected to the current-carrying electrodes and a measuring device connected to the measuring electrodes (see patent RU No. 76708, IPC G01B 7/06, G01R 27/16, publ. 09/27/2009, bull. No. 27).

Однако область применения устройства ограничена по точности измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия из-за неподвижности установки и закрепления двух подпружиненных токоподводящих электродов, не позволяющих регулировать расстояние между ними.However, the scope of the device is limited by the accuracy of measuring the thickness of the surface conductive layer of the product due to the immobility of the installation and fixing two spring-loaded current-supplying electrodes that do not allow you to adjust the distance between them.

Задачей полезной модели является расширение области применения устройства по точности измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия.The objective of the utility model is to expand the scope of the device for the accuracy of measuring the thickness of the surface conductive layer of the product.

Сущность полезной модели заключается в том, что устройство для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия, содержащее диэлектрические корпус и крышку, два подпружиненных токоподводящих электрода и два подпружиненных в подвижных обоймах измерительных электрода, расположенных перпендикулярно поверхности крышки, клеммы, струбцины, пружины возврата, источник питания, подключённый к токоподводящим электродам, и измерительную линейку, при этом два подпружиненных токоподводящих электрода установлены в подвижные обоймы с возможностью перемещения вдоль измерительной линейки на расстояние между их осями, равное 1,5–1,6 расстояния между осями подпружиненных в подвижных обоймах измерительных электродов.The essence of the utility model is that a device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product, containing a dielectric housing and a cover, two spring-loaded current-conducting electrodes and two spring-loaded measuring electrodes located perpendicular to the surface of the cover, terminals, clamps, return springs, power source connected to the current-supplying electrodes, and a measuring line, while two spring-loaded current-supplying electrodes are installed in movable clips movable along the measuring line by a distance between their axes, equal to the distance between the axes of 1.5-1.6 spring-loaded in the movable cages measuring electrodes.

Техническим результатом предлагаемой полезной модели является расширение области применения устройства по точности измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия.The technical result of the proposed utility model is to expand the scope of the device for the accuracy of measuring the thickness of the surface conductive layer of the product.

Технический результат достигается тем, что два подпружиненных токоподводящих электрода установлены в подвижные обоймы с возможностью перемещения вдоль измерительной линейки на расстояние между их осями, равное 1,5–1,6 расстояния между осями подпружиненных в подвижных обоймах измерительных электродов.The technical result is achieved by the fact that two spring-loaded current-supplying electrodes are installed in movable cages with the possibility of moving along the measuring ruler by a distance between their axes equal to 1.5–1.6 distances between the axes of the measuring electrodes spring-loaded in the movable cages.

Предлагаемое устройство для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия поясняется чертежами, где на The proposed device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product is illustrated by drawings, where

фиг. 1 – общий вид устройства для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия с разрезом по А – А;FIG. 1 - a General view of the device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product with a section along A - A;

фиг.2 – разрез устройства по Б – Б;figure 2 - section of the device according to B - B;

фиг.3 – вид устройства сверху;figure 3 is a top view of the device;

фиг4 – разрез устройства по В – В;4 is a sectional view of the device along B - B;

фиг. 5 – тарировочный график устройства для стали 20Х13.FIG. 5 - calibration chart of the device for steel 20X13.

Устройство для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия содержит корпус 1, два токоподводящих электрода 2, установленные в подвижных обоймах 3, два измерительных электрода 4, установленные в обоймах 5, пружины 6, крышку 7, прикреплённую к корпусу 1 при помощи винтов 8, струбцины 9 для установки устройства на поверхность изделия и прикреплённые к корпусу 1 при помощи винтов 10, клеммы 11 и измерительную линейку 12.A device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product contains a housing 1, two current-carrying electrodes 2 installed in movable clips 3, two measuring electrodes 4 installed in clips 5, springs 6, a cover 7 attached to the housing 1 using screws 8, clamps 9 for installing the device on the surface of the product and attached to the housing 1 using screws 10, terminals 11 and measuring ruler 12.

Подключение устройства для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия осуществляется при помощи клемм 11 от источника постоянного тока, например источника постоянного питания Б5-47, через реостат к милливольтметру, в качестве которого может быть использован прибор М1202, и пакетный переключатель с эталонным реостатом (см. патент RU №2167392, МПК G 01 B 7/06, G 01 R 27/16, опубл. 20.05.2001 г., бюлл. № 14).The device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product is connected using terminals 11 from a constant current source, for example, a B5-47 constant current source, through a rheostat to a millivoltmeter, which can be used as an M1202 device, and a packet switch with a reference rheostat (see patent RU No. 2167392, IPC G 01 B 7/06, G 01 R 27/16, published on 05/20/2001, bull. No. 14).

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

Устройство фиксируется на поверхности исследуемого материала при помощи струбцин 9, закрепленных на корпусе 1 винтами 10. Предварительно устройство тарируется путём установления зависимости величины напряжения U от толщины поверхностного токопроводящего слоя S, измеренной, например, по методу «косого среза» (см. статью В.К. Григорович «Физическая природа микротвёрдости» / Методы измерения на микротвёрдость. – М.: Наука, 1965. – с. 35 – 58). Тарировка устройства проводится по каждому исследуемому материалу отдельно и по её результатам строятся тарировочные графики (пример тарировочного графика устройства для стали 20Х13 приведён на фиг. 5). Два подпружиненных токоподводящих 2 и два подпружиненных измерительных 4 электродов, находящихся в подвижных обоймах 3 и 5 соответственно, устанавливаются вдоль измерительной линейки 12 таким образом, что отношение расстояния между осями токоподводящих электродов l1 к расстоянию между осями измерительных электродов l2 составляет 1,5–1,6 согласно данным экспериментальных исследований (см. таблицу). От источника постоянного тока на клеммы 11 токоподводящих электродов 2 подаётся электрический ток, а с клемм измерительных электродов 4 при помощи милливольтметра снимается напряжение U. Используя предварительно построенный тарировочный график устройства, по величине снятого напряжения U определяется толщина поверхностного токопроводящего слоя S с изменёнными физико-механическими свойствами.The device is fixed on the surface of the test material using clamps 9 fixed to the housing 1 by screws 10. The device is pre-calibrated by establishing the dependence of the voltage U on the thickness of the surface conductive layer S, measured, for example, according to the “oblique cut” method (see article B. K. Grigorovich “Physical nature of microhardness” / Methods of measuring microhardness. - M.: Nauka, 1965. - pp. 35 - 58). Calibration of the device is carried out for each material under study separately and calibration graphs are constructed according to its results (an example of the calibration graph of the device for steel 20X13 is shown in Fig. 5). Two spring-loaded current-carrying 2 and two spring-loaded measuring 4 electrodes located in movable clips 3 and 5, respectively, are installed along the measuring line 12 so that the ratio of the distance between the axes of the current-carrying electrodes l 1 to the distance between the axes of the measuring electrodes l 2 is 1.5– 1.6 according to experimental studies (see table). An electric current is supplied to terminals 11 of the current-conducting electrodes 2, and voltage U is removed from the terminals of the measuring electrodes 4 using a millivoltmeter. Using the previously constructed calibration schedule of the device, the thickness of the surface conductive layer S with changed physical and mechanical parameters is determined by the magnitude of the taken voltage U. properties.

Проведены сравнительные испытания предлагаемого устройства для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия и устройства по наиболее близкому аналогу (патент RU №76708). Измеряемая устройствами толщина упрочнённого поверхностного слоя S после обкатки цилиндрических деталей диаметрами 16, 24, 30, 40 и 45 мм из сталей 20Х13, 30ХГСА и 12Х3Н

Figure 00000006
сравнивалась с фактической её величиной Sф, определённой по методу «косого среза» (см. статью В.К. Григорович «Физическая природа микротвёрдости» / Методы измерения на микротвёрдость. – М.: Наука, 1965. – с. 35 – 58). Обкатка цилиндрических поверхностей деталей осуществлялась на токарном станке мод. 1И611П роликом из закалённой быстрорежущей стали Р6М5 с усилиями 300, 400, 500, 700Н и 1000Н в зависимости от диаметра обрабатываемой детали и марки стали, подачей 0,05 мм/об и частотой вращения детали 200 об./мин. по стандартной схеме (см., например книгу Д.Д. Папшева «Отделочно-упрочняющая обработка поверхностным пластическим деформированием». – М.: Машиностроение, 1978. – 152 с.). От источника постоянного питания Б5-47 на токоподводящие электроды подавался электрический ток силой 0,5А и напряжением 6В. С измерительных электродов при помощи милливольтметра М1202 снималось напряжение U, по которому с использованием предварительно построенного тарировочного графика определялась толщина упрочнённого поверхностного слоя детали S. Comparative tests of the proposed device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product and device according to the closest analogue (patent RU No. 76708). The thickness of the hardened surface layer S measured by the devices after running in cylindrical parts with diameters of 16, 24, 30, 40 and 45 mm from steel 20X13, 30XGSA and 12X3H
Figure 00000006
compared with its actual value S f , determined by the method of "oblique cut" (see the article VK Grigorovich "The physical nature of microhardness" / Methods of measuring microhardness. - M .: Nauka, 1965. - pp. 35 - 58) . Break-in of the cylindrical surfaces of parts was carried out on a lathe mod. 1I611P roller made of hardened high-speed steel P6M5 with forces of 300, 400, 500, 700N and 1000N, depending on the diameter of the workpiece and steel grade, feed 0.05 mm / rev and part speed 200 rpm. according to the standard scheme (see, for example, the book of D. D. Papshev “Finishing and hardening treatment by surface plastic deformation.” - M.: Mechanical Engineering, 1978. - 152 p.). An electric current of 0.5A and a voltage of 6V was supplied from the B5-47 constant power source to the current-conducting electrodes. Using the M1202 millivoltmeter, the voltage U was removed from the measuring electrodes, according to which the thickness of the hardened surface layer of part S was determined using a previously constructed calibration schedule.

Результаты сравнительных испытаний устройств приведены в таблице, в которой приняты следующие обозначения: d – диаметр детали; l1 – расстояние между осями токоподводящих электродов; l2 – расстояние между осями измерительных электродов; Sф – толщина упрочнённого поверхностного слоя детали, определённая способом «косого среза»; S – толщина упрочнённого поверхностного слоя детали, определённая при помощи устройств для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия; ∆S – погрешность измерения толщины упрочнённого поверхностного слоя детали, вычисляемая по формуле:

Figure 00000007
The results of comparative tests of the devices are shown in the table, in which the following notation is adopted: d - diameter of the part; l 1 - the distance between the axes of the current-carrying electrodes; l 2 - the distance between the axes of the measuring electrodes; S f - the thickness of the hardened surface layer of the part, determined by the method of "oblique cut"; S is the thickness of the hardened surface layer of the part, determined using devices for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product; ∆S is the measurement error of the thickness of the hardened surface layer of the part, calculated by the formula:
Figure 00000007

Таблица Table

Результаты сравнительных испытаний Comparative Test Results

ДетальDetail Sф, ммS f , mm Устройство по патенту
№ 76708
Patent device
No. 76708
Предлагаемое устройствоProposed device
СтальSteel d, ммd mm l1, ммl 1 mm l2, ммl 2 mm S, ммS mm ∆S, %∆S,% l1, ммl 1 mm l2, ммl 2 mm S, ммS mm ∆S, %∆S,% 20Х1320X13 1616 0,2550.255 4242 1010 0,1450.145 43,143.1 2222 1010 0,2350.235 7,87.8 2424 0,3950.395 4242 1212 0,3300.330 16,516.5 2424 1212 0,3900.390 1,71.7 30thirty 0,4800.480 4242 1616 0,4550.455 5,15.1 2626 1616 0,4750.475 1,11,1 4040 0,5450.545 4242 18eighteen 0,5100.510 6,46.4 2828 18eighteen 0,5400.540 0,90.9 4545 0,5800.580 4242 20twenty 0,4650.465 19,819.8 30thirty 20twenty 0,5700.570 1,71.7 30ХГСА30HGSA 1616 0,2950.295 4242 1010 0,1700.170 42,442,4 2222 1010 0,2900.290 1,71.7 2424 0,3700.370 4242 1212 0,2850.285 25,625.6 2424 1212 0,3550.355 4,14.1 30thirty 0,5350.535 4242 1616 0,5200.520 2,82,8 2626 1616 0,5300.530 0,90.9 4040 0,5600.560 4242 18eighteen 0,4950.495 11,611.6 2828 18eighteen 0,5450.545 2,62.6 4545 0,5250.525 4242 20twenty 0,3650.365 30,530.5 30thirty 20twenty 0,5150.515 3,83.8 12Х3Н12X3H 1616 0,2600.260 4242 1010 0,1750.175 32,832.8 2222 1010 0,2550.255 1,91.9 2424 0,3250.325 4242 1212 0,2850.285 12,312.3 2424 1212 0,3200.320 1,51,5 30thirty 0,4800.480 4242 1616 0,4550.455 5,25.2 2626 1616 0,4700.470 2,12.1 4040 0,5750.575 4242 18eighteen 0,5300.530 7,97.9 2828 18eighteen 0,5650.565 1,71.7 4545 0,6100.610 4242 20twenty 0,4250.425 30,030,0 30thirty 20twenty 0,6000,600 1,71.7

Анализ данных, приведённых в таблице, свидетельствует о том, что использование предлагаемого устройства для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия позволяет расширить диапазоны диаметров исследуемых деталей по точности измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия с высокой степенью достоверности их определения за счёт снижения погрешности измерения ∆S в 5–25 раз в зависимости от диаметра детали и её материала.Analysis of the data given in the table indicates that the use of the proposed device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product allows you to expand the diameters of the investigated parts by the accuracy of measuring the thickness of the surface conductive layer of the product with a high degree of reliability of their determination by reducing the measurement error ∆S in 5–25 times depending on the diameter of the part and its material.

Claims (1)

Устройство для измерения толщины поверхностного токопроводящего слоя изделия, содержащее диэлектрические корпус и крышку, два подпружиненных токоподводящих электрода и два подпружиненных в подвижных обоймах измерительных электрода, расположенных перпендикулярно поверхности крышки, клеммы, струбцины, пружины возврата, источник питания, подключённый к токоподводящим электродам, и измерительную линейку, отличающееся тем, что два подпружиненных токоподводящих электрода установлены в подвижные обоймы с возможностью перемещения вдоль измерительной линейки на расстояние между их осями, равное 1,5–1,6 расстояния между осями подпружиненных в подвижных обоймах измерительных электродов. A device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product, containing a dielectric housing and a cover, two spring-loaded current-supplying electrodes and two measuring electrodes spring-loaded in movable cages, perpendicular to the surface of the cover, terminals, clamps, return springs, a power source connected to the current-conducting electrodes, and a measuring a line, characterized in that two spring-loaded current-supplying electrodes are mounted in movable clips with the possibility of moving along measuring ruler at a distance between their axes equal to 1.5–1.6 of the distance between the axes of the measuring electrodes spring-loaded in the movable clips.
RU2017133966U 2017-09-29 2017-09-29 Device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product RU177151U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017133966U RU177151U1 (en) 2017-09-29 2017-09-29 Device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017133966U RU177151U1 (en) 2017-09-29 2017-09-29 Device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU177151U1 true RU177151U1 (en) 2018-02-12

Family

ID=61227173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017133966U RU177151U1 (en) 2017-09-29 2017-09-29 Device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU177151U1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU204060U1 (en) * 2020-09-15 2021-05-05 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Донской государственный технический университет" (ДГТУ) DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF THE CURRENT-CONDUCTIVE LAYER OF THE INNER SURFACE OF THE PRODUCT

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19642768C1 (en) * 1996-10-16 1998-05-20 Alcan Gmbh Non-destructive layer thickness measuring device
US6788076B2 (en) * 2002-04-11 2004-09-07 Solid State Measurements, Inc. Apparatus for determining doping concentration of a semiconductor wafer
RU76708U1 (en) * 2008-04-16 2008-09-27 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ЮФУ) DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF SURFACE CONDUCTIVE LAYER OF PRODUCT
RU2381439C1 (en) * 2008-12-24 2010-02-10 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ЮФУ) Conducting surface layer thickness gauge

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19642768C1 (en) * 1996-10-16 1998-05-20 Alcan Gmbh Non-destructive layer thickness measuring device
US6788076B2 (en) * 2002-04-11 2004-09-07 Solid State Measurements, Inc. Apparatus for determining doping concentration of a semiconductor wafer
RU76708U1 (en) * 2008-04-16 2008-09-27 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ЮФУ) DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF SURFACE CONDUCTIVE LAYER OF PRODUCT
RU2381439C1 (en) * 2008-12-24 2010-02-10 Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ЮФУ) Conducting surface layer thickness gauge

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU204060U1 (en) * 2020-09-15 2021-05-05 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Донской государственный технический университет" (ДГТУ) DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF THE CURRENT-CONDUCTIVE LAYER OF THE INNER SURFACE OF THE PRODUCT

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2977533A (en) Gaging device
RU177151U1 (en) Device for measuring the thickness of the surface conductive layer of the product
CN106198198B (en) A kind of four-point bending sample holding device and loading method for stress corrosion
EP1353366A3 (en) Non-invasive electrical measurement of semiconductor wafers
KR101202723B1 (en) Measurement device for resistance and resistivity of cable
CN114397337A (en) Soil adhesion force testing device and method
Suliga et al. The influence of drawing speed on structure changes in high carbon steel wires
JP2009522810A5 (en)
CN108051292B (en) Preparation method of small circular coating sample clamp
CN112824883B (en) Oxide semiconductor film testing device
RU2381439C1 (en) Conducting surface layer thickness gauge
RU76708U1 (en) DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF SURFACE CONDUCTIVE LAYER OF PRODUCT
GB2169718A (en) Measuring properties of solid materials using a penetrating body
RU2439541C1 (en) Method for determination of conductivity and thickness of semiconductor layers
RU204060U1 (en) DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF THE CURRENT-CONDUCTIVE LAYER OF THE INNER SURFACE OF THE PRODUCT
DE102011104228B4 (en) Device for measuring length and use of the device for determining physical properties of test objects
JP5705164B2 (en) Spark tester
RU2167392C2 (en) Gear to measure thickness of surface current-conducting layer on article
RU151872U1 (en) DEVICE FOR DETERMINING THE MOLECULAR COMPONENT OF THE FRICTION COEFFICIENT
KR20200045672A (en) Chucking force holding apparatus for an electrostatic chuck, and electrostatic chuck device having the same
SU787494A1 (en) Method of measuring current density distribution over long-sized article surface
DE3545114C2 (en)
US1323707A (en) Micrometer
CN213067381U (en) Size measuring device for metal panel machining
KR20040055987A (en) Apparatus for elecrto-chemical etching with adjustable rod