RU1770792C - Датчик давлени - Google Patents

Датчик давлени

Info

Publication number
RU1770792C
RU1770792C SU904896713A SU4896713A RU1770792C RU 1770792 C RU1770792 C RU 1770792C SU 904896713 A SU904896713 A SU 904896713A SU 4896713 A SU4896713 A SU 4896713A RU 1770792 C RU1770792 C RU 1770792C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
acoustic
prism
oscillator
membrane
base
Prior art date
Application number
SU904896713A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Демьянович Поваренко
Анатолий Иванович Токарев
Original Assignee
Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Радиотехники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Радиотехники filed Critical Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Радиотехники
Priority to SU904896713A priority Critical patent/RU1770792C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1770792C publication Critical patent/RU1770792C/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к приборостроению , в частности к ультразвуковым датчикам давлени  с частотным выходом, и может быть использовано дл  измерени  абсолютного и вакуумметрического давлени  жидкостей и газов, а также герметичности различных закрытых систем в автомобилестроении , авиационной и медицинской технике . Использование изобретени  увеличивает точность измер емого давлени , что обеспечивает точную количественАкустическа  Ц цель обратной сб зи ную оценку, например, степень натекани  (герметичности) различных закрытых систем . Это достигаетс  за счет улучшени  од- ночастотного режима работы автогенератора датчика давлени  путем уменьшени  уровн  ложных сигналов в акустической цепи обратной св зи и улучшени  селективности автогенератора в результате использовани  узкополосного фильтра в цепи автогенератора. Цепь акустической обратной св зи автогенератора образована п ьезоэле ктрическими п реобразовател   ми 7, 8 (пьезоп астинами), акустической призмой 5, жидкостью 6, мембраной 4. Пьезоэлектрические преобразователи 7, 8 размещены на наклонных гран х призмы 5, расположенных под углами а, /, д к ее основанию . Причем акустическа  призма 5 установлена на дне корпуса 1 напротив отражающей поверхности мембраны 4 таким образом, что ее основание расположено под углом а к отражающей поверхности мембраны 4, при этом углы а,/, 6 выбраны из определенных условий, приведенных в формуле изобретени . 3 ил. со С VI 3 vj О Ю X7 Л Ю Фиг.}

Description

Изобретение относитс  к приборостроению , в частности к ультразвуковым датчикам давлени  с частотным выходом, и может найти применение в различных контрольно- измерительных устройствах, например, дл  контрол  герметичности систем в автомобильной , авиационной технике.
Известный ультразвуковой датчик давлени , состо щий из корпуса, частично заполненного жидкостью, упругого элемента (силь фона), пьезоэлектрического преобразовател , размещенного на дне корпуса напротив сильфона и электрической измерительной схемы,  вл ющейс  устройством обработки информации. Работа устройства основана на эффекте зависимости амплитуды выходного эхо-сигнала отраженной ультразвуковой волны от дна сильфона, в зависимости от перемещени  упругого элемента (дна сильфона) при изменении давлени  внутри сильфона. Основным недостатком устройства  вл етс  низка  точность из-за использовани  амплитудного метода дл  оценки величины воздействующего на упругий элемент давлени , котора  составл ет пор дка нескольких процентов.
Наиболее близким к изобретению  вл етс  датчик давлени  с частотным выходом, состо щий из корпуса, частично заполненного жидкостью, упругого элемента (мембраны ), расположенного в корпусе, напротив его дна, выполненного выпуклым в виде двух плоскостей, расположенных под некоторым углом к плоскости, перпендикул рной отражающей поверхности мембраны, двух пьезоэлектрических преобразователей , расположенных на соответствующих наклонных гран х, автогенератора, в цепи обратной св зи (ОС) которого включены преобразователи. Работа устройства основана на зависимости частоты выходного сигнала автогенератора от времени задержки прохождени  акустической волны от одного преобразовател  до другого в цепи ОС автогенератора, при смещении мембраны в результате воздействи  на него внешнего давлени . Датчик обладает чувствительностью к внешнему воздействующему давлению , однако близкое расположение пьезоэлементов друг к другу и большое различие между импедансами жидкости и пье- зопреобразователей приводит к большой величине ложных сигналов, которые нарушают одночастотный режим работы автогенератора и, следовательно, привод т к снижению точности определени  давлени . Даже прин тием специальных мер, а именно , загрублением поверхностей в области расположени  пьезоэлектрических преобразователей , не удаетс  полностью избавитьс  от ложных сигналов (максимальный уровень подавлени  составл ет 15-20 дБ), т.е. одновременно происходит уменьшение амплитуды основного сигнала.
Цель изобретени  - увеличение точности измерени  давлени .
Предлагаемый датчик давлени  схематично изображен на фиг, 1 и состоит из корпуса 1 со штуцерами 2 и 3, упругого элемента 4, например, мембраны, раздел ющей объем корпуса на две части, причем внутренний объем корпуса соединен через входной штуцер 2 с объемом объекта где измер етс  давление, акустической призмы
5, располагаемой на дне корпуса 1, жидкости 6, заполн ющей объем корпуса между упругим элементом 4 и акустической призмой 5, пьезоэлектрических преобразователей 7, 8, выполненных в виде пьезопластин
с электродами, которые располагаютс  на соответствующих боковых наклонных гран х призмы 5, при этом основание наклонной акустической призмы 5 расположено под углом а к отражающей поверхности
упругого элемента 4, а наклонные грани призмы расположены под углами, выбранными из соотношени  (см. фиг 2)
30
a 1 (arcsin 1/K) - arcsin ( sin/3), д - arcsin К sin 2 а + arcsin (-г sin /),
гдеК упр/уж,
v - скорость продольной акустической волны в жидкости, м/с,
vnp - скорость продольной акустической
волны в призме, м/с.
автогенератора 9, в цепи акустической положительной обратной св зи которого в качестве частотно-зависимого элемента включена акустическа  цепь, состо ща  из
пьезоэлектрических пластин 7, 8 с металлическими электродами 10, 11, 12, 13, жидкости 6 и упругого элемента 4. Автогенератор 9 выбран по схеме резонансного усилител , охваченного цепью положительной обратной св зи, дл  сохранени  необходимой селективности датчика. Электрическа  схема автогенератора показана на фиг. 3. Автогенератор состоит из каскадно включенных резонансного усилител , выполненного на
транзисторе 71, с резонансным контуром в цепи коллектора Тр, С2, настроенным на резонансную частоту пьезопластин 7, 8, и эмиттерного повторител , выполненного на транзистореТ2. Элементы R1, R2, R3, R4, R5,
R6 предназначены дл  работы транзисторов И иТ2 в режиме посто нного тока, а С1, С4, С5 - разделительные конденсаторы, Конденсатор СЗ образует цепь отрицательной обратной св зи по переменному току у транзистора Т1 и определ ет коэффициент усилени  резонансного усилител . На входе резонансного усилител  и на выходе эмит- терного повторител  непосредственно подключены пьезоэлементы 7 и 8 частотно-зависимой регулируемой по вре- мени задержки цепи ОС, образующей цепь положительной ОС автогенератора 9. Датчик давлени  работает следующим образом . После подачи напр жени  питани  от внешнего источника напр жени  на автоге- нератор 9 он возбуждаетс  за счет выполнени  услови  самовозбуждени  и при наличии положительной обратной св зи (ОС). Цепь обратной св зи включает в себ  ультразвуковую линию задержки, выпол- ненную из пьезоэлектрических пластин 8, 7, с электродами 10, 11, 12, 13, акустической призмы 5, жидкости б и отражающего упругого элемента (мембраны) 4.
Акустическа  волна продольной пол - ризации, возбуждаема  пьезопластиной 7, распростран етс  по акустической призме 5 в сторону ее основани , где претерпевает преломление по закону Снеллиуса на угол у при переходе границы между твердой по- верхностью призмы 5 и жидкостью 6 и далее распростран етс  в жидкость 6 до отражающей поверхности мембраны 4, фиг. 2.
Так как акустический импеданс акустической призмы 5 выбран равным
2призмы Zppeo6p. Zx .
где Z0peo6p - акустический импеданс преобразовател ;
2Ж - акустический импеданс жидкости, то часть акустической энергии проходит через границу в жидкость.
Далее акустическа  волна, пройд  сквозь жидкость, полностью отражаетс  от плоской поверхности мембраны 4, т.к. Z мембраны , и снова попадает на основание акустической призмы 5 со стороны жидкости 6 и после преломлени  под углом д к основанию попадает на пьезопластину 8 и затем на вход уси- лител  автогенератора 9. Таким образом замыкаетс  цепь положительной обратной св зи автогенератора 9. При изменении давлени  в штуцера 2, соединенным с объемом , где измер етс  давление, происходит прогиб мембраны 4, а следовательно, измен етс  длина пути, пройденного акустической волной от одной пьезопластины до другой, и врем  задержки цепи ОС автогенератора 9. При этом частота выходного сигнала автогенератора 9. т.е. датчика давлени , будет измен тьс  обратно пропорционально изменению времени задержки Т, и пр мо пропорционально давлению
дат
Т
где п - коэффициент пропорциональности,
т И + 2 , з
VnpM3Mуж
И, 12, з - рассто ни , проходимые акустической волной соответственно в акустической призме и жидкости,
VnpnsM - скорость акустической волны в призме.
Дл  соблюдени  услови  одночастотно- сти работы автогенератора он выполнен по схеме резонансного усилител , охваченного цепью положительной ОС, что обеспечивает необходимый резонансный коэффициент усилени  усилител  и одновременно высокую добротность его колебательного контура и необходимую полосу пропускани .
Дл  уменьшени  изрезанное™ амплитудно-частотной характеристики цепи ОС автогенератора, вызванной наличием многократных переотражений акустической волны между мембраной 4 и основанием призмы 5, последн   рс змещенэ относительно отражающей поверхности мембраны 4, таким образом, что основание призмы 5 составл ет угол а с отражающей поверхностью мембраны 4.
В результате после второго отражени  ультразвуковой волны от мембраны она попадает на плоскость основани  акустической линзы под углом 4а +у , равным или большим критического угла преломлени  (согласно закону Снеллиуса) и, следовательно , не попадает на пьезопластину 8.
Угол а находитс  при условии, что волновой фронт прошедшей основной задержанной акустической волны, падающей на приемный преобразователь, должен быть параллелен наклонной поверхности призмы , где размещен этот пьезоэлектрический преобразователь, и определ етс  из соотношений
а 1 (arcsfn 1/К) - arcsin ( sin/), д arcsin. К sin (2 а + arcsin (тг sin/8).
При соблюдении полученных условий дл  углов отД/J устран етс  одна из основных причин мелкой структурной изрезанно- сти АЧХ цепи ОС, т.е. на выходе будут отсутствовать ложные сигналы.
Таким образом, дл  выходного сигнала автогенератора вида
(c05WT04-jSinwT0) +
N
SA;
t-H
(co5WTu, + J5ino3Ti+,)7
где То - врем  задержки основного сигнала, Т|+1 - врем  задержки ложных сигналов, 1 0, 1,2,...,
о)- кругова  частота: АО, AI-M - амплитуды основного и ложных сигналов, частота которого находитс  из выражени 
fa&co - KI Tf- о
где KI - коэффициент пропорциональности, абсолютна  и относительна  ошибки частоты , определ ющие точность фиксации давлени , будут равны соответственно
Af Ki
AT
Т2о
Af AT Aj
faoco To/U/ T0(p
где фаза результирующего выходного сигнала определ етс  выражением
Датчик давлени , содержащий заполненный жидкостью корпус с дном, установленный в корпусе упругий чувствительный элемент и два пьезоэлектрических преобразовател , включенные в цепь обратной св зи автогенератора, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  точности, в него введена акустическа  призма, установленна  в дне корпуса и обращенна  своим основанием к поверхности упругого элемента, контактирующей жидкостью, при этом основание призмы расположено под углом а к плоскости поверхности упругого элемента, а боковые грани призмы выполнены под углами / и б к основанию призмы и на них 35 установлены пьезоэлектрические преобразователи , причем величины углов а., fi и д выбраны из условий
40
11
«(arcsin 1/К)-arcsin(-|7 sin/),
arcsin K-sin 2« + arcsin(l-sin,
A0cosfoT0+2:A-1+,co5CoTj+,
1 0
Отсюда видно, что чем меньше амплитуда ложных сигналов AiAN относительноVnp-скорость продольной акустической
амплитуды основного сигнала А0, тем мень- волны в пРизме- м/с
ше вклад в ошибку будут вносить ложныецп v -скорость продольной акустической
PMruanlJ50 ВОЛНЫ В ЖИДКОСТИ, М/С.
сигналы.
Так как у нас полностью устран етс  прохождение ложных сигналов за счет введени  угла а, равного или большего критического угла, дл  падающих на призму со
стороны жидкости ложных сигналов, то погрешность , вносима  ложными сигналами в измерение давлени , практически полностью устран етс  и определ етс  в основном точностью определени  времени
задержки (ФАЗЫ) основного сигнала в цепи ОС.
В результате повышаетс  точность определени  давлени  датчиком. Кроме того, улучшаютс  услови  одночастотного режима работы автогенератора и, следовательно , стабильность его работы.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Датчик давлени , содержащий заполненный жидкостью корпус с дном, установленный в корпусе упругий чувствительный элемент и два пьезоэлектрических преобразовател , включенные в цепь обратной св зи автогенератора, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  точности, в него введена акустическа  призма, установленна  в дне корпуса и обращенна  своим основанием к поверхности упругого элемента, контактирующей жидкостью, при этом основание призмы расположено под углом а к плоскости поверхности упругого элемента, а боковые грани призмы выполнены под углами / и б к основанию призмы и на них установлены пьезоэлектрические преобразователи , причем величины углов а., fi и д выбраны из условий
    Vnp-скорос
    ю
    3
    8
    п
    «U rl 5Й V 1Лп « ч
    Акустическа  цепь ОС
    Фиг. 2.
    Ј
    Т2
    /
SU904896713A 1990-12-25 1990-12-25 Датчик давлени RU1770792C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904896713A RU1770792C (ru) 1990-12-25 1990-12-25 Датчик давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904896713A RU1770792C (ru) 1990-12-25 1990-12-25 Датчик давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1770792C true RU1770792C (ru) 1992-10-23

Family

ID=21552253

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904896713A RU1770792C (ru) 1990-12-25 1990-12-25 Датчик давлени

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1770792C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 297883,кл. G 01 L9/08, 1971. У. Мэзон. Методы и приборы ультразвуковых исследований, М., 1966, ч. А, т. 1, стр. 337-340. Авторское свидетельство СССР № 1700400 по за вке 4712565/10, кл. G 01 L 11/10, от 03.07.89 - прототип. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7287431B2 (en) Wireless oil filter sensor
KR0172187B1 (ko) 초음파 유체 진동 플로우미터
US2903886A (en) Apparatus for the determination of the existence or non-existence and the quality of a bonding between two parts or members
US3500301A (en) Sonic detection apparatus
US6366675B1 (en) Sound pressure detecting system
US3694800A (en) Acoustical gauge
RU1770792C (ru) Датчик давлени
CA1299728C (en) Pressure sensor
US6393920B1 (en) Sound pressure sensing device
JP3047588B2 (ja) 液体濃度計用超音波送受波器
US5585563A (en) Non-contact thickness measurement using UTG
JP3488981B2 (ja) 超音波ガスセンサ
US6340347B1 (en) Vibration displacement sensing device
RU2052774C1 (ru) Ультразвуковое устройство для измерения физических параметров жидких сред
JPH0676998B2 (ja) パルス反射法による超音波の往復時間精密測定法
Hornung et al. Micromachined acoustic Fabry-Perot system for distance measurement
RU2105300C1 (ru) Устройство для измерения содержания механических примесей в жидких средах
US3160224A (en) Sound velocity meter
JPH07318542A (ja) 超音波ガスセンサ
JPS59192907A (ja) 厚み測定方法
JPH07311184A (ja) 超音波伝播時間測定用のセンサ及びこれを用いた超音波伝播時間測定方法
JPS6394184A (ja) 超音波変位検出装置
SU1083105A1 (ru) Способ измерени коэффициента затухани ультразвука в плоскопараллельных образцах
SU1504606A1 (ru) Ультразвуковое устройство дл измерени физических параметров веществ
SU391428A1 (ru) ..^союзная