RU1770612C - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents
Турбомолекул рный вакуумный насосInfo
- Publication number
- RU1770612C RU1770612C SU894683429A SU4683429A RU1770612C RU 1770612 C RU1770612 C RU 1770612C SU 894683429 A SU894683429 A SU 894683429A SU 4683429 A SU4683429 A SU 4683429A RU 1770612 C RU1770612 C RU 1770612C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- turbomolecular
- vacuum pump
- housing
- gas
- turbomolecular vacuum
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
Изобретение относитс к области вакуумной техники, а именно - к конструкци м турбомолекул рных насосов.
Целью изобретени вл етс повышение надежности.
На чертеже представлен продольный разрез насоса.
Турбомолекул рный; вакуумный насос содержит корпус 1 со статором 2 и установленный по оси корпуса 1 на газовых опорах 3 ротор 4 с турбомоледул рной и молекул рной ступен ми 5 и бгвёразующими проточную часть. Корпус 1 снабжен по меньшей мере двум каналами 7, каждый из которых с одной стороны при помощи клапана 8 со- общем с источником 9 газа или атмосферой, а с другой стороны - с проточной частью между турбомолекул рной и молекул рной ступен ми 5 и 6.
Насос работает следующим образом.
При понижении давлени в пневмоси- стеме, обеспечивающей нормальную работу газовых опор 3 насоса, ниже допустимого уровн происходит включение в работу аварийной системы, включающей автономный источник 9 сжатого газа. Источник 9 газа обеспечивает нормальное функционирование газовых опор 3 на врем , достаточное дл торможени ротора 4. Интенсивное торможение ротора 4 обеспечиваетс напуском газа из источника 9 или из атмосферы через клапан 8 и канал 7 в проточную часть насоса между турбомолекул рной и молекул рной ступен ми 5 и 6. Напуск газа обеспечивает возрастание аэродинамического сопротивлени вращающемус ротору 4. В результате возрастает надежность насоса вследствие гарантированной остановки ротора при минимальном запасе газ.з в аварийном источнике.
Claims (1)
- Формула изобретени Турбомолекул рный вакуумный насос, содержащий корпус со статором и установленный по оси корпуса на газовых опорах ротор с турбомолекул рной и молекул рной ступен ми, образующими проточную часть, отличающийс тем, что, с целью повышени надежности, корпус снабжен по меньшей мере двум каналами, каждый из которых с одной стороны при помощи клапана сообщен с источником газа или атмосферой , а с другой стороны - с проточной частью между турбомолекул рной и молекул рной ступен ми.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894683429A RU1770612C (ru) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894683429A RU1770612C (ru) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1770612C true RU1770612C (ru) | 1992-10-23 |
Family
ID=21443857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU894683429A RU1770612C (ru) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | Турбомолекул рный вакуумный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU1770612C (ru) |
-
1989
- 1989-04-25 RU SU894683429A patent/RU1770612C/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE8900329D0 (sv) | All dry submersible motor pump with a concordant seal system | |
| US4521161A (en) | Noise control for conically ported liquid ring pumps | |
| CA2563234A1 (en) | Vacuum pump | |
| JPH07506648A (ja) | ガス摩擦真空ポンプ | |
| AU6107196A (en) | Flexible impeller for a vacuum cleaner | |
| CA2350329A1 (en) | Improvements relating to froth pumps | |
| JP4584420B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| EP0445855A1 (en) | Improved turbomolecular pump | |
| US5611660A (en) | Compound vacuum pumps | |
| ATE369495T1 (de) | Vakuumpumpen | |
| DE3868643D1 (de) | Kreiselpumpenlaufrad. | |
| EP1085214A3 (en) | Vacuum pumps | |
| RU1770612C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| JP2009121491A (ja) | シャシ、ロータ及びケーシングを有する摩擦真空ポンプ並びにこの形式の摩擦真空ポンプを備えた装置 | |
| US6071085A (en) | Gas ballast system for a multi-stage positive displacement pump | |
| JP2002310092A (ja) | 真空ポンプ | |
| SE8703426L (sv) | Centrifugalpumphjul och saett vid pumpning av en vaetska, som innerhaaller gas, medelst en centrifugalpump | |
| DE2526164A1 (de) | Turbomolekularvakuumpumpe mit zumindest teilweise glockenfoermig ausgebildetem rotor | |
| JP2001090690A (ja) | 真空ポンプ | |
| CA2249248A1 (en) | Method and device at the pumping of a medium | |
| US6644912B2 (en) | Gas friction pump | |
| JPH02264196A (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| SU1550222A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| JPS6441698A (en) | Multichannel type vacuum pump | |
| SU1108246A1 (ru) | Осевой многоступенчатый компрессор газотурбинного двигател |