RU147459U1 - Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников - Google Patents

Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников Download PDF

Info

Publication number
RU147459U1
RU147459U1 RU2014112266/02U RU2014112266U RU147459U1 RU 147459 U1 RU147459 U1 RU 147459U1 RU 2014112266/02 U RU2014112266/02 U RU 2014112266/02U RU 2014112266 U RU2014112266 U RU 2014112266U RU 147459 U1 RU147459 U1 RU 147459U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
crucible
supply pipe
installation according
possibility
hydrogen supply
Prior art date
Application number
RU2014112266/02U
Other languages
English (en)
Inventor
Ашот Александрович Навасардян
Original Assignee
Ашот Александрович Навасардян
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ашот Александрович Навасардян filed Critical Ашот Александрович Навасардян
Priority to RU2014112266/02U priority Critical patent/RU147459U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU147459U1 publication Critical patent/RU147459U1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

1. Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников, содержащая теплоизолированный корпус, в котором расположен тигель и размещенный над тиглем бункер для дозированной подачи сырья, отличающаяся тем, что она снабжена патрубком с форсунками для подачи водорода, подведенным сверху к тиглю и выполненным с возможностью вертикального перемещения до дна тигля, по меньшей мере одним нагревательным элементом, выполненным с возможностью вертикального перемещения внутри тигля, и трубчатым теплообменником для охлаждения тигля по бокам, при этом ко входу трубчатого теплообменника подведен дополнительный патрубок подачи водорода, а его выход соединен трубопроводом с упомянутым бункером, при этом теплоизолированный корпус выполнен с патрубками для отвода отработанных газов и сливным каналом примесей, а тигель - со сливными окнами, выполненными с возможностью открытия и закрытия.2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что нагреватели выполнены в форме электродов, радиально размещенных относительно нижней части патрубка подачи водорода.3. Установка по п. 2, отличающаяся тем, что электроды выполнены согнутыми в горизонтальной плоскости, а патрубок подачи водорода выполнен с возможностью вращения вокруг своей оси.4. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что корпус снабжен средствами визуального наблюдения.5. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что бункер запаса сырья снабжен дополнительным отводящим патрубком.

Description

Техническое решение относится к области неорганической химии, а именно к устройствам получения неорганических веществ, и может быть использовано для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников, например для получения кремния из оксида кремния.
Известно устройство, описанное в патенте РФ на изобретение №2403300 «СПОСОБ ВАККУМНОЙ ОЧИСТКИ КРЕМНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ» от 18.06.2009, опубликованному 10.11.2010, МПК С22В 9/22, С01В 33/037, содержащее вакуумную камеру, тигель с очищаемым кремнием и электронно-лучевую пушку, отличающееся тем, что оно снабжено холодильником, установленным на наружной поверхности стенки тигля в его верхней части на уровне поверхности расплава кремния, охлаждаемой емкостью, в которой соосно размещен тигель, теплоизолятором, расположенным между тиглем и охлаждаемой емкостью до уровня нижнего торца холодильника, и теплопроводным элементом, расположенным между охлаждаемой емкостью и днищем тигля по их продольной оси; холодильник выполнен подвижным.
Наиболее близким по технической сути к заявляемой установке является устройство, описанное в патенте РФ на изобретение №2339710 «СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛА ИЛИ КРЕМНИЯ» от 01.06.2006, опубликованному 27.11.2008, МПК С22В 5/02, С01В 33/023, содержащее теплоизолированный корпус, в котором расположен тигель и размещенный над тиглем бункер для дозированной подачи сырья.
Задачей предлагаемого технического решения является повышение технологичности получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников.
Поставленная задача решена за счет установки для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников, содержащей теплоизолированный корпус, в котором расположен тигель и размещенный над тиглем бункер для дозированной подачи сырья, при этом установка снабжена патрубком с форсунками для подачи водорода, подведенным сверху к тиглю и выполненным с возможностью вертикального перемещения до дна тигля, по меньшей мере, одним нагревательным элементом, выполненным с возможностью вертикального перемещения внутри тигля и трубчатым теплообменником для охлаждения тигля по бокам, при этом ко входу трубчатого теплообменника подведен дополнительный патрубок подачи водорода, а его выход соединен трубопроводом с упомянутым бункером, теплоизолированный корпус выполнен с патрубками для отвода отработанных газов и сливным каналом примесей, а тигель со сливными окнами, выполненными с возможностью открытия и закрытия; нагреватели выполнены в форме электродов радиально размещенных относительно нижней части патрубка подачи водорода; электроды выполнены согнутыми в горизонтальной плоскости, а патрубок подачи водорода выполнен с возможностью вращения вокруг своей оси; корпус снабжен средствами визуального наблюдения; бункер запаса сырья снабжен дополнительным отводящим патрубком.
Суть технического решения иллюстрирована чертежом, где на фиг. 1 - установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников.
На фиг. 1 изображены установка 1 для получения слитков неорганических веществ, корпус 2, тигель 3, бункер 4 запаса сырья, оксид металла или полупроводника 5, металл или полупроводник 6, патрубок 7 подачи водорода, форсунки 8, примеси 9, нагревающие элементы 10, охладитель 11, патрубок 12 отвода отработанных газов, дополнительный патрубок 13 подачи водорода, сливной канал 14 примесей, сливные окна 15, средства 16 визуального наблюдения, дополнительный отводящий патрубок 17.
Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников выполнена следующим образом.
Установка 1 для получения слитков неорганических веществ содержит теплоизолированный корпус 2 в котором расположен тигель 3. В корпусе 2 над тиглем 3 размещен бункер 4 запаса сырья, выполненный с возможностью дозированной подачи сырья в тигель 3 ровным слоем. Сверху к тиглю 3 подведен патрубок 7 подачи водорода, снабженный форсунками 8. Патрубок 7 подачи водорода выполнен с возможностью вертикального перемещения до дна тигля 3. Опционально патрубок 7 подачи водорода выполнен с возможностью вращения в горизонтальной плоскости вокруг своей оси. Внутри корпуса 2 расположен, по меньшей мере, один нагревающий элемент 10, выполненный с возможностью вертикального перемещения внутри тигля 3. Опционально нагревающие элементы 10 выполнены в форме электродов, изогнутых в горизонтальной плоскости. Опционально электроды размещены радиально относительно патрубка 7 подачи водорода и закреплены на его нижней части. В случае закрепления нагревающих элементов 10 в виде электродов на нижней части патрубка 7 подачи водорода возможность вертикального перемещения нагревательных элементов 10 внутри тигля 3 реализована за счет совместного перемещения патрубка 7 подачи водорода с закрепленными на нем нагревающими элементами 10. Внутри теплоизолированного корпуса 2 в непосредственной близости от тигля 3 расположен охладитель 11, выполненный с возможностью направленного охлаждения тигля 3 снизу вверх. Опционально охладитель 11 выполнен в виде трубчатого теплообменника типа змеевик, к входу которого через отверстие в корпусе 2 подведен дополнительный патрубок 13 подачи водорода, а выход соединен трубопроводом с бункером 4 запаса сырья. Корпус 2 снабжен патрубком 12 отвода отработанных газов, который сообщает внутреннюю часть корпуса 2 с закорпусным пространством. Бункер 4 запаса сырья опционально снабжен дополнительным отводящим патрубком 17, сообщающим внутренний объем бункера 4 запаса сырья с закорпусным пространством. Тигель 3 снабжен сливными окнами 15, выполненными с возможностью открытия и закрытия. Тигель опционально снабжен колесиками. Корпус опционально снабжен средствами 16 визуального наблюдения.
Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников работает следующим образом.
В тигле 3 располагают металл или полупроводник 6 небольшого объема. Верхнюю поверхность кристалла металла или полупроводника 6 нагревают до образования расплава при помощи нагревающих элементов 10, опционально расположенных на нижней части патрубка 7 подачи водорода. Внутрь тигля 3 подают водород через форсунки 8 патрубка 7 подачи водорода. Из бункера 4 запаса сырья подают порцию оксида металла или полупроводника 5 на расположенный в тигле 3 металл или полупроводник 6 равномерно по его верхней поверхности. Оксид металла или полупроводника 5 взаимодействует с металлом или полупроводником 6, в результате чего выделяется моноокись металла или полупроводника. Полученная моноокись реагирует с подающимся через патрубок 7 водородом, в результате чего выделяется металл или полупроводник, который осаждается на поверхность расплава. Также в результате взаимодействия моноокиси и водорода выделяются кислород, либо пары воды, которые вытесняются из корпуса 2 через патрубок 12 отвода отработанных газов за счет вытеснения постоянно подающимся через патрубок 7 водородом. Получаемый металл или полупроводник охлаждают охладителем 11 по бокам. Опционально получаемый металл или полупроводник охлаждают охладителем 11 по бокам по направлению снизу вверх. Опционально охлаждение осуществляют при помощи водорода пропускаемого через змеевик, установленный в непосредственной близости от тигля 3. В случае использования в качестве охладителя 11 трубчатого теплообменника типа змеевика, в данный змеевик подается водород через дополнительный патрубок 13 подачи водорода, при этом водород, проходящий по змеевику, охлаждает по бокам тигель 3 вместе с содержащимся в тигле металлом или полупроводником 6. Если выход трубчатого теплообменника соединен трубопроводом с бункером 4 запаса сырья, подогретый водород после теплообмена с металлом или полупроводником 6 подается в бункер 4 запаса сырья, где предварительно подогревает и частично очищает оксид металла или полупроводника 5. Охлаждение металла или полупроводника 6 в направлении снизу вверх улучшает собираемость примесей на поверхности расплава металла или полупроводника. Скорость застывания расплава снизу будет равна скорости подъема нагревающих элементов 10, что приведет к направленной кристаллизации и дополнительной очистке металла или полупроводника 6. Образующийся на поверхности расплава слой примесей, дренируют через сливные окна 15, расположенные на тигле 3 и далее выводят из корпуса 2 через сливной канал 14 примесей. После сброса примесей сливные окна 15 закрываются заслонкой. По мере роста кристалла металла или полупроводника 6 нагревающие элементы 10 и патрубок 7 подачи водорода поднимаются. Таким образом, предлагаемое техническое решение позволяет осуществлять получение металлов и полупроводников из их оксидов одним реактором при атмосферном давлении, что значительно повышает технологичность получения металлов и полупроводников из их оксидов. Ведение процесса от неочищенного природного сырья до конечного продукта одним реактором при атмосферном давлении, приводит к низкой себестоимости конечного продукта. Применение предлагаемого технического решения позволяет увеличивать объем выхода конечного продукта по завершению одного непрерывного цикла работы.
В ходе осуществления способа на поверхности расплава происходит каскад основных реакций (1-4). Оксид металла или кремния прореагирует с водородом с образованием моноокиси и воды (1).
Figure 00000002
Моноокись в свою очередь прореагирует с водородом до образования металла и воды на поверхности расплава
Figure 00000003
Вода из за высокой температуры распадется на атомарный кислород и водород (3)
Figure 00000004
Кислород за счет низкого удельного веса и подталкиваемый водородом поднимется к верху и выводится из реактора. Незначительно кислород прореагирует с моноокисью и образует оксида металла или кремния (4) который снова повторит все реакции
Figure 00000005
Конечную реакцию можно записать (6).
Figure 00000006
Пример осуществления предлагаемого способа.
В тигель, из оксида алюминия, с высотой 180 мм и диаметром 80 мм был засыпан порошок кремния 99% 10 мм. Сверху была опушена мешалка с молибденовыми нагревателями. Герметизация между тиглем и крышкой достигнута каолиновой ватой. Тигель продут в течении 5 мин азотом для вытеснения воздуха. Затем продувкой водородом вытеснен азот, а тигель оставлен продуваться водородом для постоянного заполнения свежим водородом и вытеснения примесей. На молибденовые нагреватели было подано напряжение и плавно в течении 1 часа температуру в тигле подняли до 1800°C. Нагревателям придали вращательное движение 15 об/мин и плавно поднимали вверх со скоростью 0,1 мм/мин с одновременной порционной подачей сверху оксида кремния четырехвалентного с увеличением уровня расплава не более 0,1 мм/мин. Одновременно с боков тигля отводили тепло. Температура тигля не превышала 1450°C. Опыт проводили в течении 24 часов. В результате был получен слиток кремния с выростом в центральной части характеризующийся высоким содержанием примесей. Незначительные примеси обнаружены и с боков слитка. В центральной части слитка получен кремний с качеством достаточным для производства солнечных элементов.
Каскад основных реакций происходящих на поверхности расплава:
Figure 00000007
Figure 00000008
Figure 00000009
Figure 00000010
Figure 00000011
Конечную реакцию можно написать
Figure 00000012
Преимущества предлагаемого устройства получения металлов и полупроводников из их оксидов: процесс ведется одним аппаратом, что, кроме прочего, приводит к низкой себестоимости конечного продукта; высокий ресурс установки; реакция происходит в среде водорода. Применение водорода обусловлено тем, что водород не загрязняет продукт реакции, рыночная стоимость водорода невысока; процесс переработки экологически чистый, без выбросов в атмосферу. Так как водород очищают транспортными реакциями и используют вновь; процесс переработки достаточно управляем, что делает возможным полную автоматизацию процесса; имеется возможность дополнительного визуального наблюдения и контроля; позволяет использовать неподготовленное сырье невысокого качества.
Техническим эффектом предлагаемого технического решения является повышение технологичности получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников за счет установки, содержащей теплоизолированный корпус, в котором расположен тигель и размещенный над тиглем бункер для дозированной подачи сырья, при этом установка снабжена патрубком с форсунками для подачи водорода, подведенным сверху к тиглю и выполненным с возможностью вертикального перемещения до дна тигля, по меньшей мере, одним нагревательным элементом, выполненным с возможностью вертикального перемещения внутри тигля и трубчатым теплообменником для охлаждения тигля по бокам, при этом ко входу трубчатого теплообменника подведен дополнительный патрубок подачи водорода, а его выход соединен трубопроводом с упомянутым бункером, теплоизолированный корпус выполнен с патрубками для отвода отработанных газов и сливным каналом примесей, а тигель со сливными окнами, выполненными с возможностью открытия и закрытия; нагреватели выполнены в форме электродов радиально размещенных относительно нижней части патрубка подачи водорода; электроды выполнены согнутыми в горизонтальной плоскости, а патрубок подачи водорода выполнен с возможностью вращения вокруг своей оси; корпус снабжен средствами визуального наблюдения; бункер запаса сырья снабжен дополнительным отводящим патрубком.

Claims (5)

1. Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников, содержащая теплоизолированный корпус, в котором расположен тигель и размещенный над тиглем бункер для дозированной подачи сырья, отличающаяся тем, что она снабжена патрубком с форсунками для подачи водорода, подведенным сверху к тиглю и выполненным с возможностью вертикального перемещения до дна тигля, по меньшей мере одним нагревательным элементом, выполненным с возможностью вертикального перемещения внутри тигля, и трубчатым теплообменником для охлаждения тигля по бокам, при этом ко входу трубчатого теплообменника подведен дополнительный патрубок подачи водорода, а его выход соединен трубопроводом с упомянутым бункером, при этом теплоизолированный корпус выполнен с патрубками для отвода отработанных газов и сливным каналом примесей, а тигель - со сливными окнами, выполненными с возможностью открытия и закрытия.
2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что нагреватели выполнены в форме электродов, радиально размещенных относительно нижней части патрубка подачи водорода.
3. Установка по п. 2, отличающаяся тем, что электроды выполнены согнутыми в горизонтальной плоскости, а патрубок подачи водорода выполнен с возможностью вращения вокруг своей оси.
4. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что корпус снабжен средствами визуального наблюдения.
5. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что бункер запаса сырья снабжен дополнительным отводящим патрубком.
Figure 00000001
RU2014112266/02U 2014-04-01 2014-04-01 Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников RU147459U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014112266/02U RU147459U1 (ru) 2014-04-01 2014-04-01 Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014112266/02U RU147459U1 (ru) 2014-04-01 2014-04-01 Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU147459U1 true RU147459U1 (ru) 2014-11-10

Family

ID=53384590

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014112266/02U RU147459U1 (ru) 2014-04-01 2014-04-01 Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU147459U1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN205505726U (zh) 一种带废气处理的搅拌式废料熔炼回收设备
CA2744872C (en) Process and apparatus for preparing ultrapure silicon
CN102126726A (zh) 一种电子束高效提纯多晶硅粉体的方法及设备
TWI417241B (zh) 高純度多晶矽的製造裝置及製造方法
CN110066987A (zh) 气相沉积装置及氧化亚硅的制备方法
CN104918883B (zh) 用于沉积多晶硅的方法
RU147459U1 (ru) Установка для получения слитков неорганических веществ из оксидов металлов или полупроводников
CN104512913B (zh) 一种卧式高浓度Na131I生产装置
JP2010269992A (ja) 金属シリコンの精製方法及びその精製装置{Methodandapparatusforrefiningsilicon}
RU2562717C1 (ru) Способ получения кремния из оксида кремния
JP2010030869A (ja) 高純度シリコンの製造装置
CN111249761A (zh) 一种熔盐蒸馏纯化方法及设备
CN207079010U (zh) 一种新型石墨连续提纯装置
CN101941698B (zh) 电子束熔炼高效去除硅中杂质磷的方法及装置
KR101525859B1 (ko) 고순도 실리콘 미세분말의 제조 장치
JP5180947B2 (ja) 多結晶シリコン製造用の反応炉の洗浄方法
RU2014103710A (ru) Катриджный реактор для производства материалов посредством процесса химического осаждения паров
CN103539089B (zh) 用微细金属铝粉生产高纯氮化铝粉的方法
KR20120086986A (ko) 구형체 물질의 고른 코팅을 위한 cvd 장치
RU2472875C1 (ru) Способ выращивания монокристалла кремния из расплава
NO140006B (no) Fremgangsmaate til kontinuerlig grafittering
KR20100085299A (ko) 폴리실리콘 정제로
KR101987637B1 (ko) 저융점 금속의 고순도화 장치
JP6343592B2 (ja) 多結晶シリコン製造用反応炉及び多結晶シリコンの製造方法
RU2458760C2 (ru) Устройство для получения железного порошка, содержащего фосфор

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20160402