RU136546U1 - Шахтная вакуумная печь сопротивления (варианты) - Google Patents

Шахтная вакуумная печь сопротивления (варианты) Download PDF

Info

Publication number
RU136546U1
RU136546U1 RU2013140515/02U RU2013140515U RU136546U1 RU 136546 U1 RU136546 U1 RU 136546U1 RU 2013140515/02 U RU2013140515/02 U RU 2013140515/02U RU 2013140515 U RU2013140515 U RU 2013140515U RU 136546 U1 RU136546 U1 RU 136546U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
screen
package
layers
heating
chamber
Prior art date
Application number
RU2013140515/02U
Other languages
English (en)
Inventor
Аркадий Васильевич Белов
Валерий Иванович Выбыванец
Василий Викторович Зайцев
Владимир Ульянович Королев
Вячеслав Витальевич Кузнецов
Дмитрий Андреевич Трусов
Михаил Михайлович Шаракин
Виктор Викторович Шевченко
Анатолий Евгеньевич Фисюнов
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение "ЛУЧ" (ФГУП "НИИ НПО "ЛУЧ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение "ЛУЧ" (ФГУП "НИИ НПО "ЛУЧ") filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение "ЛУЧ" (ФГУП "НИИ НПО "ЛУЧ")
Priority to RU2013140515/02U priority Critical patent/RU136546U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU136546U1 publication Critical patent/RU136546U1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Furnace Details (AREA)
  • Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)

Abstract

1. Шахтная вакуумная печь сопротивления, содержащая водоохлаждаемый корпус с герметизирующей крышкой, нагревательную камеру с экранной теплоизоляцией в виде многослойного пакета, состоящего из N последовательно расположенных взаимно дистанционированных слоев-экранов из тугоплавкого материала толщиной 150÷300 мкм, и размещенные внутри камеры нагревательные элементы, отличающаяся тем, что экранная теплоизоляция с внешней или внутренней стороны пакета в верхней и нижней его частях, составляющих 1/3÷1/5 высоты пакета, выполнена с переменным количеством слоев, при этом количество слоев-экранов в верхней части составляет N+(1÷3), а в нижней - N-(1÷3) с образованием нисходящих ступенек равной длины.2. Шахтная вакуумная печь сопротивления, содержащая водоохлаждаемый корпус с герметизирующей крышкой, нагревательную камеру с экранной теплоизоляцией в виде многослойного пакета, состоящего из N последовательно расположенных взаимно дистанционированных слоев-экранов из тугоплавкого материала толщиной 150÷300 мкм, и размещенные внутри камеры нагревательные элементы, отличающаяся тем, что экранная теплоизоляция с внешней или внутренней стороны пакета в верхней и нижней его частях, составляющих 1/3÷1/5 высоты пакета, снабжена накладками толщиной 150÷300 мкм из тугоплавких материалов с различной излучательной способностью, причем в верхней части накладка выполнена из материала со степенью черноты 0,18÷0,24, а в нижней части - из материала со степенью черноты 0,29÷0,35.

Description

Полезная модель относится к области термообработки изделий, в частности к вакуумным печам шахтного типа для высокотемпературного отжига длинномерных изделий, в том числе тонкостенных труб из тугоплавких материалов - поликристаллов, монокристаллов, например W, Mo, Та и их сплавов.
Общеизвестно, что технические и эксплуатационные характеристики изделий в значительной степени зависят от ряда факторов, таких как физико-механические свойства, химический состав, оптимальная структура материала, уровень внутренних напряжений в изделиях и др. На практике эти проблемы решаются с помощью различного вида термообработки изделий в вакууме. Для этих целей используются шахтные вакуумные печи сопротивления с уровнем остаточного вакуума 5*10-6 мм.рт.ст. с рабочими температурами до 2500°C разной степени совершенства.
Так известна промышленная шахтная печь сопротивления - электропечь ЭСКВЭ-1,2.2,5/25 ШМ. (Техническое описание печи от 10.10.2009).
Известная печь содержит герметизируемый крышкой охлаждаемый цилиндрический корпус, в котором размещена нагревательная камера. Основными узлами нагревательной камеры являются: нагреватель, выполненный из вольфрама, теплоизолирующий многослойный экран, окружающий нагреватель в виде вертикального цилиндра, закрытого с торцов крышками, и приспособление для установки изделий в рабочем пространстве камеры.
Однако данная печь обладает серьезным недостатком. Известная конструкция не обеспечивает равномерность нагрева изделий в нагревательной камере из-за существенного реального перепада температур в рабочей зоне нагрева по высоте (до ±50°C), обусловленного неэффективной организацией теплового потока. Теплоизолирующий многослойный экран не способен, с одной стороны, компенсировать потери тепла в верхней части нагревательной камеры из-за стока тепла по токоподводам нагревателя и приспособления для установки изделия, с другой стороны - сбросить избыток тепла на рубашку охлаждения в нижней части нагревательной камеры, представляющей собой глухой теплоемкий колодец, или эффективно перераспределить тепло. Это приводит к внутренним термическим напряжениям в термообрабатываемых изделиях и, как следствие, искажению геометрических параметров, например прямолинейности, что влечет за собой увеличение процента брака и себестоимости изготовления, особенно недопустимого в случае групповой обработки изделий из тугоплавких материалов.
В качестве наиболее близкого аналога печи для высокотемпературной обработки изделий, принятого авторами за прототип, является вертикальная шахтная печь сопротивления (патент РФ на полезную модель №114516, МПК F27B 1/10, опубл. 27.03.12). Основными элементами конструкции такой печи являются водоохлаждаемый корпус с герметизирующей крышкой, нагревательная камера с многослойной экранной теплоизоляцией и коаксиально размещенными внутри нее нагревательными элементами, а также термостатирующий экран, установленный между нагревательными элементами и изделиями, обеспечивающий перераспределение и выравнивание тепловых потоков в зоне нагрева. Как вариант, вместо термостатического экрана предусмотрена установка в центре рабочей зоны нагрева дополнительного блока нагревательных элементов.
Необходимым результатом успешного проведения термических операций должно быть в итоге обеспечение требуемых геометрических характеристик изделия после термообработки, например прямолинейности, что особенно актуально в случае длинномерных тонкостенных труб, для которых указанные геометрические параметры являются основополагающими.
Известная конструкция печи решает задачу обеспечения исходной геометрии изделий при высокотемпературной обработке их в глубоком вакууме путем организации равномерного по высоте рабочей зоны теплового потока. Полученное качество потока, и, как следствие, - температурного поля, достигнуто путем введения в рабочую зону нагрева дополнительного толстостенного термостатирующего экрана, расположенного между изделиями и нагревателем, или же установкой в центре рабочей зоны нагрева дополнительного блока нагревательных элементов.
Однако известное техническое решение не свободно от недостатков.
Во-первых, наличие массивного термостатирующего экрана (~ 110 мм, l=900 мм, δ=4 мм) или внутреннего дополнительного нагревателя (6 мм, l=950 мм, кол-во 12) из вольфрама усложняет конструкцию печи и ее эксплуатацию, а также увеличивает ее материалоемкость и энергоемкость.
Во-вторых, полезный объем рабочей зоны нагрева используется неэффективно (порядка 50%) из-за наличия все тех же упомянутых дополнительных узлов и связанных с ними установочных дистанционирующих размеров, что в конечном итоге отрицательно влияет на производительность термовакуумных процессов.
Задача и обеспечиваемый полезной моделью технический результат - упрощение конструкции нагревательной камеры печи при сохранении в ее рабочем объеме стабильного и равномерного по высоте рабочей зоны теплового потока, исключающего недопустимые перепады температур и неравномерный нагрев изделий, а также почти двукратное увеличение объема рабочей зоны нагрева, обеспечивающее загрузку дополнительного количества обрабатываемых изделий.
Поставленная задача и указанный технический результат достигаются тем, что в шахтной вакуумной печи сопротивления, включающей водоохлаждаемый корпус с герметизирующей крышкой, нагревательную камеру с экранной теплоизоляцией в виде многослойного пакета, состоящего из N последовательно расположенных взаимно дистанционированных слоев-экранов из тугоплавкого материала толщиной 150÷300 мкм, и размещенные внутри камеры нагревательные элементы, согласно первому варианту полезной модели экранная теплоизоляция с внешней или внутренней стороны по высоте пакета выполнена с переменным количеством слоев-экранов, причем в верхней части равной 1/3÷1/5 высоты пакета, количество слоев-экранов составляет N+(1÷3) с образованием нисходящих ступенек равной длины, а в нижней части равной 1/3÷1/5 высоты пакета, количество слоев-экранов составляет N-(1÷3) также с образованием нисходящих ступенек равной длины.
Аналогичный результат достигается путем реализации второго варианта конструкции шахтной вакуумной печи, в соответствии с которым в шахтной вакуумной печи сопротивления, включающей водоохлаждаемый корпус с герметизирующей крышкой, нагревательную камеру с экранной теплоизоляцией в виде многослойного пакета, состоящего из N последовательно расположенных взаимно дистанционированных слоев-экранов из тугоплавкого материала толщиной 150÷300 мкм, и размещенные внутри камеры нагревательные элементы, экранная теплоизоляция с внешней или внутренней стороны пакета в верхней и нижней его частях, составляющих 1/3÷1/5 высоты пакета, снабжена накладками толщиной 150÷300 мкм из тугоплавких материалов с различной излучательной способностью, причем в верхней части накладка выполнена из материала со степенью черноты 0,18÷0,24, а в нижней части - из материала со степенью черноты 0,29÷0,35.
Упрощение конструкции нагревательной камеры печи путем применения простой экранной теплоизоляции специальной конфигурации позволило исключить из состава камеры дополнительные промежуточные узлы между изделиями и нагревателем (массивный термостатирующий экран в первом варианте прототипа и внутренний блок нагревателей с системой управления - во втором варианте прототипа). Это одновременно привело к существенному (в два раза) увеличению объема рабочей зоны нагрева (загрузки) изделий и повышению производительности техпроцессов, при сохранении габаритов нагревательной камеры в целом.
Следует отметить:
- значительное снижение материалоемкости по дорогостоящим применяемым материалам;
- повышение технологичности нагревательной камеры путем исключения операций по изготовлению и установке в рабочую зону нагрева дополнительных узлов (экрана, нагревателя), а также существенного улучшения условий обслуживания нагревательной камеры, повышение надежности и эксплуатации печи в целом.
При этом полностью сохранены тепловые характеристики нагревательной камеры и обеспечено требуемое равномерное по высоте поле температур, а также уменьшено энергопотребление печи в целом.
Сущность полезной модели поясняется чертежами.
На фиг. 1 Вид А, Б схематически показана конструкция шахтной вакуумной печи сопротивления в соответствии с первым вариантом заявляемой полезной модели.
На фиг. 2 Вид А, Б схематически показана конструкция шахтной вакуумной печи сопротивления в соответствии со вторым вариантом заявляемой полезной модели.
На фиг. 3 представлен характерный график режима термообработки изделий в соответствии с первым и вторым вариантами полезной модели, где Т1, Т2, Т3 - температура соответственно в верхней, средней и нижней частях рабочей зоны печи.
Шахтная вакуумная печь сопротивления, изображенная на фиг. 1 (вид А, Б), содержит водоохлаждаемый корпус 1 с герметизирующей крышкой 2, размещенную в корпусе цилиндрическую нагревательную камеру 3 с экранной многослойной теплоизоляцией 4 и цилиндрическими нагревательными элементами 5, коаксиально размещенными внутри камеры и образующими рабочую зону нагрева, а также приспособление 6 для установки изделий 7. Экранная теплоизоляция 4 выполнена в виде многослойного пакета с переменным по высоте пакета количеством слоев-экранов из тугоплавких металлов и нержавеющей жаростойкой стали, последовательно расположенных и взаимно дистанционированных. Пакет в своей верхней части, составляющей 1/10÷1/15 высоты пакета, на внутренней или внешней сторонах имеет увеличенное количество слоев N+(1÷3), которые образуют нисходящие ступеньки 8 равной длины. В нижней своей части, составляющей 1/10÷1/15 высоты, пакет имеет уменьшенное количество слоев N-(1÷3) также с образованием ступенек равной длины. Слои-экраны по высоте и количеству варьируются в заданных пределах в соответствии с конкретными требованиями к уровню и профилю температуры в зоне нагрева. Для осуществления контроля температуры в рабочей зоне нагрева, по высоте на заданном уровне в водоохлаждаемом корпусе выполнены смотровые окна 9 и соответствующие им отверстия 10 в экранной изоляции. Шахтная вакуумная печь сопротивления оснащена штатными системами охлаждения, электропитания, вакуумирования, контроля рабочих параметров и управления (на чертеже не показаны).
Шахтная вакуумная печь сопротивления, изображенная на фиг. 2 (вид А, Б), содержит водоохлаждаемый корпус 1 с герметизирующей крышкой 2, размещенную в корпусе цилиндрическую нагревательную камеру 3 с многослойной экранной теплоизоляцией 4 и цилиндрическими нагревательными элементами 5, коаксиально размещенными внутри камеры и образующими рабочую зону нагрева, а также приспособление 6 для установки изделий 7. Нагревательная камера по высоте рабочей зоны снабжена экранной теплоизоляцией в виде многослойного пакета из N последовательно расположенных и взаимно дистанционированных слоев-экранов из тугоплавких металлов и нержавеющей жаростойкой стали. Внутренняя сторона пакета, обращенная непосредственно к элементам нагревателя, или наружная сторона, обращенная к рубашке охлаждения, дополнительно снабжены в верхней и нижней частях, составляющих 1/10÷1/15 высоты пакета, накладками 11, которые различаются излучательной способностью (степенью черноты) и в соответствии с конкретным требованием к уровню и профилю температуры по высоте зоны нагрева варьируются по размеру и материалу. Причем, в верхней части пакета установлены накладки с меньшей степенью черноты в пределах 0,18÷0,24, а в нижней - с большей степенью черноты в пределах 0,29÷0,35.
Для осуществления контроля температуры в рабочей зоне нагрева по высоте, на заданном уровне в водоохлаждаемом корпусе выполнены смотровые окна 9 и соответствующие им отверстия 10 в экранной теплоизоляции.
Осуществление полезной модели в соответствии с первым вариантом в исполнении Вид А на фиг. 1.
В водоохлаждаемом цилиндрическом корпусе 1 из нержавеющей стали с герметизирующей крышкой 2 коаксиально установлена нагревательная камера 3, высота которой составляет 1000 мм, а диаметр - 200 мм, из тугоплавкого материала, например, вольфрама, молибдена. Полость корпуса соединена с системой вакуумирования. Экранная теплоизоляция 4 нагревательной камеры представляет собой закрытый с обеих сторон крышками с теплоизоляцией многослойный пакет в виде цилиндрического блока с переменным по высоте пакета количеством последовательно расположенных и взаимно дистанционированных слоев - экранов из вольфрама, молибдена и нержавеющей жаростойкой стали толщиной 0,15÷0,30 мм. Внутри блока экранной теплоизоляции размещены цилиндрические нагревательные элементы 5 и приспособление 6 для установки изделий 7. В верхней части равной 90 мм (в интервале 1/10÷/15 высоты пакета) пакет имеет количество слоев 15, в соответствии с N+(1÷3). В нижней части, равной 90 мм, пакет имеет количество слоев 9, в соответствии с N-(1÷3), которые образуют нисходящие ступеньки длиной 30 мм каждая.
В нагревательной камере коаксиально на расстоянии 25 мм от экранной изоляции установлены 24 нагревательных элемента, выполненных из вольфрамового прутка диаметром 4 мм и высотой 900 мм. Каждое из изделий (в количестве до 15 штук), представляющее собой трубу (или пруток) из W, Mo и их сплавов длиной 800÷850 мм и диаметром 13 мм с толщиной стенки 0,5÷1 мм закреплено на приспособлении.
Процесс термообработки изделий проводили в глубоком вакууме с выходом на температурный режим 2000°C и последующей выдержкой на режиме в течение 1÷1,5 часов. Контроль и регулирование температурного режима для обеспечения температуры заданного уровня в рабочей зоне нагрева осуществляли до температуры 1800°C с помощью температурных датчиков, а свыше 1800°C - пирометрическим способом, используя смотровые окна 9 в водоохлаждаемом корпусе и отверстия 10 в экранной теплоизоляции.
Как видно из графика, представленного на фиг. 3, температура в верхней, средней и нижней частях рабочей зоны печи имеет минимальный разброс температуры.
Длинномерные изделия, прошедшие термообработку в шахтной печи (по первому варианту заявляемой полезной модели), имели непрямолинейность 0,21-0,23 мм (на длине 850 мм).
Осуществление полезной модели в соответствии со вторым вариантом в исполнении Вид А на фиг. 2.
В водоохлаждаемом цилиндрическом корпусе 1 из нержавеющей стали с герметизирующей крышкой 2 коаксиально установлена нагревательная камера 3, высота которой составляет 1000 мм, а диаметр - 200 мм, из тугоплавкого материала, например, вольфрама. Полость корпуса соединена с системой вакуумирования.
Экранная теплоизоляция 4 нагревательной камеры представляет собой закрытый с обеих сторон крышками с теплоизоляцией многослойный пакет в виде цилиндрического блока последовательно расположенных и взаимно дистанционированных слоев - экранов из вольфрама, молибдена и нержавеющей жаростойкой стали толщиной 0,15-0,30 мм. Внутри размещены цилиндрические нагревательные элементы 5 и приспособления 6 для установки изделий 7.
Внутренняя сторона пакета, обращенная непосредственно к элементам нагревателя, в верхней и нижней частях, равных 90 мм (в интервале 1/10÷1/15 высоты пакета), дополнительно снабжена накладками 11 толщиной 0,15-0,30 мм и длиной 90 мм из молибдена и вольфрама соответственно, обеспечивающих меньшую степень черноты в верхней части пакета и большую - в нижней части пакета из заявленных интервалов 0,18÷0,24 и 0,29÷0,35.
В нагревательной камере коаксиально на расстоянии 25 мм от экранной изоляции установлены 24 нагревательных элемента, выполненных из вольфрамового прутка диаметром 4 мм и высотой 900 мм. Каждое из изделий (в количестве 15 штук), представляющее собой трубу (или пруток) из W, Mo и их сплавов длиной 800-850 мм и диаметром 13 мм с толщиной стенки 0,5-1 мм закреплено на приспособлении.
Процесс термообработки изделий проводили в глубоком вакууме с выходом на температурный режим 2000°C и последующей выдержкой на режиме в течение 1÷1,5 часов. Контроль и регулирование температурного режима для обеспечения температуры заданного уровня в рабочей зоне нагрева осуществляли до температуры 1800°C с помощью температурных датчиков, а свыше 1800°C - пирометрическим способом, используя смотровые окна 9 в водоохлаждаемом корпусе и отверстия 10 в экранной изоляции. Параметры режима термообработки изделий в полезной модели по второму варианту практически совпадают с первым вариантом.
Длинномерные изделия, прошедшие термообработку в шахтной печи (по второму варианту заявляемой полезной модели), имели непрямолинейность 0,22-0,23 мм (на длине 850 мм).
Таким образом, в заявленном решении (два варианта) экономичным и эффективным способом решена задача существенного упрощения конструкции основного узла печи - нагревательной камеры, что позволило исключить массивный протяженный прогреваемый термостатирующий экран и блок дополнительных внутренних нагревателей и, в свою очередь, одновременно увеличить в два раза полезный объем рабочей зоны нагрева (загрузки) изделий. При этом существенно снижены материалоемкость конструкции по дорогостоящим тугоплавким материалам и энергоемкость, а так же улучшены условия эксплуатации печи.
Вместе с тем, одновременно решена задача оптимальной организации в рабочем объеме тепловой камеры стабильного и равномерного по высоте надежно управляемого теплового потока, исключающего недопустимые перепады температур и неравномерный нагрев изделий при проведении режимов термообработки на этапах подъема, выдержки на режиме и спуска температуры (см. график фиг. 3).

Claims (2)

1. Шахтная вакуумная печь сопротивления, содержащая водоохлаждаемый корпус с герметизирующей крышкой, нагревательную камеру с экранной теплоизоляцией в виде многослойного пакета, состоящего из N последовательно расположенных взаимно дистанционированных слоев-экранов из тугоплавкого материала толщиной 150÷300 мкм, и размещенные внутри камеры нагревательные элементы, отличающаяся тем, что экранная теплоизоляция с внешней или внутренней стороны пакета в верхней и нижней его частях, составляющих 1/3÷1/5 высоты пакета, выполнена с переменным количеством слоев, при этом количество слоев-экранов в верхней части составляет N+(1÷3), а в нижней - N-(1÷3) с образованием нисходящих ступенек равной длины.
2. Шахтная вакуумная печь сопротивления, содержащая водоохлаждаемый корпус с герметизирующей крышкой, нагревательную камеру с экранной теплоизоляцией в виде многослойного пакета, состоящего из N последовательно расположенных взаимно дистанционированных слоев-экранов из тугоплавкого материала толщиной 150÷300 мкм, и размещенные внутри камеры нагревательные элементы, отличающаяся тем, что экранная теплоизоляция с внешней или внутренней стороны пакета в верхней и нижней его частях, составляющих 1/3÷1/5 высоты пакета, снабжена накладками толщиной 150÷300 мкм из тугоплавких материалов с различной излучательной способностью, причем в верхней части накладка выполнена из материала со степенью черноты 0,18÷0,24, а в нижней части - из материала со степенью черноты 0,29÷0,35.
Figure 00000001
RU2013140515/02U 2013-09-03 2013-09-03 Шахтная вакуумная печь сопротивления (варианты) RU136546U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013140515/02U RU136546U1 (ru) 2013-09-03 2013-09-03 Шахтная вакуумная печь сопротивления (варианты)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013140515/02U RU136546U1 (ru) 2013-09-03 2013-09-03 Шахтная вакуумная печь сопротивления (варианты)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU136546U1 true RU136546U1 (ru) 2014-01-10

Family

ID=49885794

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013140515/02U RU136546U1 (ru) 2013-09-03 2013-09-03 Шахтная вакуумная печь сопротивления (варианты)

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU136546U1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20150230293A1 (en) System for insulating an induction vacuum furnace and method of making same
CN203999743U (zh) 一种油加热空心夹层保温无线控温连续退火装置
RU2326319C2 (ru) Индукционная печь для работы при высоких температурах
RU147133U1 (ru) Шахтная вакуумная печь сопротивления
KR20020038688A (ko) 열처리 장치
RU136546U1 (ru) Шахтная вакуумная печь сопротивления (варианты)
EP2224020B1 (en) Retort furnace for heat and/or thermochemical treatment
JP4999422B2 (ja) 連続式の熱処理方法及び連続式の熱処理炉
RU141911U1 (ru) Шахтная вакуумная печь сопротивления
JP2017006988A (ja) 押出ダイ予熱装置
RU114516U1 (ru) Шахтная вакуумная печь сопротивления (варианты)
CN103591793B (zh) 一种真空烧结炉
RU154590U1 (ru) Электровакуумная вертикальная печь сопротивления
RU2521187C2 (ru) Устройство для диффузионной металлизации в среде легкоплавких жидкометаллических растворов
CN106702107A (zh) 一种真空气淬炉的回火设备
RU221301U1 (ru) Устройство нагрева капилляров из молибденового стекла, запаянных и заполненных щелочным металлом
RU194547U1 (ru) Ванна соляная с тиглем
JP3230921U (ja) 工業炉
CN107653360A (zh) 一种真空气淬的回火炉
CN106378526A (zh) 一种可用于高升温速率扩散焊接的实验装置
KR101826174B1 (ko) 복수개의 그라파이트 히터를 이용하는 연속식 초고온 열처리로
CN216869157U (zh) 加热机构
JPH0791863A (ja) 可動熱反射板付真空炉
CN208936765U (zh) 一种用于精密合金加热用受热均匀的加热炉
CN214333354U (zh) 一种工件加工用箱式电炉