RU1342183C

RU1342183C - Device for measuring geometric parameters of mirror optical members

Info

Publication number: RU1342183C
Authority: RU
Inventors: А.П. Голиков; М.Л. Гурари; С.И. Прытков
Original assignee: Предприятие П/Я В-8584
Priority date: 1985-02-27
Filing date: 1985-02-27
Publication date: 1993-10-15

Abstract

Изобретение относитгс к измерительной технике , в частноаи к устройствам дл измерени геометрических параметров зеркальных оптичеодах элементов. Цель изобретени - повышевде производительности измерени ; несфе зических поверх- нсстей за счет создани условий дл одновременного наблюдени полос интерферогрангиы и заранее рассчитанных полос идеальной интерферог- раммы и быстрого сравнени структуры этих двух шстем полос. Через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучени , при посредстве оптической системы 12 формир тот изофажение иктерфе- ренцио иой KapiHi-tbt, воаникакнцей при сдвиге контролируемого зеркального оптического элемента из исходного попожеж1Г и локализованной на поверхности рассеизател 6. Одновременно ма поверхность рассеиваТел 6 с помощью источника 9 излучен11 м проецирующей опггичесжой системы 11 подают изображение транспаранта 10, которое оп- ти юской системой 12 совмещаетс с изображени- - ем интерферограммы. ilo различию структуры указанных изображений суд т от отклонении формы контролируе 5ого зеркального оптическс -о элемента от заданной расчатнои формы 1ш. ь- Sw/ GQ tsrj L.... НпЛ Inn ч л ы 4 ы QQ ы кThe invention relates to measuring equipment, in particular to devices for measuring the geometric parameters of mirror optical elements. The purpose of the invention is to improve measurement performance; non-spherical surfaces by creating conditions for the simultaneous observation of interferographic bands and pre-calculated bands of an ideal interferogram and a quick comparison of the structure of these two six stripes. Through the hologram obtained on the radiation recorder 7, through the optical system 12, the image is distorted by the interference KapiHi-tbt, which can be damaged by shifting the controlled mirror optical element from the original image and localized on the surface of the diffuser 6. At the same time, the surface of the scattering body 6 using the source 9 emitted by 11 m of the projecting optical system 11 provides an image of a banner 10, which is combined with an image of an interferogram by an optical system 12. ilo, the difference in the structure of these images is judged from the deviation of the shape of the controllable 5th mirror optical element from the predetermined shape of 1p. -Sw / GQ tsrj L .... NPL Inn os s 4 s QQ s to

Description

Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к уст|Эойствзм дп измерени геометрических параметров зеркальных оптических элементов, и вл етс усовершенствованием изобретени по авт. св. № 593070.The invention relates to measuring equipment, in particular to a device for measuring the geometric parameters of mirror optical elements, and is an improvement of the invention by the author. St. No. 593070.

Цель изобретени - повышение производительности измерени н-зсферическик поверхностей за счет создани условий дл одновременного наблюдени полос интер- ферограммы м заранее рассчитйнных полос идеальной мнтерферограммы и быстрого Сра8не1ш структуры этих двух систем полос .The purpose of the invention is to increase the productivity of measuring n-spherical surfaces by creating the conditions for simultaneous observation of interferogram bands and pre-calculated bands of the ideal multferogram and the fast Cf8 structure of these two band systems.

На чертеже представлена принципи- алы-еа схема описываемого устройства.The drawing shows a principle-ea diagram of the described device.

Устройство имеет последовзтепы-io расположенные источник 1 когерентного иапу- ченил, светодел тель 2, св занный оптически с системой 3 формировани опорного пучка 1/ Злучени и с систег-юй формировани предметного пучка излучени , включа1О1ций блок 4 осеещен л vi сигнальный канзл, состо щий из отражател Б, рас- сеивател G регисгрзторэ 7 излучени . Отражатель 5 установлен на подвижной каретке механизма 8 сдеига. Устройство содержит также источник 9 излучени , транспарант 10 м проецирующую оптическую систему 11, в предметной плоско -лч1 которой расположен транспарант 10, а плоскость рассемвател 6 вл етс плоскостью изображений оптической системы 11 и одновременно - предметной плоскостью оптической системы 12 наблюдени , установленной в сигнальном канале за регистратором 7 излучений. Транспарант 10 содержит заранее рассчитанную в нумсном масштабе систему полос идеальной иитер- ферограммы контролируемого элемента.The device has a sequential source located 1 coherent and received, a beam splitter 2, which is connected optically to the reference beam forming system 1 / Radiation and to the system for generating an object radiation beam, including the 1O1 block 4, which contains the vi signal channel consisting of from the reflector B, the diffuser G of the radiation detector 7. The reflector 5 is mounted on a movable carriage of the mechanism 8 sdeig. The device also contains a radiation source 9, a transparency of 10 m projecting the optical system 11, in the subject plane-ray 1 of which there is a transparency 10, and the plane of the scatterer 6 is the image plane of the optical system 11 and at the same time the object plane of the optical observation system 12 installed in the signal channel behind the registrar 7 emissions. The banner 10 contains a system of bands of an ideal hithero-ferrogram of a controlled element, which was previously calculated on a numiceal scale.

Описываемое устройстпо работает с/из- дующмм образом.The described device works with / from the image.

Ф о р м у л а и зоб р е т е н и FORMULA AND ZOBRETEN

Устройство дл / Змере) геометрических параметров зеркальных оптических элементов по авт. св. М 593070, о т л и ч а ю- щ е 8 с тем, что, с цепью производительности измере 1и несферических позерхностей, оно снабжено источником излучени , транспарзнто и проэцируюидей оптической системой, устаноаланны.ми по5Device for / Measurement) of geometric parameters of mirror optical elements according to ed. St. M 593070, with the exception of 8, in that, with a power circuit measuring 1 and nonspherical surfaces, it is equipped with a radiation source, transparently and projected by an optical system, installed at 5

Сначала получают на регистраторе 7 излучени голограмму рассеивател 6с установленным на место отражател 5 контролируемым зеркальным оптическим элементом. На зтзпе восстановлени голограммы при наблюдении голографической интерферограммы регистратор 7 излучени облучают опорным пучком и.злучени , а исследуемый зеркальный оптический злемент- потоком, прошедшим через блок 4 освв ще- ни . Через голограмму, полученную на регистраторе 7 излучени , при посредстве оптической сиетемь 12 формируют изображение интерференционной картины, возни- кающей при сдвиге контролируемого зеркального оптического элемента из исходного поло.м еж-1 , производимом меха- г измом 8 сдвига, и локализованной на поверхности рзссеивател б. Одновремен0 но на поверхность рассеивател б с помощью источника 9 излучени и проецирующей оптической системы 11 под- йют изображение транспаранта 10, которое оптической системой 12 совмещаетс с изоЬ бражением интерферограммы. По различию структуры указанных изображений, которое обнаруживаетс , например по муаровым полосам, суд т об отклонении формы контролируемого зеркального оптического зле0 ментэ от заданной расчетной формы, Контрастное различ.ие цветов источника 1 когерентного и.злучени и источника 9 излучени увеличивает чувствительность обнаружени этих paзли iмй. ИспользованиеFirst, a hologram of the diffuser 6c is mounted on the radiation recorder 7 with the controllable specular optical element in place of the reflector 5. In the hologram reconstruction process, upon observation of a holographic interferogram, the radiation recorder 7 is irradiated with a reference beam and radiation, and the specular optical element under study is irradiated with a stream that has passed through the illumination unit 4. Through the hologram obtained on the radiation recorder 7, using the optical network 12, an image of the interference pattern arises when the controlled mirror optical element is shifted from the original band hedgehog-1 produced by shear mechanism 8 and localized on the surface of the diffuser b. At the same time, on the surface of the scatterer b, using the radiation source 9 and the projecting optical system 11, an image of the banner 10 is raised, which is combined with the optical system 12 with the image of the interferogram. By the difference in the structure of these images, which is detected, for example, in moire bands, the deviation of the shape of the controlled specular optical optical element from the given design shape is judged. The contrast difference in the colors of the coherent and radiation source 1 and the radiation source 9 increases the detection sensitivity of these areas . Using

5 техники музровых полос сокращает массив обрабатываемы /данных и врем , необходиков дл математической обработки интер- ферограмм.5 Musical band techniques reduce the amount of processed / data and the time needed to mathematically process interferograms.

v (56) Авторское саидетельство СССРv (56) Copyright certificate of the USSR

W: 593070, кл. G 01 В 11/24, 9/021, 1976.W: 593070, CL G 01 B 11/24, 9/021, 1976.

/iF следовательно по ходу этого излучени так, что транспарант размеи ен в предметной плоскости системы, и оптической системой иаблюден14 , рзсположенной в сигнальном к;;)иа/1е за регистратором излучени так, что/ iF is therefore in the course of this radiation so that the transparency is distributed in the object plane of the system, and the optical system is observed14, located in the signal k ;;) a / 1e behind the radiation recorder so that

дп ее предметна плоскость совмещена с плоскостью изображен лй проецирующей опти- Ч8СКОЙ сиспэмы и с плоскостью расссивйтел .its object plane is aligned with the plane depicted by the projecting optical system and with the plane diffused.