Изобретение относитс к контрольноизмерительной технике и может быть использовано дл контрол ширины штрихов, зазоров и диаметров волокон. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению вл етс способ дл измерени малых поперечных размеров, при котором облучают когерентньПл монохроматическим светом эталонный и контролируемый объекты, получают дифракционную картину распределени от эталонного и контролируемого объектов 1 . Такой способ отличаетс недостаточно высокой точностью измерени , так как процесс измерени проводитс tio интенсивности лучей. Цель изобретени - повышение точности измерени малъгх поперечных размеров Это достигаетс тем, что из картины распределени выдел ют но одному нс дку дифракции, осуществл ют их интерференцию и по полученной интерференцион- НОЙ картине суд т о контролируемой величине . На чертеже показано устройство дл реализации предлагаемого способа. Устройство содержит источник 1 монохроматического излучени , светоделитель 2, эталонный 3 и контролируемъй 4 объекты, диа4чрагму 5, телескопическую систему 6, зеркала 7 и 8, 9, телескопическую систему 10, полупрозрачное зеркало 11 и индикатор 12, Устройство работает следующим образом . Излучение источника 1 делитс светоделителем 2 на эталоннъгй и контролируемый каналы. Излучение, идущее по контролируемому каналу, дифрагирует на контролируемом объекте 4. Диафрагма 5 въьдел етодин из пор дков дифракции, которъгй расшир етс телескопической системой 6 и повфачиваетс зеркалом 7. Излучение, проход но эталонному каналу , поворачиваетс зеркалом 8 и дифрагирует laa эталонном объекте 3. Одни аз пор дков дифракции выдел етс диафрагмой 9 и попадает в телескопическую систему 10. На полупрозрачном зеркалеThe invention relates to a reference measurement technique and can be used to control the width of grooves, gaps and fiber diameters. The closest in technical essence and the achieved result to the invention is a method for measuring small transverse dimensions, in which the reference and controlled objects are irradiated with a coherent Maplet with monochromatic light, get a diffraction pattern of distribution from the reference and controlled objects 1. This method is not sufficiently accurate measurement, since the measurement process is carried out tio ray intensity. The purpose of the invention is to improve the accuracy of measuring small transverse dimensions. This is achieved by allocating only one diffraction pattern from the distribution pattern, interfering them, and judging by the interference obtained, the pattern is measured. The drawing shows a device for implementing the proposed method. The device contains a source of 1 monochromatic radiation, a beam splitter 2, a reference 3 and 4 objects under control, a diameter of 5, a telescopic system 6, mirrors 7 and 8, 9, a telescopic system 10, a translucent mirror 11 and an indicator 12, The device operates as follows. The radiation from source 1 is divided by the beam splitter 2 into reference and controlled channels. The radiation going through the controlled channel diffracts on the controlled object 4. The aperture 5 is inserted into the ethodin of diffraction patterns, which is expanded by the telescopic system 6 and turned by the mirror 7. The radiation transmitted to the reference channel is rotated by the mirror 8 and diffracted by the laa reference object. Some of the diffraction orders are separated by a diaphragm 9 and enter the telescopic system 10. On a translucent mirror
11 соответствующие пор дки дифракции совмещаютс , и на индикаторе 12 наблюдаетс результат их интерференции. В случае равенства эталонного и контролируемого объектов на индикаторе 12 наблюдаетс бесконечно широка полоса интерференции йэ-йа дасутстви угла схождени интерфер1фующих пор дков. При наличай разтншхы в размерах по вл етс угол схождени , Что влечет за собой увеличение частоты интерференционной картины , по кЬторой суд т о величине от клоненн контролируемого объекта от эталоНа ., 711, the respective diffraction orders are combined, and the indicator 12 shows the result of their interference. In the case of equality of the reference and controlled objects on the indicator 12, an infinitely wide interference band is observed, yi-ya, in the presence of the angle of convergence of the interfering orders. When the ratios are in size, the angle of convergence appears, which entails an increase in the frequency of the interference pattern, the second is judged on the value of the cloned controlled object from the reference., 7
735914735914