RU129932U1 - Устройство подачи энергоносителей к магнетрону - Google Patents
Устройство подачи энергоносителей к магнетрону Download PDFInfo
- Publication number
- RU129932U1 RU129932U1 RU2013109755/02U RU2013109755U RU129932U1 RU 129932 U1 RU129932 U1 RU 129932U1 RU 2013109755/02 U RU2013109755/02 U RU 2013109755/02U RU 2013109755 U RU2013109755 U RU 2013109755U RU 129932 U1 RU129932 U1 RU 129932U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- magnetron
- energy
- input
- communications unit
- vacuum
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Устройство подачи энергоносителей к магнетрону, содержащее узел коммуникаций, ввод возвратно-поступательного перемещения узла коммуникаций и трубки подачи энергоносителей, отличающееся тем, что оно снабжено вакуумным коллектором, трубки подачи энергоносителей расположены в узле коммуникаций, выполненном в виде гладкостенной трубы, которая соединена с магнетроном вакуумным коллектором, а с атмосферой соединена вводом возвратно-поступательного перемещения, имеющего плавающую конфигурацию.
Description
Полезная модель относится к области машиностроения, в частности к устройству подачи энергоносителей к магнетрону (магнетронному распылителю) и касается подвода коммуникаций к магнетронному распылителю, предназначенному для распыления материала мишени при нанесении покрытий в вакууме. Более конкретно, полезная модель относится к конструкции узла подвода воды, электрической энергии и газов к магнетронному распылителю, перемещающемуся внутри вакуумной камеры установки для нанесения покрытий.
Известна конструкция системы магнетронных распылителей, перемещающихся на большие расстояния в вакуумной камере на гибких шлангах из пластика (ЗАО "ФЕРРИ-ВАТТ", http://www.magnetron.ru/).
Недостатком конструкции является то, что пластик обладает высоким выделением газа, что приводит к загрязнению вакуумной камеры, и невысокой механической прочностью.
Наиболее близким по технической сущности к полезной модели является техническое решение фирмы VON ARDENNE ANLAGENTECNIK GMBH (Германия), в котором магнетрон закреплен на одном конце сильфонного ввода, а второй конец сильфонного ввода уплотнен по фланцу на стенке вакуумной камеры установки для нанесения покрытий. Гибкие трубы охлаждения и кабель электропитания проходят внутри сильфона и находятся при атмосферном давлении. Недостатком этого решения является ограниченная длина и низкая механическая прочность сильфона при изгибах и растяжениях, которые характерны при длительном постоянном перемещении магнетронов в процессе напыления.
Технический результат, заключающийся в повышении прочности и надежности устройства подвода коммуникаций к магнетронному распылителю, достигается тем, что в известном устройстве подачи энергоносителей к магнетрону, содержащем узел коммуникаций, ввод возвратно-поступательного 1 перемещения узла коммуникаций и трубки подачи энергоносителей отличающимся тем, что оно снабжено вакуумным коллектором, трубки подачи энергоносителей расположены в узле коммуникаций, выполненном в виде гладкостенной трубы, которая соединена с магнетроном вакуумным коллектором, а с атмосферой соединена вводом возвратно-поступательного перемещения, выполненном с плавающей конфигурацией.
Сущность полезной модели поясняется чертежами, где на фиг.1 показан вакуумный коллектор; на фиг.2 показан вакуумный коллектор с трубой коммуникаций; на фиг.3 показана труба коммуникаций с плавающим вводом возвратно-поступательного перемещения.
Устройство подачи энергоносителей к магнетрону, под которым подразумевается устройство катодного распыления материалов в вакууме с использованием источника энергии постоянного и/или переменного тока для нанесения проводящих и/или диэлектрических покрытий на изделия, содержит вакуумный коллектор 1, гладкостенную трубу 2 коммуникаций, ввод 3 с плавающей конфигурацией возвратно-поступательного перемещения гладкостенной трубы 2 коммуникаций и трубки 4 подачи энергоносителей. Вакуумный коллектор 1 состоит из герметичного корпуса 5 из нержавеющей стали в виде короба с охлаждаемой водой крышкой 6. В корпусе 5 установлены уплотнительные вводы 7 с изоляторами 8. Через вводы 7 в корпусе 5 вакуумного коллектора 1 проходят трубки 4 подачи энергоносителей к магнетрону. Внутри вакуумного коллектора 1 трубки 4 подачи энергоносителей соединены с гибкими подводами 9, выходящими из фланца 10 подсоединения гладкостенной трубы 2 коммуникаций, в свою очередь состоящей из гладкостенной трубы 11 из нержавеющей стали, соединенной фланцем 10 с вакуумным коллектором 1. Внутри трубы 11 проходят гибкие армированные шланги 12 отвода охлаждающей жидкости, трубки 13 подачи охлаждения и электропитания с электроизоляционной оболочкой, гибкие трубки подачи газовой среды 14. Ввод 3 с плавающей конфигурацией возвратно-поступательного перемещения гладкостенной трубы 2 коммуникаций состоит из узла уплотнения 15 с подшипниками скольжения, сильфона 16 механической развязки перемещений, пружинного плавающего узла 17 для компенсации несоосности перемещения гладкостенной трубы 2 коммуникаций относительно ввода 3 возвратно-поступательного перемещения.
Устройство подачи энергоносителей к магнетрону работает следующим образом.
Через гибкие армированные шланги 12 отвода охлаждающей жидкости, трубки 13 подачи охлаждения и электропитания с электроизоляционной оболочкой, гибкие трубки подачи газовой среды 14, расположенные в гладкостенной трубе 2 коммуникаций и вакуумном коллекторе 1, на магнетрон подается охлаждающая вода, технологические газы и электрическое напряжение от блока питания. На поверхности мишени магнетрона в скрещенных электрических и магнитных полях зажигается магнетронный разряд, выбивающий атомы из мишени. Распыленный материал осаждается на поверхности изделия, расположенного в вакуумной камере напротив магнетрона. Чтобы покрыть всю поверхность изделия равномерным по толщине пленочным покрытием магнетрон, вакуумный коллектор 1, гладкостенная труба 2 коммуникаций приводятся в возвратно-поступательное движение через ввод 3 возвратно-поступательного перемещения. Для придания специальных свойств покрытиям в процессе осаждения меняется состав газовой среды, режимы работы магнетрона и напряжение смещения на изделии.
Такая конструкция устройства подачи энергоносителей к магнетронному распылителю обеспечивает безопасный в части надежности эксплуатации подвод электропитания, охлаждения и рабочих газов к движущимся магнетронам.
Под энергоносителями подразумевается электрическая энергия, вода, технологические газы. Под коммуникациями подразумеваются трубки и провода для передачи электрической энергии, воды, технологических газов.
Устройство подвода энергоносителей к магнетрону характеризуется следующими параметрами при нанесении пленок нитрида титана: экономия затрат на обслуживание магнетрона до 15%, увеличение срока безотказной работы не менее, чем в 1,3 раза.
Полезная модель может быть использована при производстве ответственных покрытий с низким коэффициентом трения, высокой твердостью и химической стойкостью взамен химических и гальванических покрытий.
Использование полезной модели позволяет уменьшить затраты на обслуживание магнетронного распылителя и увеличить срок его службы.
Claims (1)
- Устройство подачи энергоносителей к магнетрону, содержащее узел коммуникаций, ввод возвратно-поступательного перемещения узла коммуникаций и трубки подачи энергоносителей, отличающееся тем, что оно снабжено вакуумным коллектором, трубки подачи энергоносителей расположены в узле коммуникаций, выполненном в виде гладкостенной трубы, которая соединена с магнетроном вакуумным коллектором, а с атмосферой соединена вводом возвратно-поступательного перемещения, имеющего плавающую конфигурацию.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013109755/02U RU129932U1 (ru) | 2013-03-05 | 2013-03-05 | Устройство подачи энергоносителей к магнетрону |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2013109755/02U RU129932U1 (ru) | 2013-03-05 | 2013-03-05 | Устройство подачи энергоносителей к магнетрону |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU129932U1 true RU129932U1 (ru) | 2013-07-10 |
Family
ID=48787734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013109755/02U RU129932U1 (ru) | 2013-03-05 | 2013-03-05 | Устройство подачи энергоносителей к магнетрону |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU129932U1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU179897U1 (ru) * | 2017-10-17 | 2018-05-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") | Устройство подвода энергоносителей к технологическому распылителю |
-
2013
- 2013-03-05 RU RU2013109755/02U patent/RU129932U1/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU179897U1 (ru) * | 2017-10-17 | 2018-05-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") | Устройство подвода энергоносителей к технологическому распылителю |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105407621B (zh) | 一种紧凑型d‑d中子发生器 | |
CN104220145A (zh) | 用于处理排放流体的装置 | |
RU129932U1 (ru) | Устройство подачи энергоносителей к магнетрону | |
CN104379798A (zh) | 真空旋转装置 | |
CN103436837A (zh) | 改进旋转靶材喷涂系统 | |
CN104894522B (zh) | 真空镀膜装置及镀膜方法 | |
CN204365525U (zh) | 一种小口径不锈钢管喷涂自动生产线 | |
CN215925059U (zh) | 一种用于大长径比金属管材内壁镀膜的磁控溅射装置 | |
RU2663211C2 (ru) | Способ и устройство для создания плазмы, возбуждаемой микроволновой энергией в области электронного циклотронного резонанса (ecr), для осуществления обработки поверхности или нанесения покрытия вокруг нитевидного компонента | |
CN210928112U (zh) | 一种微波等离子体发生装置 | |
TW201129501A (en) | Manufacturing apparatus for depositing a material and an electrode for use therein | |
CN110158056A (zh) | 真空镀膜装置 | |
RU179897U1 (ru) | Устройство подвода энергоносителей к технологическому распылителю | |
CN204174271U (zh) | 一种高效散热的旋转平面靶 | |
CN220306209U (zh) | 一种管式射频真空离化装置 | |
RU127753U1 (ru) | Магнетрон | |
CN100583372C (zh) | 一种带有油浸水冷装置的新型电子枪 | |
CN206304928U (zh) | 一种管状大容积等离子体聚合涂层装置 | |
CN105234130A (zh) | 适用于可扰曲材料的等离子清洗装置 | |
CN104818460A (zh) | 一种高效散热的旋转平面靶 | |
CN105990080B (zh) | 等离子体处理装置 | |
JP7170016B2 (ja) | 成膜装置 | |
CN220597619U (zh) | 一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备 | |
CN208883972U (zh) | 一种热阴极高密度弧光放电离子渗氮设备 | |
CN203613262U (zh) | 浮动电位阳极辉光发射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM9K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20180306 |