CN220597619U - 一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及薄膜沉积技术领域，具体涉及一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备，包括腔体、设置在所述腔体左右两侧的磁流体组件，所述磁流体组件包括磁流体传动轴、套设在所述磁流体传动轴上的绝缘传动轮和盖合在所述绝缘传动轮端部的绝缘端盖，还包括设置在腔体内的载具组件、分别设置在载具组件上方和下方的上靶区和下靶区，腔体左右两侧的磁流体组件与载具组件两端转动连接。本实用新型的一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备，实现防止托盘载具与磁流体传动轴导通发生放电现象，使托盘载具一直处于悬浮电位，有效的避免生产过程中的异常问题，解决打弧不良的问题，提高薄膜生产质量，同时增加托盘传输的稳定性，提高设备的稼动率。
Description
技术领域
本实用新型涉及薄膜沉积技术领域，具体涉及一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备。
背景技术
近年来，随着太阳能电池生产技术的不断进步、生产成本的不断降低以及转换效率的不断提高，使得光伏发电的应用日益广泛并成为电力供应的重要能源。在追逐效率的道路上，高效异质结电池技术路线引起大家的广泛关注。在异质结电池的制作过程中，通常采用PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)工艺沉积ITO(Indium Tin Oxides，铟锡氧化物)薄膜。
PVD制备ITO薄膜的原理是，利用一定能量的离子轰击出靶材原子，并使轰击出来的靶材原子具有一定的动能转移至托盘载具上沉积，进而形成薄膜。然而，轰击出来的靶材原子不仅仅会沉积托盘载具上，还会沉积到PVD设备的成膜腔体的其他非镀膜区域。
现有技术中，PVD设备在生产状态下辉光区会使载具与传动轮导通易发生放电，放电将引起工作区域内异常杂质离子增多，将影响成膜质量，异常放电还可能产生打弧不良等异常问题，影响产品生产质量；同时，在薄膜的沉积过程中，长时间靶材原子溅射到传动结构表面，传动轮表面的O圈将容易产生老化形变脱落等风险，O圈异常后载具将面临打滑，传动位置异常，偏离轨迹等风险。
实用新型内容
为解决上述背景技术中的问题，本实用新型提供一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备，可以防止托盘载具与磁流体传动轴导通发生放电现象，使托盘载具一直处于悬浮电位，有效的避免生产过程中的异常问题，解决打弧不良的问题，提高薄膜生产质量，同时增加托盘传输的稳定性，提高设备的稼动率。
本实用新型采用下述技术方案：
一种绝缘传动装置，包括腔体、设置在腔体左右两侧的磁流体组件，磁流体组件包括磁流体传动轴、套设在磁流体传动轴上的绝缘传动轮和盖合在绝缘传动轮端部的绝缘端盖。
进一步的，磁流体组件还包括不锈钢螺丝，绝缘传动轮通过不锈钢螺丝固定在磁流体传动轴上。
进一步的，磁流体组件还包括绝缘螺丝，绝缘螺丝依次穿过绝缘端盖和绝缘传动轮将绝缘端盖固定在磁流体传动轴上。
一种薄膜沉积设备，包括上述绝缘传动装置，还包括设置在腔体内的载具组件，腔体左右两侧的磁流体组件与载具组件两端转动连接；载具组件包括托盘载具和固定在托盘载具两端的C型钢，绝缘传动轮和绝缘端盖内嵌入C型钢的C形凹槽内。
进一步的，还包括分别设置在载具组件上方的上靶区和设置在载具组件下方的下靶区。
进一步的，绝缘传动轮上间隔套设有若干O型圈，O型圈与C型钢内壁接触。
进一步的，绝缘端盖的端面与C型钢的竖直内面之间具有间隙，间隙的范围为0.5mm-3mm。
进一步的，还包括设置在腔体左右两侧的驱动电机，驱动电机与若干磁流体传动轴之间通过传动带传动连接。
与现有技术相比，本实用新型具有以下技术效果：
(1)本实用新型的一种绝缘传动装置，通过在磁流体传动轴上套设绝缘传动轮以及盖合在绝缘传动轮端部的绝缘端盖，绝缘传动轮将托盘载具和磁流体传动轴之间绝缘，绝缘盖盖合在磁流体传动轴端面，使托盘组件的横向截面与传动轴端部绝缘，防止托盘载具与磁流体传动轴导通发生放电现象，使托盘载具一直处于悬浮电位，有效的避免生产过程中的异常问题，解决打弧不良的问题。
(2)本实用新型的一种薄膜沉积设备，绝缘传动轮和绝缘端盖内嵌入C型钢的C形凹槽内，通过C型钢对O型圈和绝缘传动轮进行保护，防止靶材原子溅射到O型圈和绝缘传动轮表面，提高托盘载具的传输稳定性。
附图说明
为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
图1为本实用新型一种绝缘传动装置中磁流体组件的爆炸图；
图2为本实用新型一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备的总结构示意图(一)；
图3为本实用新型一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备的总结构示意图(二)；
图4为本实用新型一种绝缘传动装置及薄膜沉积设备的俯视图；
图5为本实用新型中磁流体组件和载具组件的结构示意图。
其中，1、腔体；2、磁流体组件；21、磁流体传动轴；22、绝缘传动轮；23、绝缘端盖；24、不锈钢螺丝；25、绝缘螺丝；26、O型圈；3、载具组件；31、C型钢；32、托盘载具；4、驱动电机；5、传动带；6、上靶区；7、下靶区。
具体实施方式
下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通的技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。
下面结合附图1至附图5以及具体实施例详细论述本实用新型：
如图1至图5所示的一种绝缘传动装置，包括腔体1、设置在腔体1左右两侧的磁流体组件2，磁流体组件2包括磁流体传动轴21、套设在磁流体传动轴21上的绝缘传动轮22和盖合在绝缘传动轮22端部的绝缘端盖23一种薄膜沉积设备的绝缘传动装置，包括腔体1、设置在腔体1左右两侧的磁流体组件2以及与左右两侧磁流体组件2传动连接的载具组件3，磁流体组件2包括磁流体传动轴21、套设在磁流体传动轴21上的绝缘传动轮22和盖合在绝缘传动轮22端部的绝缘端盖23，载具组件3端部将绝缘传动轮22和绝缘端盖23包覆；从上靶区6和下靶区7轰击出来的靶材原子会沉积到托盘载具32中承载的待镀膜件硅片的上下表面，形成薄膜；绝缘传动轮22将托盘载具32和磁流体传动轴21之间绝缘，绝缘盖盖合在磁流体传动轴21端面，使托盘组件的横向截面与磁流体传动轴21端部绝缘，防止托盘载具32与磁流体传动轴21导通发生放电现象，使托盘载具32一直处于悬浮电位，有效的避免生产过程中的异常问题，解决打弧不良的问题，提高薄膜生产质量。
具体的，如图1所示，磁流体组件2还包括不锈钢螺丝24，绝缘传动轮22通过不锈钢螺丝24固定在磁流体传动轴21上；保证绝缘传动轮22有一定强度，防止生产过程中绝缘传动轮22的滑脱风险。
具体的，如图1所示，磁流体组件2还包括绝缘螺丝25，绝缘螺丝25依次穿过绝缘端盖23和绝缘传动轮22将绝缘端盖23固定在磁流体传动轴21上磁流体组件2还包括绝缘螺丝25，绝缘螺丝25依次穿过绝缘端盖23和绝缘传动轮22将绝缘端盖23固定在绝缘传动轮22上；绝缘盖和绝缘螺丝25用于将磁流体传动轴21的端面与托盘组件绝缘，绝缘端盖23采用绝缘螺丝25固定密封，防止托盘载具32在传动过程中产生较大的偏移，避免托盘载具32在腔体1卡死的风险，同时绝缘传动轮22和绝缘端盖23安装简单，便于维护保养。
具体的，如图2至图5所示的一种薄膜沉积设备，包括上述绝缘传动装置，还包括设置在腔体1内的载具组件3，腔体1左右两侧的磁流体组件2与载具组件3两端转动连接；载具组件3包括托盘载具32和固定在托盘载具32两端的C型钢31，绝缘传动轮22和绝缘端盖23内嵌入C型钢31的C形凹槽内；绝缘传动轮22上间隔套设有若干O型圈26，O型圈26与C型钢31内壁接触，载具组件3包括托盘载具32和固定在托盘载具32两端的C型钢31，绝缘传动轮22和绝缘端盖23内嵌入C型钢31的C形凹槽内；绝缘传动轮22上间隔套设有O型圈26，C型钢31的环形内壁与O型圈26摩擦接触；优选的，O型圈2626的数量为二，O型圈26采用含氟材料制成，用于支撑C型钢31；在薄膜的沉积过程中，长时间靶材原子溅射到传动结构表面，传动轮表面O圈将容易产生老化形变脱落等风险，O圈异常后载具将面临打滑，传动位置异常，偏离轨迹等风险，通过C型钢31对O型圈26和绝缘传动轮22进行保护，防止靶材原子溅射到O型圈26和绝缘传动轮22表面，提高托盘载具32的传输稳定性。
具体的，如图5所示，绝缘端盖23的端面与C型钢31的竖直内面之间具有间隙，间隙的范围为0.5mm-3mm；设置间隙用于提供托盘载具32传动时左右移动的活动量。
具体的，如图2至图4所示，还包括设置在腔体1左右两侧的驱动电机4，驱动电机4与若干磁流体传动轴21之间通过传动带5传动连接。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
以上借助具体实施例对本实用新型做了进一步描述，但是应该理解的是，这里具体的描述，不应理解为对本实用新型的实质和范围的限定，本领域内的普通技术人员在阅读本说明书后对上述实施例做出的各种修改，都属于本实用新型所保护的范围。
Claims (8)
1.一种绝缘传动装置，其特征在于，包括腔体、设置在所述腔体左右两侧的磁流体组件，所述磁流体组件包括磁流体传动轴、套设在所述磁流体传动轴上的绝缘传动轮和盖合在所述绝缘传动轮端部的绝缘端盖。
2.根据权利要求1中所述的一种绝缘传动装置，其特征在于，所述磁流体组件还包括不锈钢螺丝，所述绝缘传动轮通过不锈钢螺丝固定在所述磁流体传动轴上。
3.根据权利要求2中所述的一种绝缘传动装置，其特征在于，所述磁流体组件还包括绝缘螺丝，所述绝缘螺丝依次穿过所述绝缘端盖和绝缘传动轮将绝缘端盖固定在所述磁流体传动轴上。
4.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括权利要求1-3中任一项中所述的绝缘传动装置，还包括设置在腔体内的载具组件，所述腔体左右两侧的磁流体组件与载具组件两端转动连接；所述载具组件包括托盘载具和固定在所述托盘载具两端的C型钢，所述绝缘传动轮和绝缘端盖内嵌入所述C型钢的C形凹槽内。
5.根据权利要求4中所述的一种薄膜沉积设备，其特征在于，所述绝缘传动轮上间隔套设有若干O型圈，所述O型圈与C型钢内壁接触。
6.根据权利要求4中所述的一种薄膜沉积设备，其特征在于，还包括分别设置在载具组件上方的上靶区和设置在载具组件下方的下靶区。
7.根据权利要求4中所述的一种薄膜沉积设备，其特征在于，所述绝缘端盖的端面与所述C型钢的竖直内面之间具有间隙，所述间隙的范围为0.5mm-3mm。
8.根据权利要求4中所述的一种薄膜沉积设备，其特征在于，还包括设置在腔体左右两侧的驱动电机，所述驱动电机与若干所述磁流体传动轴之间通过传动带传动连接。
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