RU106893U1 - Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния - Google Patents
Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния Download PDFInfo
- Publication number
- RU106893U1 RU106893U1 RU2011107840/05U RU2011107840U RU106893U1 RU 106893 U1 RU106893 U1 RU 106893U1 RU 2011107840/05 U RU2011107840/05 U RU 2011107840/05U RU 2011107840 U RU2011107840 U RU 2011107840U RU 106893 U1 RU106893 U1 RU 106893U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- working gas
- base
- gas supply
- reactor
- polycrystalline silicon
- Prior art date
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния, содержащий основание, колпак, закрепленный на основании, установленные на основании посредством токовводов стержни-затравки, патрубки для подачи рабочего газа, установленные в отверстиях основания и снабженные средством регулирования скорости подачи рабочего газа, объединенные общей системой подачи рабочего газа, отличающийся тем, что средство регулирования скорости подачи рабочего газа выполнено в виде расходной шайбы, установленной в полости патрубка.
Description
Полезная модель относится к устройствам специально предназначенным для выращивания стержней поликристаллического кремния, а именно для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки (основы).
Известен реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния фирмы «Ваккер» (Германия), содержащий основание, колпак, закрепленный на основании, закрепленные на основании посредством токовводов стержни-затравки, патрубки для подачи рабочего газа, установленные в отверстиях основания, и объединенные одной системой подачи рабочего газа. (Фалькевич Э.С. «Технология полупроводникового кремния», М. Металлургия, 1992, с.218-219).
В данном реакторе нет возможности асимметричного регулирования скорости подачи рабочего газа в каждом патрубке индивидуально и, как следствие, дальности подачи рабочего газа в реакционном объеме, что при наличии одной системы подачи рабочего газа с одинаковым давлением не обеспечивает оптимальные условия роста стержней поликристаллического кремния.
Наиболее близким аналогом является реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния, содержащий основание, колпак, закрепленный на основании, установленные на основании посредством токовводов стержни-затравки, патрубки для подачи рабочего газа, установленные в отверстиях основания и снабженные средством регулирования скорости подачи рабочего газа в виде цилиндрического конуса, на верхнем конце которого закреплена сменная насадка, объединенные общей системой подачи рабочего газа (Патент ЕР 2039653, МПК С01В 33/035, 2009-03-25).,
Наличие сменной насадки на каждом патрубке позволяет асимметрично регулировать скорость и дальность подачи рабочего газа, обеспечивая оптимальные условия роста стержней поликристаллического кремния.
Однако, выступающая часть цилиндрического конуса и сменная насадка перегреваются вследствие нахождения в горячей зоне реакционного объема, подвергаются химической эрозии с разрушением основного металла, который является загрязнителем конечного продукта.
Кроме того, выступающая часть цилиндрического конуса и сменная насадка находятся в области циркуляции рабочего газа реакционного объема, рабочий газ изменяет свое направление при столкновении с ними, что отрицательно влияет на общую газодинамику процесса.
Еще одним недостатком является то, что в случае возникновения аварийной ситуации стержни поликристаллического кремния растрескиваются и обрушиваются на основание, при этом происходит деформация выступающих частей средств регулирования скорости подачи рабочего газа и сменных насадок, после чего требуется ремонт реактора.
Техническим результатом, на достижение которого направлена предлагаемая конструкция, является отсутствие влияния на газодинамику процесса средства регулирования скорости подачи рабочего газа и включения примесей в конечный продукт за счет химической эрозии металла.
Технический результат достигается за счет того, что в реакторе для выращивания стержней поликристаллического кремния, содержащем основание, колпак, закрепленный на основании, установленные на основании посредством токовводов стержни-затравки, патрубки для подачи рабочего газа, установленные в отверстиях основания и снабженные средством регулирования скорости подачи рабочего газа, объединенные общей системой подачи рабочего газа, средство регулирования скорости подачи рабочего газа выполнено в виде расходной шайбы, установленной в полости патрубка.
Выполнение средства регулирования скорости подачи рабочего газа в виде расходной шайбы, установленной в полости патрубка для подачи рабочего газа, обеспечивает отсутствие выступающих элементов конструкции в реакционной зоне, что исключает влияние его на газодинамику процесса и включение примесей в конечный продукт за счет химической эрозии металла. Кроме того, не требуется ремонт реактора в случае возникновения аварийной ситуации и обрушения стержней поликристаллического кремния на основание.
На рис.1 общий вид реактора; на рис.2 - вид А на рис.1.
Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния (рис.1) состоит из основания 1, на котором закреплен колпак 2. На основании посредством токовводов закреплены стержни-затравки 3, патрубки 4 для подачи рабочего газа установлены в отверстиях 5 основания и снабжены средством регулирования скорости подачи рабочего газа, выполненного в виде расходной шайбы 6, установленной в полости 7 патрубков (рис.2). Расходная шайба 6 удерживается от перемещения резьбовой гайкой 8. Пропускное сечение расходной шайбы 6 индивидуально подобрано исходя из оптимальных условий роста стержней поликристаллического кремния на основе математического моделирования.
Патрубки 4 объединены общей системой подачи рабочего газа (на рис. не показана).
Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния работает следующим образом. В патрубки 4 устанавливается средство регулирования подачи рабочего газа в виде расходной шайбы 6. Заранее производится расчет пропускного сечения каждой расходной шайбы 7 для возможности асимметричного регулировании скорости подачи рабочего газа в реакционный объем, исходя из оптимальных условий роста стержней поликристаллического кремния. Расходные шайбы 6 устанавливаются в полости 7 патрубков 4 и закрепляются резьбовыми гайками 8. Патрубки устанавливаются в отверстиях 5 основания и подключаются к общей системе подачи рабочего газа (на рис. не показана). Посредством токовводов на основании 1 закрепляются стержни-затравки 3.Устанавливается и крепится к основанию колпак 2.
Через патрубки 4 под постоянным давлением в реакционный объем реактора подается рабочий газ, который, проходя через расходные шайбы 6 с различной скоростью, позволяет создать оптимальные условия распределения рабочего газа по реакционному объему реактора, что обеспечивает равномерный рост стержней поликристаллического кремния.
Claims (1)
- Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния, содержащий основание, колпак, закрепленный на основании, установленные на основании посредством токовводов стержни-затравки, патрубки для подачи рабочего газа, установленные в отверстиях основания и снабженные средством регулирования скорости подачи рабочего газа, объединенные общей системой подачи рабочего газа, отличающийся тем, что средство регулирования скорости подачи рабочего газа выполнено в виде расходной шайбы, установленной в полости патрубка.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011107840/05U RU106893U1 (ru) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011107840/05U RU106893U1 (ru) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU106893U1 true RU106893U1 (ru) | 2011-07-27 |
Family
ID=44753812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011107840/05U RU106893U1 (ru) | 2011-02-28 | 2011-02-28 | Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU106893U1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2581090C2 (ru) * | 2011-11-29 | 2016-04-10 | Син-Эцу Кемикал Ко., Лтд. | Способ получения поликристаллического кремния и реактор для получения поликристаллического кремния |
-
2011
- 2011-02-28 RU RU2011107840/05U patent/RU106893U1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2581090C2 (ru) * | 2011-11-29 | 2016-04-10 | Син-Эцу Кемикал Ко., Лтд. | Способ получения поликристаллического кремния и реактор для получения поликристаллического кремния |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6448816B2 (ja) | 流動床反応器システム用ガス分配装置、前記ガス分配装置を含む流動床反応器システム、および前記流動床反応器システムを利用した粒子状ポリシリコンの製造方法 | |
WO2010076973A3 (ko) | 폴리 실리콘 증착장치 | |
RU106893U1 (ru) | Реактор для выращивания стержней поликристаллического кремния | |
CN102049357B (zh) | 缝隙式喷头冷却装置 | |
CN105803170A (zh) | 一种铝合金筒形件喷淋淬火设备及其使用方法 | |
RU2013149422A (ru) | Система и способы для литья металлических материалов | |
CN105289424A (zh) | 流化床反应器设备的风帽与分布板的装配结构 | |
RU2532215C2 (ru) | Устройство для получения металлического порошка | |
CN201232028Y (zh) | 进气管喷嘴可调节的多晶硅还原炉 | |
CN205043644U (zh) | 一种喷硼源支架 | |
CN103466628B (zh) | 反冲式多晶硅还原炉喷嘴 | |
CN104174670A (zh) | 宽向可变流量的冷却集管 | |
CN210945778U (zh) | 一种具有气流导向功能的沉积炉 | |
EP2723911B1 (en) | Device for generating a gas jet in processes for coating metal strips | |
CN105413239B (zh) | 一种调节液液分相装置分界面的方法及分相装置 | |
CN105668722A (zh) | 一种长效自适应旋转圆锥型电絮凝装置 | |
RU2011108940A (ru) | Способ и устройство для обработки мелкозернистого материала в фонтанирующем слое | |
CN205340225U (zh) | 一种分界面可调的液液连续分相装置 | |
CN213232431U (zh) | 一种高强度钉子用线材退火系统 | |
CN205056307U (zh) | 一种压铸模具喷涂箱 | |
CN207143290U (zh) | 新型在线淬火喷淋环 | |
WO2012099360A3 (ko) | 응집제 투입용 다중 볼텍스 노즐 | |
CN201900052U (zh) | 缝隙式喷头冷却装置 | |
CN207875130U (zh) | 一种自带清洗装置的油墨槽 | |
CN202390334U (zh) | 颗粒复合肥的包膜喷淋装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD1K | Correction of name of utility model owner |