RU103927U1 - Подложка электромагнитно-акустического преобразователя - Google Patents

Подложка электромагнитно-акустического преобразователя Download PDF

Info

Publication number
RU103927U1
RU103927U1 RU2010145032/28U RU2010145032U RU103927U1 RU 103927 U1 RU103927 U1 RU 103927U1 RU 2010145032/28 U RU2010145032/28 U RU 2010145032/28U RU 2010145032 U RU2010145032 U RU 2010145032U RU 103927 U1 RU103927 U1 RU 103927U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
ceramic plate
inductors
housing
ceramic
Prior art date
Application number
RU2010145032/28U
Other languages
English (en)
Inventor
Андрей Васильевич Кириков
Вольдемар Дан
Владимир Александрович Щербаков
Original Assignee
ООО "Нординкрафт Санкт-Петербург"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ООО "Нординкрафт Санкт-Петербург" filed Critical ООО "Нординкрафт Санкт-Петербург"
Priority to RU2010145032/28U priority Critical patent/RU103927U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU103927U1 publication Critical patent/RU103927U1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

1. Подложка электромагнитно-акустического преобразователя, содержащая корпус, концентратор, одну или несколько катушек индуктивности и керамическую пластину, размещенную между подложкой и объектом ультразвукового контроля, содержащая отверстия для выхода сжатого воздуха, питающего «воздушную подушку», с размерами, существенно превышающими размеры катушки или группы катушек индуктивности, и имеющая площадь, соизмеримую с площадью рабочей поверхности подложки, согласованную с ней и объектом контроля по форме, отличающаяся тем, что часть керамической пластины за пределами керамической пластины, прилегающей непосредственно к катушкам индуктивности, выполнена в виде слоя керамики толщиной от 0,5 до 10 мм, образованного на поверхности подложки, непосредственно примыкающей к объекту контроля, например, напылением, нанесенного на всю остальную поверхность подложки, на одном уровне с керамической пластиной, прилегающей к катушкам индуктивности. ! 2. Подложка по п.1, отличающаяся тем, что в корпусе совместно со слоем керамики выполнены отверстия для выхода сжатого воздуха, питающего «воздушную подушку».

Description

Полезная модель относится к области неразрушающего, в частности, ультразвукового контроля материалов и изделий и может быть использована для контроля листового и сортового проката, а также труб.
Известен электромагнитно-акустический преобразователь (ЭМАП) [1], включающий индуктор или группу индукторов, корпус, выполненный из неферромагнитного металла, а также диэлектрический, чаще керамический протектор, вклеенный в корпус в районе индукторов. Известный преобразователь содержит корпус, индуктор и протектор в виде керамической пластины, предназначенный для защиты от повреждений индуктора. Протектор защищает от механических повреждений только индуктор и имеет, как правило, сравнительно небольшие размеры, сопоставимые с размером индуктора или группы индукторов и согласованную с индукторами форму.
Известен ЭМАП, в котором корпус в центральной части выполнен в виде цилиндра с отверстиями для концентраторов, снабженный пластиной из немагнитного материала, к которой прикреплена подложка, к которой приклеена керамическая пластина для защиты катушек индуктивности от механических повреждений при контакте подложки с объектом контроля [2].
Известен ЭМАП, содержащий корпус, в котором постоянные магниты смонтированы в обойме, вставленной в цилиндрический барабан. Барабан, магниты и обойма со стороны подложки с концентратором выполнены по окружности с общим радиусом, совпадающим с радиусом отверстия в корпусе, в которое вставлен барабан. В центральное отверстие подложки вклеена керамическая пластина для защиты катушки индуктивности от механических повреждений [3].
Известен ЭМАП, содержащий корпус с подложкой, по меньшей мере, один индуктор и закрывающий его с нижней стороны подложки протектор в виде керамической пластины (отдельной детали). В подложке выполнены отверстия для подачи воздуха, образующего в процессе функционирования воздушную подушку между нижней поверхностью подложки и объектом контроля. Керамическая пластина (отдельная деталь) расположена на нижней поверхности подложки и выполнена таких размеров, что ее внешний контур охватывает отверстия в подложке, при этом в указанной керамической пластине выполнены отверстия, соосные отверстиям в корпусе, площадь керамической пластины равна площади нижней поверхности подложки, а ее форма совпадает с формой нижней поверхности подложки, при этом керамическая пластина (отдельная деталь), жестко прикреплена к нижней поверхности подложки, например, приклеена. Кроме того, толщина керамической пластины постоянна и составляет от 0,1 до 5 мм в зависимости от типа и размеров индуктора, типа и свойств возбуждаемых и/или принимаемых упругих колебаний, внешних условий и требуемой чувствительности ультразвукового контроля, в подложке выполнены отверстия для подачи воздуха, образующего в процессе функционирования воздушную подушку между подложкой и объектом контроля. Подложка может быть выполнена из керамики за одно целое с протектором, который (отдельная деталь) приклеен к подложке [4].
К общему недостатку перечисленных выше известных ЭМАП, как показала их эксплуатация в промышленных установках, относится следующее. Рабочая плоскость протектора (керамической пластины под катушками индуктивности), как правило, находится на одном уровне с рабочей поверхностью корпуса, или несколько утоплена в него. Можно сказать, что протектор находится внутри подложки, «вклеен» в нее. Его рабочую поверхность, как правило, не требуется согласовывать с формой поверхности объекта контроля ввиду малости размеров протектора.
При таком подходе минимизация размеров протектора снижает протяженность его контура, контактирующего и взаимодействующего с корпусом, и в целом благоприятно сказывается на продолжительности работы ЭМАП. Уменьшение размеров корпуса, однако, ограничено размерами индуктора или группы индукторов.
Согласованная по форме с объектом контроля подложка содержит отверстия для выхода сжатого воздуха, и ответственна за формирование воздушной подушки. В известном преобразователе основным элементом, формирующим воздушную подушку и определяющим эффективность ее работы, является подложка. Форма рабочей поверхности подложки всегда согласована с объектом контроля, поскольку подложка является элементом ЭМАП, с геометрической точки зрения наиболее приближенным к объекту контроля в ходе проведения ультразвукового контроля.
Недостатком таких ЭМАП является также сравнительно высокий уровень акустических помех, обусловленный проявлениями паразитной акустической связи между индукторами и протектором и малыми размерами протектора. и их сравнительно низкая помехозащищенность, обусловленная проявлениями паразитной электромагнитной связи между металлическими деталями преобразователя (подложкой) и объектом контроля.
К недостатку известного ЭМАП [4], протектор которого по размерам и форме согласован с индуктором или группой индукторов, является низкая механическая, температурная и эрозионная стойкость такой конструкции. Хотя воздушная подушка предназначена для эффективной защиты преобразователя от действия температуры и истирания, контролируемый металл может иметь неровности, выступающие дефекты на поверхности и отклонения формы от номинала. Это определяет возможность прямого механического контакта ЭМАП с изделием и, как следствие, его повреждение. Кроме того, срываемые потоком формирующего воздушную подушку сжатого воздуха твердые частицы окалины, разгоняясь до высоких скоростей, оказывают эрозионное, разрушающее воздействие на рабочую поверхность преобразователя.
Металл подложки является во всех практически значимых случаях материалом более мягким по сравнению с керамикой, из которой изготовлен протектор. Царапины, ссадины локальные истирания резко снижают эффективность воздушной подушки. Различие физических свойств материалов, находящихся в зоне воздушной подушки определяет неравномерный механический и эрозионный износ преобразователя. Особенно интенсивной эрозии подвержено клеевое соединение между контуром керамики и подложкой. При осуществлении высокотемпературного ультразвукового контроля циклы «нагрев-охлаждение» также отрицательно влияют на срок службы ЭМАП из-за различия в коэффициентах расширения применяемых материалов.
Задачей изобретения (полезной модели) являются существенное повышение чувствительности, помехозащищенности и достоверности ультразвукового контроля за счет снижения отрицательного влияния акустической связи между индуктором и протектором, уменьшения электрической и электромагнитной связи между преобразователем и объектом контроля и снижения уровня электрических и электромагнитных помех, обусловленных этой связью. Другой задачей изобретения (полезной модели) является существенное повышение технологичности изготовления преобразователя и улучшение его эксплуатационных свойств за счет улучшения эффективности воздушной подушки, повышения механической прочности и эрозионной стойкости преобразователя.
Указанная задача решается тем, что в подложке электромагнитно-акустического преобразователя, содержащей корпус, концентратор, одну или несколько катушек индуктивности и керамическую пластину, размещенную между подложкой и объектом ультразвукового контроля, содержащей отверстия для выхода сжатого воздуха, питающего «воздушную подушку», с размерами, существенно превышающими размеры катушки или группы катушек индуктивности и имеющей площадь, соизмеримую с площадью рабочей поверхности подложки, согласованную с ней и объектом контроля по форме, часть керамической пластины за пределами керамической пластины, прилегающей непосредственно к катушкам индуктивности выполнена в виде слоя керамики толщиной от 0,5 до 10 мм, образованного на поверхности подложки, непосредственно примыкающей к объекту контроля, например, напылением, нанесенного на всю остальную поверхность подложки, на одном уровне с керамической пластиной, прилегающей к катушкам индуктивности, а в корпусе совместно со слоем керамики выполнены отверстия для выхода сжатого воздуха, питающего «воздушную подушку».
Конструкция предлагаемой подложки поясняется рисунком на фиг.1. Подложка содержит корпус 1, концентратор 2, катушку индуктивности 3, залитую клеем 4, керамическую пластину 5 непосредственно примыкающую к катушке (или катушкам) индуктивности 3, керамический слой 6, нанесенный, например, напылением, на всю остальную поверхность подложки, непосредственно примыкающую к объекту контроля, на одном уроне с керамической пластиной 5. В корпусе 1 совместно со слоем керамики 6 выполнены отверстия 7 для выхода сжатого воздуха, питающего «воздушную подушку».
Предлагаемая подложка ЭМАП обладает высокой стойкостью, характерной для керамических подложек, не является хрупкой и сохраняет великолепные свойства электромагнитного экрана. Современные технологии керамического напыления, позволяют получить слой керамики на поверхности подложки ЭМАП любой толщины. Слой керамики внедряется в металл на диффузионном уровне и обеспечивает отличную эрозионную стойкость подложки и стойкость к истиранию или повреждениям со стороны локальных дефектов поверхности контролируемого материала, а также стойкость к ударам.
Предлагаемая подложка ЭМАП отлично зарекомендовала себя на практике, Срок службы ЭМАП возрос в среднем в 4,5 раза по сравнению с металлическими подложками и в 1,7 раза по сравнению с керамическими пластинами, прикрепляемых к поверхности подложек с помощью клея, или расположенных только под катушками индуктивности.
Источники информации
1. Патент РФ №2295125
2. Патент РФ №2247979
3. Патент РФ №2300763
4. Патент РФ №2348927

Claims (2)

1. Подложка электромагнитно-акустического преобразователя, содержащая корпус, концентратор, одну или несколько катушек индуктивности и керамическую пластину, размещенную между подложкой и объектом ультразвукового контроля, содержащая отверстия для выхода сжатого воздуха, питающего «воздушную подушку», с размерами, существенно превышающими размеры катушки или группы катушек индуктивности, и имеющая площадь, соизмеримую с площадью рабочей поверхности подложки, согласованную с ней и объектом контроля по форме, отличающаяся тем, что часть керамической пластины за пределами керамической пластины, прилегающей непосредственно к катушкам индуктивности, выполнена в виде слоя керамики толщиной от 0,5 до 10 мм, образованного на поверхности подложки, непосредственно примыкающей к объекту контроля, например, напылением, нанесенного на всю остальную поверхность подложки, на одном уровне с керамической пластиной, прилегающей к катушкам индуктивности.
2. Подложка по п.1, отличающаяся тем, что в корпусе совместно со слоем керамики выполнены отверстия для выхода сжатого воздуха, питающего «воздушную подушку».
Figure 00000001
RU2010145032/28U 2010-11-08 2010-11-08 Подложка электромагнитно-акустического преобразователя RU103927U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010145032/28U RU103927U1 (ru) 2010-11-08 2010-11-08 Подложка электромагнитно-акустического преобразователя

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010145032/28U RU103927U1 (ru) 2010-11-08 2010-11-08 Подложка электромагнитно-акустического преобразователя

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU103927U1 true RU103927U1 (ru) 2011-04-27

Family

ID=44731967

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010145032/28U RU103927U1 (ru) 2010-11-08 2010-11-08 Подложка электромагнитно-акустического преобразователя

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU103927U1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5225041B2 (ja) 静電チャック
JP6001675B2 (ja) 載置用部材およびその製造方法
US11473182B2 (en) Component for use in plasma processing apparatus, plasma processing apparatus, and method for manufacturing the component
JP6437586B2 (ja) 薄層の厚さを測定する測定プローブ及び測定プローブのセンサ要素の製造方法
US11400604B2 (en) Gripping device with monitoring of the operating state thereof
RU2011150616A (ru) Формованные абразивные частицы с низким коэффициентом округлости
JP6141879B2 (ja) 吸着部材およびそれを用いた吸着装置
JP2010205813A5 (ru)
TW200732052A (en) Cleaning sheet, transfer member provided with cleaning function, and method for cleaning substrate processing apparatus
RU103927U1 (ru) Подложка электромагнитно-акустического преобразователя
CN105274465A (zh) 真空镀膜腔内部件洁净粗糙表面的再生方法
CN102226784A (zh) 一种超声波探头
JP6109032B2 (ja) 半導体試験治具およびその搬送治具、ならびにそれらを用いた異物除去方法
WO2008143548A1 (ru) Электромагнитно-акустический преобразователь
RU112433U1 (ru) Подложка электромагнитно-акустического преобразователя
CN116917639A (zh) 用于机动车的轮组件
CN102191446A (zh) 提高基体与陶瓷涂层结合强度的工艺
CN201179618Y (zh) 砂盘
CN211193454U (zh) 一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头
CN210604513U (zh) 一种防更换探头保护膜
EP3793774A1 (en) Grinding wheel
KR100766132B1 (ko) 가스 분산판 및 그 제조방법
CN107245716A (zh) 一种金属材料表面处理工艺
CN202137017U (zh) 一种低噪干粉球磨机
JP5083280B2 (ja) 渦電流探傷用マルチコイルプローブ

Legal Events

Date Code Title Description
QB1K Licence on use of utility model

Free format text: LICENCE

Effective date: 20150130