RO125876A2 - Procedeu pentru generarea micro şi nano-structurilor - Google Patents

Procedeu pentru generarea micro şi nano-structurilor Download PDF

Info

Publication number
RO125876A2
RO125876A2 ROA200900137A RO200900137A RO125876A2 RO 125876 A2 RO125876 A2 RO 125876A2 RO A200900137 A ROA200900137 A RO A200900137A RO 200900137 A RO200900137 A RO 200900137A RO 125876 A2 RO125876 A2 RO 125876A2
Authority
RO
Romania
Prior art keywords
pixels
micro
nano
structures
exposure
Prior art date
Application number
ROA200900137A
Other languages
English (en)
Other versions
RO125876B1 (ro
Inventor
Mihail Anton Necşulescu
Original Assignee
Zoom Soft S.R.L.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zoom Soft S.R.L. filed Critical Zoom Soft S.R.L.
Priority to ROA200900137A priority Critical patent/RO125876B1/ro
Publication of RO125876A2 publication Critical patent/RO125876A2/ro
Publication of RO125876B1 publication Critical patent/RO125876B1/ro

Links

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

Prezenta invenţie se referă la un procedeu pentru generarea micro- şi nanostructurilor destinate realizării unor elemente de siguranţă pentru documente de valoare, pentru marcarea unor produse în scopul combaterii fenomenului de contrafacere şi altele asemenea. Procedeul conform invenţiei constă din generarea, pe un mediu de înregistrare optic, a unor pixeli care alcătuiesc o imagine, pixeli cu micro şi nanostructuri caracteristice, realizată printr-o serie de paşi succesivi, în fiecare pas efectuându-se expunerea simultană la radiaţii ultraviolete a unui grup de pixeli cu structură identică, numărul de paşi asigurând expunerea tuturor pixelilor care alcătuiesc imaginea, procedeul fiind aplicat prin folosirea unui dispozitiv de expunere la radiaţii UV cu dispozitiv digital cu micro-oglinzi (DMD) care iluminează selectiv pixelii, selectaţi de un program de calculator, şi una sau mai multe măşti optice, aflate în contact cu suprafaţa mediului de înregistrare, fiecare mască având un desen specific şi fiind aşezată într-o poziţie determinată, pentru a imprima o micro- sau nanostructură specifică pixelilor respectivi.

Description

PROCEDEU PENTRU GENERAREA MICRO- ȘI NANO-STRUCTURILOR
Invenția se referă la un procedeu pentru generarea micro- și nano-structurilor, inclusiv a elementelor optic variabile, pe un mediu de înregistrare optic, cum este fotorezistul și emulsia fotografică.
Domeniul tehnic la care se referă invenția este realizarea elementelor de siguranță pentru documente de valoare, a etichetelor pentru marcarea produselor originale a căror contrafacere se dorește a fi preîntâmpinată și altele.
Este cunoscută folosirea micro- și nano-structurilor imprimate în relief pentru reproducerea unor imagini, caractere alfanumerice cu dimensiuni obișnuite sau microscopice, holograme ce permit reconstituirea unor imagini sub acțiunea radiației laser ș.a. De asemenea, cu ajutorul micro- și nano-structurilor se pot realiza elemente optic variabile, la care prin fenomenul de difracție a luminii se schimbă culoarea suprafeței atunci când aceasta este înclinată sau rotită, ori se pot crea irizații sau efecte de relief. Datorită tehnologiei sofisticate folosite, copierea sau falsificarea acestor microreliefuri este dificilă, de unde rezultă aplicațiile în realizarea de elemente de siguranță.
Conform procedeelor cunoscute (de exemplu US Pat. 4874213, EP 1691220 Al), realizarea prin mijloace optice a micro- și nano-structurilor în relief presupune mai multe etape. Mai întâi se face expunerea unui mediu de înregistrare (de exemplu fotorezist) la radiații ultraviolete sau la lumină, de exemplu cu ajutorul unui dispozitiv digital cu microoglinzi (Digital Micromirror Device - DMD) care expune imaginea pixel cu pixel, iar prin interferență în momentul expunerii se crează o micro- sau nano-structură specifică pe suprafața fiecărui pixel (franje de interferență). Ca rezultat al expunerii se formează o imagine latentă a reliefului care urmează a fi obținut. După o prelucrare adecvată (developare, corodare), pe mediul de înregistrare se crează un microrelief corespunzător intensității radiației care a acționat. în etapele ulterioare se face copierea microreliefului pe un strat metalic dur, numit matriță, care servește apoi la imprimarea în serie pe materiale deformabile sub acțiunea presiunii și căldurii.
Principalul dezavantaj al soluției prezentate anterior constă în viteza redusă cu care se face expunerea mediului de înregistrare, efectuată pixel cu pixel, timpul total de lucru putând ajunge la zeci de ore în cazul imaginilor cu milioane de pixeli.
Problema tehnică pe care o rezolvă invenția constă în mărirea vitezei de execuție a expunerii.
<^-2009-00137-1 2 -02- 2009
Procedeul pentru generarea micro- și nano-structurilor conform invenției rezolvă problema tehnică menționată, prin faptul că se efectuează expuneri simultane ale unor grupuri de pixeli, selectați de un dispozitiv digital cu microoglinzi, pixeli cărora li se transferă microsau nano-structura unei măști de contact.
Invenția va fi prezentată în continuare, în legătură și cu figurile 1 (a) la (Ic), care prezintă o serie de reprezentări schematice în perspectivă ale expunerii unui mediu de înregistrare optică ca exemplu de aplicare a procedeului din invenție.
Procedeul pentru generarea de micro- și nano-structuri din invenție constă în expunerea simultană a tuturor pixelilor dintr-o imagine care au structură identică. în acest scop se folosește combinația dintre un DMD și una sau mai multe măști de contact.
Un calculator care comandă DMD-ul stabilește pixelii care se expun în fiecare etapă, printr-o mască anume și cu o anumită orientare, pixeli care vor copia micro- sau nano-structura măștii de contact.
în etape succesive se expun astfel toți pixelii imaginii, în grupuri de pixeli care trebuie să aibă micro- sau nano-structuri identice. Efectele optice obținute depind atât de orientarea măștii, cât și de caracterisicile geometrice ale modelului măștii. De aceea la fiecare expunere se rotește masca pentru a schimba orientarea structurilor sau se folosește altă mască.
O secvență de lucru a procedeului pentru generarea de micro- și nano-structuri, inclusiv elemente optic variabile, prin expunere succesivă a grupurilor de pixeli prin măști de contact, este descrisă în cele ce urmează. Ea este ilustrată cu titlu de exemplu în Fig. 1 (a) la 1 (c).
Un cap optic 1 ce conține un DMD, la o primă expunere (fig. la) iluminează cu radiații ultraviolete zonele unde se vor crea pixelii identici 2 (marcați cu negru în desen) pe mediul de înregistrare optică 3. Datorită măștii 4 aplicate prin contact apropiat pe stratul fotosensibil, pe fiecare pixel 2 se transferă micro- sau nano-structura măștii 4, care în exemplul nostru constă într-o rețea de linii paralele de tipul ilustrat în detaliul 5.
La o altă expunere a materialului fotosensibil (fig. 1b), se poate folosi aceiași mască 4 dar într-o poziție rotită; se expun de această dată pixelii 6 (marcați cu negru în desen), ilustrați în detaliul 7. La o altă expunere (fig. Ic) masca 4 se poate înlocuit cu o alta, în exemplul nostru având alt pas al rețelei și altă grosime a liniilor; sunt expuși pixelii 8 a căror structură este ilustrată în detaliul 9.
După epuizarea tuturor pixelilor imaginii, succesiv în grupuri de pixeli cu structură identică, expunerea mediului de înregistrare este completă.
După developarea materialului fotosensibil și îndepărtarea zonelor expuse sau neexpuse, pe suprafața acestuia se crează pixelii cu micro- sau nanorelieful transferat de pe măști.

Claims (1)

  1. ^“2 009-00137-1 2 -02- 2009
    PROCEDEU PENTRU GENERAREA MICRO- ȘI NANO-STRUCTURILOR
    Revendicări:
    1. Procedeu pentru generarea de micro- și nano-structuri, inclusiv elemente optic variabile, pe un mediu de înregistrare optic, procedeu caracterizat prin aceea că se efectuează expuneri simultane ale unor grupuri de pixeli, selectați de un dispozitiv digital cu microoglinzi, pixeli cărora li se conferă micro- sau nano-structuri specifice prin intermediul unor măști de contact.
ROA200900137A 2009-02-12 2009-02-12 PROCEDEU PENTRU GENERAREA MICRO- Șl NANOSTRUCTURILOR RO125876B1 (ro)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ROA200900137A RO125876B1 (ro) 2009-02-12 2009-02-12 PROCEDEU PENTRU GENERAREA MICRO- Șl NANOSTRUCTURILOR

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ROA200900137A RO125876B1 (ro) 2009-02-12 2009-02-12 PROCEDEU PENTRU GENERAREA MICRO- Șl NANOSTRUCTURILOR

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RO125876A2 true RO125876A2 (ro) 2010-11-30
RO125876B1 RO125876B1 (ro) 2016-09-30

Family

ID=56985370

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ROA200900137A RO125876B1 (ro) 2009-02-12 2009-02-12 PROCEDEU PENTRU GENERAREA MICRO- Șl NANOSTRUCTURILOR

Country Status (1)

Country Link
RO (1) RO125876B1 (ro)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108549198A (zh) * 2018-03-30 2018-09-18 深圳摩方新材科技有限公司 一种跨尺度微纳制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
RO125876B1 (ro) 2016-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW571571B (en) An optical proximity correction method utilizing ruled ladder bars as sub-resolution assist features
TWI261732B (en) Composite optical lithography method for patterning lines of significantly different widths
TWI307828B (en) Optical lithography system and method
Jia et al. Pixelated source mask optimization for process robustness in optical lithography
US20020146627A1 (en) Fabricating optical elements using a photoresist formed from proximity printing of a gray level mask
US6528238B1 (en) Methods for making patterns in radiation sensitive polymers
CN100576080C (zh) 空间光调制器直接写入器
CN101713919B (zh) 多级灰度光掩模及其制造方法
US9753364B2 (en) Producing resist layers using fine segmentation
JP2006520010A (ja) 露光基体の作製方法
RO125876A2 (ro) Procedeu pentru generarea micro şi nano-structurilor
JP6140954B2 (ja) マスクデータ作成方法、それを実行するプログラムおよび情報処理装置
CN103676497A (zh) 半导体芯片制造中产品上焦距偏移的计量方法和结构
RU2008133974A (ru) Оптически изменяемое защитное устройство
CN103246160B (zh) 缩微文字图画的制作方法
JPH05509177A (ja) 印刷部材
EP1197802B1 (en) Method of optical proximity correction
CN1741095A (zh) 含有缩微文字的微型防伪金属片
JP4535422B2 (ja) 位相変調型ホログラムの作製方法
US20150085266A1 (en) Differential dose and focus monitor
KR101648542B1 (ko) 레이저 노광 방법 및 제품
KR100643422B1 (ko) 리소그래피 장치 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
TW201500839A (zh) 製造具有柔版印刷的光罩的方法
US20250060672A1 (en) Photolithography method using castellation shaped assist features to form a line-and-space pattern and photomask containing the assist features
JP2674400B2 (ja) パターン形成方法とホトマスク