PL98749B1 - Glowica ze sterowana sonda pomiarowa - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest glowica ze sterowana sonda pomiarowa, stosowana do kontroli miedzyoperacyjnej parametrów elektrycznych, ukladów scalonych i elementów dyskretnych.

Znane dotychczas glowice z sondami pomiarowymi sa wyposazone w igly pomiarowe, osadzone suwliwie w ruchomym korpusie sondy i dociskane bezposrednio za pomoca sprezyn lub przez uklady dzwigniowe. Sondy tych glowic sa opuszczane i podnoszone recznie, a szybkosc opuszczania sond az do styku igiel z mikroelementami zalezy od operatorów. Napiecie elektryczne jest przylozone na igle stale lub jest wlaczane po opuszczeniu sondy i wylaczane przed jej podniesieniem. Glowice takie sa stosowane pojedynczo lub wielokrotnie, w procesach technologicznych przy masowym wytwarzaniu mikroelementów.

Niedogodnoscia tych glowic jest to, ze ich sondy nie zachowuja stale i w sposób powtarzalny ustalonych sil nacisku igiel na mikroelementy. Niekontrolowana szybkosc opuszczania sondy, powoduje uderzenia ostrza igly w strukture mikroelementu. Napiecie przylozone stale na igly, wytwarza w chwili zblizenia sie ostrza igly do powierzchni mikroelementu powstawanie szkodliwego mikroluku elektrycznego. Brak sprzezenia ramion sond z innymi zespolami stanowiska pomiarowego uniemozliwia automatyzacje jej pracy.

Celem wynalazku jest usuniecie tych wad i wykonanie glowicy, która pozwoli na kontrolowany nacisk sondy z zamocowana do niej igla lub zespolem igiel pomiarowych na powierzchnie mikroelementu, oraz automatyczne sterowanie jej ruchem pomiarowym.

Glowica ze sterowana sonda pomiarowa wedlug wynalazku sklada sie z korpusu, w którym jest osadzone ramie w postaci plaskiej sprezyny z zamocowana sonda pomiarowa na drugim jego koncu. Sonda pomiarowa jest zaopatrzona w igle lub zespól igiel. Ramie sondy jest sterowane automatycznie krzywka poruszana za pomoca mikrosilnika elektrycznego zamocowanego na korpusie. Pionowy ruch konca ramienia wraz z sonda jest uzalezniony od kierunku obrotowego krzywki i sprezystosci ramienia. W srodkowej czesci ramienia od dolnej strony sa zamocowane styki elektryczne sluzace do wlaczania mikrosilnika. Wstepne naprezenie sprezyny ramienia potrzebne do rozwarcia styków wlacznika, wlaczajacych mikrosilnik jest regulowane wkretem.

Polozenie ramienia w górnej pozycji jest sygnalizowane wlacznikiem uruchamianym posrednio przez ^krzywke.2 98 749 Ustawienie ramienia wraz z sonda w zadanym polozeniu odbywa sie przez zmiane kierunku obrotu krzywki realizowanym przez mikrosilnik na sygnal ukladu programujacego.

Drugim przykladem rozwiazania konstrukcyjnego wedlug wynalazku jest glowica z automatycznie sterowana sonda pomiarowa skladajaca sie z korpusu i zamocowanej na nim dwuramiennej dzwigni, opartej na lozysku nozowym. Na jednym koncu dzwigni jest zamocowana sonda a na drugim przeciwwaga sondy. Ruch pionowy konca dzwigni wraz z sonda jest sterowany za pomoca urzadzenia skladajacego sie z elektromagnesu, amortyzatora hydraulicznego i metalowych laczników. Amortyzator hydrauliczny sklada sie z cylindra, w którym jest umieszczony tloczek z zaworem zwrotnym, którego grzybek jest zamocowany przegubowo na ruchomym rdzeniu elektromagnesu. Ruch rdzenia w dól powodu /mkniecie zaworu zwrotnego, co powoduje przeplyw cieczy wypelniajacej cylinder przez dlawik.

Glowice wykonane wedlug wynalazku umozliwiaja automatyczna kontrole ruchu i nacisku sondy na okreslona powierzchnie mikroelementu, co pozwala na dobór takich warunków przy których jest zapewniony dobry kontakt elektryczny bez uszkodzenia mierzonej powierzchni elementu oraz dobranie odpowiedniego nacisku igly wdanym procesie technologicznym.

Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony na zalaczonym rysunku, na którym fig. 1 i fig. 1a przedstawiaja schemat blokowy glowicy z podniesiona i opuszczona w dól sonda, a fig. 2 — uproszczony schemat blokowy drugiego przykladu rozwiazania konstrukcji glowicy.

Glowica sklada sie z korpusu 1, w którym jest zamocowana plaska sprezyna 2 stanowiaca ramie 11 z osadzona na jego koncu sonda pomiarowa 4. Na srodkowej czesci ramienia od dolnej strony jest zamocowana plytka 6 ze stykiem 7, która wraz ze stykiem 8 stanowi wlacznik mikrosilnika. Ruch ramienia 11 w dól jest powodowany obrotem krzywki 9 poruszanej przez mikrosilnik, wyposazony w hamulec elektromagnetyczny.

Górne polozenie ramienia jest sygnalizowane za pomoca mikrowlacznika 3 uruchamianego posrednio przez krzywke 40.

Uruchomienie mikrosilnika powoduje obrót krzywki 9, która obniza ramie az do zetkniecia sie igly sondy 4 z powierzchnia mikroelementu 12. Pod wplywem nacisku krzywki ramie 5 ugina sie, plytka 6 odchyla sie i nastepuje rozwarcie styków 7 i 8, co powoduje zatrzymanie mikrosilnika. Naprezenie czesci ramienia 5, które naciska igle sondy na element mierzony jest regulowane wkretem 13. Podniesienie ramienia z sonda odbywa sie przez zmiane kierunku obrotu krzywki realizowanym przez mikrosilnik na sygnal ukladu programujacego.

Fig. 2 przedstawia uproszczony schemat blokowy drugiego przykladu rozwiazania konstrukcji glowicy wedlug wynalazku. Glowica sklada sie z korpusu i zamocowanej na nim dwuramiennej dzwigni 15 opartej na lozysku nozowym 16. Na jednym koncu dzwigni jest zamocowana sonda 14 a na drugim przeciwwaga 17 sondy.

Ruch pionowy konca dzwigni wraz z sonda jest sterowany za pomoca urzadzenia skladajacego sie z elektromagnesu 18 amortyzatora hydraulicznego 19, który umozliwia szybkie, a nastepnie wolne opuszczanie ramienia wraz z sonda oraz jego szybkie podniesienie. W cylindrze amortyzatora 19 znajduje sie tloczek 20 z zaworem zwrotnym, którego grzybek 21 jest zamocowany przegubowo na ruchomym rdzeniu elektromagnesu 22. Ruch rdzenia w dól powoduje zamkniecie zaworu zwrotnego powodujac przeplyw cieczy przez dlawik 23.

Claims (3)

Zastrzezeniapatentowe

1. Glowica ze sterowana sonda pomiarowa wyposazona w igly pomiarowe, osadzone suwliwie w ruchomym korpusie sondy, podnoszona i opuszczana recznie na mierzony mikroelement, znamienna tym, ze jest wyposazona w urzadzenie do automatycznego sterowania sonda (4) zamocowana na ramieniu (11), poruszanym krzywka (9) napedzana mikrosilnikiem elektrycznym wlaczanym wlacznikiem o stykach (7 i 8) zamocowanym od dolnej strony ramienia, którego naprezenia potrzebne do rozwarcia styków (7 i 8) jest regulowane wkretem (13).

2. Glowica wedlug zastrz. 1,znamienna ty m, ze urzadzenie do automatycznego sterowania sonda (14) zamocowana na dwuramiennej dzwigni (15) sklada sie z elektromagnesu (18) i amortyzatora hydraulicznego (19).

3. Glowica wedlug zastrz. 2, znamienna tym, ze w cylindrze amortyzatora (19) znajduje sie tlo¬ czek (20) z zaworem zwrotnym, którego grzybek (21) jest zamocowany przegubowo na rdzeniu elektroma¬ gnesu (22).98 749 3 11 10 9 /3 IZ Fig. 1 3 11 W 9 \l \l\l\l ml 12 Fig. 1a.98 749 j7j MJ Fig.2 Prac. Poligraf. UP PRL naklad 120+18 Cena 45 zl