PL89161B1 - - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest manipulator do pomiaru rezystywnosci materialów pólprzewodnikowych, zwlaszcza w ksztalcie plytek i pretów.W publikacji: Sikorski Stanislaw, Stolarski Edward, Soltys Zdzislaw, Piotrowski Tadeusz: Przyrzad do pomiaru opornosci wlasciwej pólprzewodników, Archiwum Elektrotechniki, t.Xvlll, 1 969, na stronie 211-216 podano blizej sposób pomiaru rezystywnosci.Znana dotychczas konstrukcja manipulatora sklada sie z kolumny mocowanej nierozdzielnie z plyta nosna.Do kolumny zamocowana jest rozdzielnie sonda pomiarowa czteroostrzowa za posrednictwem przesuwu mikro-makro, mocowanego nierozlacznie do kolumny, umozliwiajacego przemieszczenie sondy w kierunku piono¬ wym do plyty nosnej. Do tej plyty jest mocowany rozlacznie walcowany element konstrukcyjny, na którym umieszczona jest badana plytka materialu pólprzewodnikowego. Usytuowanie tego walcowego elementu konstrukcyjnego jest takie, aby ostrza sondy pomiarowej trafily w srodek jego górnej plaszczyzny. W przypadku badania materialów pólprzewodnikowych w ksztalcie pretów omawiany walcowy element konstrukcyjny zostaje usuniety, zss do mocowania i manipulacji preta sluza zaciski mechaniczne stanowiace oddzielny element konstrukcyjny manipulatora. Zaciski te osadzone sa przesuwnie w prowadnicach na szynie zamocowanej nierozdzielnie do plyty nosnej. Szyna ta wyposazona jest w pokretlo do regulowania wielkosci przesuniecia preta w plaszczyznie poziomej. « Manipulator pozwala na okreslenie parametrów badanego materialu tylko w wyznaczonych punktach na plaszczyznie. Konstrukcja manipulatora umozliwia dokladne badanie materialu we wszystkich punktach plaszczyzn x-y. Badanie rozkladu rezystywnosci materialu pólprzewodnikowego na plaszczyznie jest w tym przypadku umozliwione.W celu umozliwienia badania materialu w dwu prostopadlych osiach opracowano manipulator do pomiaru rezystywnosci materialów pólprzewodnikowych bedacy przedmiotem niniejszego wynalazku.Zgodnie z wynalazkiem konstrukcja manipulatora oparta jest na podzespolach, skladajacych sie z prze¬ suwu mikro-makro z ramieniem utrzymaujacym sonde pomiarowa, oraz stolika krzyzowego. Stolik krzyzowy zamocowany jest obrotowo w podstawie ramienia. W zaleznosci od ksztaltu badanego materialu pólprzewodni¬ kowego stolikJazyzowy wyposazony jest w odpowiednie zespoly mocujace i instalujace badany material.2 89161 W przypadku pomiaru plytek pólprzewodnikowych do stolika krzyzowego mocowana jest plyta nakladkowa z otworem. Otwór ten sluzy do wprowadzenia elementu konstrukcyjnego, na którym umieszcza sie badana plyte materialu pólprzewodnikowego. W przypadku pomiaru pretów z materialu pólprzewodnikowego do stolika krzyzowego jest mocowana plyta nakladkowa wyposazona w dociski sluzace do uchwycenia badanego materialu pólprzewodnikowego. < Korzyscia techniczna ze stosowania wynalazku jest wieksza dokladnosc przestrzenna wyznaczania rezystywnosci badanego materialu pólprzewodnikowego. Manipulator wedlug wynalazku zapewnia mozliwosc badania materialu w dwu prostopadlych osiach oraz we wszystkich punktach plaszczyzny.Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przykladzie wykonania na rysunku, na którym fig. 1 przedsta¬ wia widok ogólny manipulatora z pltka nakladkowa do badania plytek pólprzewodnikowych, natomiast fig. 2 — widok z góry plyty nakladkowej do badania pretów pólprzewodnikowych.Manipulator wedlug wynalazku jak przedstawia fig. 1 rysunku sklada sie z ramienia 2, zespolu przesuwu mikro-makro 1 z sonda pomiarowa 4 oraz obrotowego stolika krzyzowego 3 z zamocowana plyta nakladkowa 10 sluzaca do ustalania plytki pólprzewodnikowej 13 poprzez cylindryczny element posredni 12, na którym spoczywa badany material pólprzewodnikowy 13. Stolik krzyzowy 3 zamocowany jest obrotowo w podstawie 6 do ramienia 2 manipulatora tak, ze po odkreceniu sruby blokujacej 9 mozliwy jest obrót stolika krzyzowego 3 w plaszczyznie poziomej. Po zmianie osadzonego na plycie nakladkowej 10 cylindrycznego elementu posred¬ niego 12, na którym umieszczona jest badana plytka pólprzewodnikowa 13, poddaje sie badaniu plytki pólprzewodnikowe o róznych grubosciach.Jak pokazuje fig. 2 rysunku po umocowaniu na obrotowym stoliku krzyzowym 3 plyty nakladkowej 14 z ruchomymi przesuwnie dociskami 15 sluzacymi do uchwycenia badanej próbki swoja czescia talerzykowa wykonana korzystnie z olowiu doprowadza sie do nich prad pomiarowy.W srodku plyty nakadkowej 14 znajduje sie otwór stabilizujacy 15 kolek pryzmy 18, na której spoczywa badany pret pólprzewodnikowy nieuwidoczniony na fig.2 ry sunku. Manipulator jest dolaczony elektrycznie do zasilacza dla doprowadzenia pradu pomiarowego do zewnetrznych ostrzy sondy pomiarowej 4 w przypadku pomiaru plytek pólprzewodnikowych lub do czesci talerzykowej docisków 15 w przypadku pomiaru pretów pólprzewodnikowych. Ponadto manipulator jest dolaczony elektrycznie do kompensatora dla pomiaru spadku napiecia pomiedzy wewnetrznymi ostrzami sondy pomiarowej 4. PL

Claims (6)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Manipulator do pomiaru rezystywnosci materialów pólprzewodnikowych, zwlaszcza w ksztalcie plytek i pretów, który sklada sie z kolumny mocowanej nierozdzielnie z plytka nosna, zas do tej kolumny zamocowana jest rozdzielnie sonda pomiarowa czteroostrzowa za posrednictwem przesuwu mikro-makro, mocowanego nierozlacznie do kolumny i umozliwiajacego przemieszczenie sondy w kierunku pionowym do plyty nosnej, do której jest mocowany rozlacznie walcowy elemnt konstrukcyjny dla umieszczenia na nim badanej plytki materialu pólprzewodnikowego, przy czym walcowy element konstrukcyjny jest ustyuowany tak, aby ostrza sondy pomiarowej trafialy w srodek jego górnej plaszczyzny, a w przypadku badania materialów pólprzewodni¬ kowych w ksztalcie pretów ten element jest wymieniony na zaciski mechaniczne osadzone przesuwnie w prowadnicach na szynie zamocowanej nierozdzielnie do plyty nosnej i sluzace do mocowania i manipulacji preta badanego, a ta szyna wyposazona jest w pokretlo) do regulowania wielkosci przesuwania badanego preta w plaszczyznie poziomej, znamienny tym, ze sonda pomiarowa (4) jest zamocowana trwale do listwy ruchomej (5) przesuwu mikro-makro (1) pozwalajacej na jej stabilizacje i ruch w osi pionowej oraz iz stolik krzyzowy (3) zamocowany jest za posrednictwem lacznika do podstawy (6) i plyty konstrukcyjnej (7) natomiast stolik krzyzowy (3) wyposazony jest w plyty nakladkowe (10. 14), sluzace do utrzymywania badanych plytek pólprzewodnikowych (13) oraz badanych pretów pólprzewodnikowych korzystnie za pomoca cylindrycznego elmentu posredniego (12) i pryzmy (18), przy czym plyty te sa mocowane do listwy (8) stolika krzyzowego (3) przesuwanej w plaszczyznie poziomej w osi x-x.
2. 2. Manipulator wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze podstawa (6) wyposazona jest w srube blokujaca (9) umozliwiajaca bezstopniowa regulacje obrotu stolika krzyzowego (3) wokól osi pionowej.
3. 3. Manipulator wedlug zastrz. 1; znamienny .tym, ze plyta nakladkowa (10) wykorzystywana przy badaniu plytek pólprzewodnikowych (13) wyposazona jest w otwór (11) ustalajacy cylindryczny element posredni (12), a którym spoczywa badana DlYtka pólprzewodnikowa(13). . . .
4. 4. Manipulator wedlug zastrz. 1, znam ienny tym, ze plyta nakddkowa (14) wyposazona jest w dociski (15) mocowane do niej w sposób przesuwny poprzez listwy prowadzace (16), przy czym dociski (15) stanowia kontakty do badanego materialu pólprzewodnikowego.89161 3
5. 5. , Manipulator wedlug zastrz. 1 -albo 4, znamienny tym, ze plytka nakladkowa (14) wyposazona jest wtwór (17) ustalajacy cylindryczny element posredni (12).
6. 6. Manipulator wedlug zastrz. 1 albo 3 albo 5, znamienny tym, ze cylindryczny element posredni (12) ma ksztalt pryzmy (18) podtrzymujacej i stabilizujacej mechanicznie badany pret pólprzewodnikowy. Figi89 161 Lnu fyl Prac. Poligraf. UP PRL naklad 120+18 Cena 10 zl PL