Uprawniony z patentu: Siemens Aktiengesellschaft, Monachium, (Re¬ publika Federalna Niemiec i Berlin Zachodni) Cewka grzejna indukcyjna do beztyglowego strefowego wytapiania pretów pólprzewodnikowych Przedmiotem wynalazku jest cewka grzejna in¬ dukcyjna do beztyglowego wytapiania pretów z materialu pólprzewodnikowego.Znany sposób beztyglowego strefowego wytapia¬ nia materialu pólprzewodnikowego, polega na prze¬ puszczeniu wytworzonej przez indukcyjna cewke grzejna, strefy wytapiania przez material pólprze¬ wodnikowy o ksztalcie preta. Tym samym zanie¬ czyszczenia przemieszczaja sie na jeden koniec preta.Sposób ten jest takze czesto stosowany do ho¬ dowania monokrysztalów, mianowicie ze w jeden koniec preta pólprzewodnikowego wtapia sie zaro¬ dek krysztalu i wychodzac od niego przepuszcza sie przez pret strefe wytapiania. Material w ksztalcie preta jest najczesciej zamocowany koncami w uchwytach, w pozycji pionowej.Przy ciagnieciu pretów pólprzewodnikowych o srednicy wiekszej, anizeli srednica wewnetrzna in¬ dukcyjnej cewki grzejnej, cewka na koncu preta daje sie „wywlec" tylko wówczas, jezeli koniec pre¬ ta zostanie rozciagniety lub odlamany. Jest to nie¬ dogodne, jezeli trzeba wykonac kilka przejsc strefy wytapiania, co ma miejsce na przyklad przy wy¬ twarzaniu bezdomieszkowych pretów pólprzewod¬ nikowych. W takim wypadku przed rozpoczeciem ciagniecia nalezy, albo wtopic w koniec preta na¬ sadke ciensza od wewnetrznej srednicy cewki, albo tez przed kazdorazowym przejsciem strefy wyta¬ piania wtapiac nowa nasadke. 10 20 25 30 Obydwie metody sa bardzo klopotliwe i kosztow¬ ne, przede wszystkim przy wytwarzaniu pretów pólprzewodnikowych o wielkich srednicach, to zna¬ czy o srednicach w granicach 60—80 mm i powyzej.Celem wynalazku jest usuniecie tych niedogod¬ nosci przez wykonanie takiej indukcyjnej cewki grzejnej, za pomoca której moznaby wytwarzac prety pólprzewodnikowe o dowolnie wielkich sred¬ nicach w prosty, nieskomplikowany sposób.Cel ten zostal osiagniety przez skonstruowanie rozkladanej indukcyjnej cewki grzejnej, skladaja¬ cej sie z co najmniej dwóch czesci, przy czym czesci te polaczone sa ze soba, poprzez uszczelnie¬ nia chlodzenia, za pomoca zlaczy srubowych, a ce¬ wka sklada sie z jedno- lub wielozwojowego ukla¬ du, posiadajacego przebiegajaca w kierunku srod¬ ka cewki, przeznaczona do chlodzenia, pierscienio¬ wa wkladke wewnetrzna, która zbudowana jest z dwóch dzielonych polówek, rozlacznie z we¬ wnetrzna czescia zwojowa.Mozliwe jest równiez, uksztaltowanie cewki w formie plaskiej cewki jednozwojowej lub cewki posiadajacej wydluzony przekrój poprzeczny, w plaszczyznie prostopadlej do osi preta, dzielonej na dwie polówki. Szczelina dylatacyjna dzielaca po¬ lówki cewki moze byc umieszczona prostopadle do plaszczyzny cewki, ale moze takze lezec w jej plaszczyznie.Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przy¬ kladzie wykonania na rysunku, na którym fig. 1 7913279132 ta jest zbudowa polówki 2 IJ^aA ;lagja^*&ra przedstawia rozlozona cewke w widoku perspekty¬ wicznym, w powiekszeniu; fig. 2 — zmontowana cewke plaska, rozkladana od strony czolowej, w widoku z góry; fig. 3 — cewke jak na fig. 2 lecz ze szczelina dylatacyjna w plaszczyznie cewki; fig. 4 — cewke wielozwojowa z wyjmowana czes¬ cia wewnetrzna, w widoku z góry; fig. 5 — cew¬ ke jak na fig. 4, w powiekszonym przekroju plasz¬ czyzny V — V; fig. 6 — cewke jak na fig. 4 z chlodzonymi woda czesciami wewnetrznymi, w widoku z góry; fig. 7 — cewke jak na fig. 6 w przekroju plaszczyzna VII — VII.Na fig. 1, w celu lepszego zilustrowania, obyd¬ wie polówki 2 i 3 jednozwojowej plaskiej induk- cyjnej-J^wter-mejnej, skladajacej sie z miedzi lub srebra* &A prseojstawione jedna nad druga. Cewka la w ten sposób, ze jej obydwie rkaja sie plaszczyznami 4 i 5. 7 i 8 sa oznaczone miejsca po- w kolnierzach 32, podczas gdy odnosnik 9 dotyczy pierscienia gumowego, sluzace¬ go do uszczelnienia otworu 31 do wody chlodzacej, znajdujacego sie w polówkach cewki 2 i 3.Srednica wewnetrzna cewki wynosi 30 mm, sred¬ nica zewnetrzna okolo 80—120 mm. Wymiary te ksztaltuja sie w zaleznosci od wymaganej srednicy preta krystalicznego.Fig. 2 przedstawia cewke w stanie zlozonym; na¬ niesione odnosniki odpowiadaja odnosnikom na fig. 1. Szczelina dylatacyjna dla uszczelnienia i po¬ laczenia srubowego jest prostopadla do plaszczyzny cewki.Na fig. 3 przedstawiony jest inny przyklad wy¬ konania, w którym szczelina dylatacyjna przebiega w plaszczyznie cewki i jest oznaczona odnosnikiem 10. Pozostale odnosniki przyjeto odpowiednio do fig. 1 i 2.Na fig. 4 przedstawiona jest indukcyjna cewka grzejna 11 z miedzi lub srebra, skladajaca sie z czesci zwojowej 12 (trzy zwoje) oraz dwóch czes¬ ci wewnetrznych 13 i 14. Czesci wewnetrzne sa chlodzone przez wewnetrzny kontakt metaliczny i moga byc wyjete z ukladu cewki, po wykreceniu srub 15—22 z wewnetrznej czesci zwojowej.Fig. 5 przedstawia przekrój przez plaszczyzne V — V na fig. 4. Naniesione odnosniki odpowiada¬ ja odnosnikom na fig. 4. Wrysowana w przekrój linia 23 przedstawia szczeline dylatacyjna pomie¬ dzy wewnetrznymi czesciami 13 i 14 a kolnierzem pierscieniowym 30, przymocowanym lutowiem 24 do wewnetrznego zwoju cewki. 10 15 20 25 40 45 50 Fig. 6 przedstawia podobny uklad cewki jak na fig. 4. Róznica polega na tym, ze zostaly przewi¬ dziane wyjmowane czesci wewnetrzne 13 i 14 slu¬ zace do chlodzenia woda, i ze czesc zwojowa 12 indukcyjnej cewki grzejnej sklada sie tylko z dwóch zwojów. Linia przerywana zaznaczone sa niewidoczne gumowe uszczeliki 26 do 29, sluzace do uszczelnienia wodnego ukladu chlodzenia Prze¬ plyw wody przez czesc zwojowa 12 cewki oraz przez wyjmowane czesci wewnetrzne 13H 14 jest zaznaczony strzalkami 25. Maja tu zastosowanie te same odnosniki, które sa przyjete na fig. 4 lub 5.Fig. 7 przedstawia cewke z fig. 6 w przekroju plaszczyzna VII — VII, z którego wyraznie wyni¬ ka budowa ukladu, skladajacego sie z obydwu chlodzonych woda wewnetrznych czesci 13 i 14 oraz omywanej woda zwojowej czesci 12. Takze tu maja odpowiednio zastosowanie te same odnosniki, jak na fig. 4 do 6. Szczelina dylatacyjna jest tu pro¬ stopadla do plaszczyzny cewki. PL PL PLAuthorized by the patent: Siemens Aktiengesellschaft, Munich, (Federal Republic of Germany and West Berlin) Induction heating coil for the non-crucible zone smelting of semiconductor rods. In order to burn the semiconductor material, it consists in passing the smelting zone produced by the induction heating coil through a rod-shaped semiconductor material. Thus, the contaminants travel to one end of the rod. This method is also frequently used for the cultivation of single crystals, namely that one end of the semiconductor rod is melted into the head of the crystal and is passed through the smelting zone from the rod. The rod-shaped material is usually fixed with its ends in the holders in a vertical position. stretched or broken off. from the inner diameter of the coil, or before each passage of the smelting zone, fuse a new cap.10 20 25 30 Both methods are very cumbersome and expensive, especially in the production of semiconductor rods with large diameters, i.e. 60-80 mm and above. The object of the invention is to overcome these drawbacks by making such an induction coil and a heating coil with which semiconductor rods of any large diameter could be produced in a simple, uncomplicated manner. itself, through cooling seals by means of screw connections, and the coil consists of a single or multi-turn system having a cooling-oriented ring-shaped inner liner extending towards the center of the coil, which is constructed It is also possible to shape the coil in the form of a flat single-turn coil or a coil having an elongated cross-section, in a plane perpendicular to the axis of the rod, divided into two halves. The expansion slit separating the coil halves can be placed perpendicular to the plane of the coil, but it can also lie in its plane. The subject of the invention is illustrated in an example embodiment in the drawing in which Fig. lagja ^ * & ra presents the exploded coil in perspective, enlarged; Fig. 2 shows the assembled flat coil, unfolding from the front side, in a top view; Fig. 3 shows a coil as in Fig. 2, but with an expansion slit in the plane of the coil; Fig. 4 is a top view of a multi-turn coil with removable inner part; Fig. 5 shows a coil as in Fig. 4, in an enlarged section of the V-V plane; Fig. 6 shows a coil as in Fig. 4 with water-cooled internals in top view; Fig. 7 shows a coil as in Fig. 6, plane VII-VII in section. or silver * & A are placed one above the other. The coil 1a with its two arms touching the planes 4 and 5. 7 and 8 are marked on the flanges 32, while reference number 9 relates to a rubber ring used to seal the cooling water opening 31 in the coil halves 2 and 3. The inner diameter of the coil is 30 mm, the outer diameter is approximately 80-120 mm. These dimensions are shaped depending on the required diameter of the crystalline rod. 2 shows the coil in an assembled state; the reference numerals applied correspond to those in FIG. 1. The expansion gap for the seal and bolted connection is perpendicular to the plane of the coil. FIG. 3 shows another embodiment in which the expansion gap extends in the plane of the coil and is indicated by 10. The remaining reference numbers are taken from Figs. 1 and 2, respectively. Fig. 4 shows a copper or silver induction heating coil 11, consisting of a turn part 12 (three turns) and two internal parts 13 and 14. Internal parts are cooled by an internal metallic contact and can be removed from the coil assembly by removing screws 15-22 from the inner part of the coil. 5 shows a section through the plane V-V in FIG. 4. The reference numerals shown correspond to those in FIG. 4. The line 23 drawn in cross-section shows an expansion gap between the inner parts 13 and 14 and the ring flange 30, fixed by solder 24 to the inner part. coil coil. Fig. 6 shows a similar arrangement of the coil as in Fig. 4. The difference is that removable internal parts 13 and 14 are provided for cooling water and that the turn part 12 of the induction coil is provided. the heating element consists of only two coils. The dashed line is marked with invisible rubber gaskets 26 to 29, used to seal the water cooling system. 4 or 5 Fig. 7 shows the coil of Fig. 6 in a cross-sectional plane VII-VII, which clearly shows the structure of the system, consisting of both water-cooled inner parts 13 and 14 and the water-washed convolutional part 12. Here too, the same reference numbers apply accordingly, as in FIGS. 4 to 6. Here, the expansion gap is perpendicular to the plane of the coil. PL PL PL