PL77521B2 - - Google Patents

Description

Zdjeta charakterystyke analizuje sie zgodnie ze wzorem (1) za pomoca maszyny matematycznej, skad uzyskuje sie wykres koncentracji domieszek w funkcji odleglosci mierzonej od powierzchni w glab pólprzewodnika. Urzadzenie wedlug wynalazku (fig. 1) posiada generator napiecia liniowego 1, którego sygnal, ze wzgledu na wspomniana wczesniej koniecznosc stosowania krótkiego czasu pomiaru, ma szybkosc narastania wieksza niz sto miliwoltów na mikrosekunde.Wartosc rezystora 5 jest dobierana na poziomie maksymalnym dla danej szybkosci narastania oraz pojemnosci, tak by jednoczesnie byla zachowana liniowa zaleznosc spadku napiecia na rezystorze 5 od mierzonej pojemnosci 3. Kondensator wzorcowy 2 sluzy do skalowania pomiaru. Sygnal odkladajacy sie na rezystorze 5 jest wzmacniany przez wzmacniacz 6, nastepnie po przetworzeniu metoda próbkowania przez konwerter 7 w prze¬ bieg wolnozmienny jest zapisywany na rejestratorze X-Y8, po czym jest analizowany za pomoca maszyny matematycznej 9. PL PL

Claims (2)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wyznaczania profilu koncentracji domieszek w warstwie przypowierzchniowej pólprzewodnika, polegajacy na zdejmowaniu charakterystyk nierównowagowych C - f(Uc) struktury MIS, znamienny tym, ze przebieg liniowo zmienny w czasie, o szybkosci narastania wiekszej od stu miliwoltów na mikresekunde, na przyklad przebieg piloksztaltny lub trójkatny, doprowadza sie równolegle do mierzonego kondensatora MIS oraz kondensatora wzorcowego, które sa polaczone przez przelacznik z rezystorem, po czym przebieg zbierany z rezystora wzmacnia sie i przetwarza metoda próbkowania w konwerterze, przy czym na wyjsciu konwertera otrzymuje sie dwa sygnaly, to jest jeden propor^jc^aJuiy do pojemnosci rózniczkowej kondensatora MIS, a drugi j77 521 3 do napiecia polaryzujacego kondensator, które rejestruje sie otrzymujac charakterystyke C - f(uUQ), przy czym charakterystyke te analizuje sie za pomoca maszyny matematycznej.

2. Urzadzenie do stosowania sposobu wedlug zastrzezenia 1, znamienne tym, ze ma generator napiecia liniowego (1), który jest polaczony z wzajemnie równolegle polaczonymi kondensatorami (2) 3(3), przy czym kondensatory te poprzez przelacznik (4) sa laczone szeregowo z rezystorem (5) oraz wejsciem wzmacniacza (6) polaczonego na wyjsciu z kondensatorem (7), którego dwa wyjscia sa polaczone z wejsciami X, Y rejes¬ tratora (8). JL Y r L ftet Cfpfjj w i 301 2$ i \ X 10 UM Flj 2 PL PL