Przedmiotem wynalazku jest sposób pomiaru napiecia progowego tranzystora o efekcie polowym i izolowanej bramce.Znany jest sposób wyznaczania napiecia progowego tranzystora, polegajacy na tym, ze zwiera sie bramke 5 z drenem, a nastepnie wyznacza sie charakterystykepradu drenu w funkcji napiecia bramka -zródlo. Napiecie progo¬ we wyznacza sie graficznie, ekstrapolujac wykres prostoli¬ niowej zaleznosci pierwiastka kwadratowego z pradu dre¬ nu w frunkcji napiecia bramka-zródlo doprzeciecia z osia i o napiecia bramka - zródlo.Pomiaru napiecia progowego m#zna takze dokonac mie¬ rzac napiecie bramka - zródlo, odpowiadajace umownie przyjetym wartosciom pradu drenu albo konduktywnosci powierzchniowej pólprzewodnika. is Czas obciazenia tranzystora przy pomiarach dokonywa¬ nych tymi sposobami wynosi co najmniej kilkanascie, a nawet wiecej sekund.Istota wynalazku polega na tym, ze zwiera sie podloze tranzystora z drenem lub ze zródlem i rozwiera sie odpo¬ wiednio zródlo lub dren, a nastepnie do bramki przyklada sie impuls napiecia narastajacego liniowo i w chwili odpo¬ wiadajacej maksymalnej wartosci pradu przesuniecia ply¬ nacego przez pojemnosci skladowe tranzystora w stanie nieustalonym dokonuje sie pomiaru tego napiecia za po¬ moca woltomierza próbkujacego z pamiecia, wlaczonego miedzy bramke a mase, którego wejscie próbkujace jest wlaczone równolegle z rezystorem laczacym podloze tran¬ zystora z masa.Pomiaru napiecia odpowiadajacego maksymalnej war- 30 tosci pradu przesuniecia dokonuje sie takze za pomoca miernika czasu, wyskalowanego w wartosciach napiecia, przy czym miernik czasu jest wlaczony impulsem startu napiecia narastajacego liniowo podawanego z generatora napiecia, a wylaczany impulsem szpilkowym, otrzymanym po dwukrotnym zrózniczkowaniu sygnalu z rezystora la¬ czacego podloze z masa. Wartosc napiecia narastajacego liniowo, w chwili odpowiadajacej maksymalnej wartosci pradu przesuniecia, stanowi napiecie progowe tranzys¬ tora. * Sposób wedlug wynalazku umozliwia skrócenie czasu obciazenia tranzystora do 10-6 - 10 -3s, stanowiacego jed¬ noczesnie czas pomiaru napiecia progowego tranzystora.Krótki czas pomiaru umozliwia prowadzenie quasi-ciaglej obserwacji dryfu napiecia progowego w czasie obróbki napieciowo-termicznej, a ponadto powoduje, ze wplyw obciazenia tranzystora w czasie pomiaru na warunki sto¬ sowanej próby niestabilnosciowej jest pomijalnie maly.Niezawodnosc, prostota oraz krótki czaspomiaru kwali¬ fikuja sposób wedlug wynalazku do zastosowan produk¬ cyjnych w kontroli technicznej oraz w pomiarach selekcyj¬ nych.Za pomoca jednego pomiaru, oprócz napiecia progowe¬ go, mozna wyznaczyc wartosci pojemnosci skladowych tranzystora, jak równiez mozna dokonac selekcji tranzys-' torów wykazujacych nadmierna uplywnosc badz przebicie warstwy dielektryka.Wynalazek jest objasniony szczególowo dla przykladu pomiaru napiecie progowego za pomoca woltomierza przy zwartym zródle z podlozem tranzystora i rozwartym dre- 9072990729 nie, w oparciu osrysunek, na którym fig. 1 - przedstawia pomiarowy uklad polaczen tranzystora, fig. 2 - jego sche¬ mat zastepczy, a fig. 3 - teoretyczne wykresy: a -napiecia bramki w funkcji czasu, b, c - dwóch skladowych pradu przesuniecia w funkcji czasu, plynacych odpowiednio przez dwie pojemnosci skladowe tranzystora, d - wypad¬ kowego pradu przesuniecia w funkcji czasu.Przed przystapieniem do pomiaru zwiera sie podloze B ze zródlem S tranzystora przy rozwartym drenieD i mie¬ dzy podloze B a mase wlacza sie rezystor B. Nastepnie do bramki G przyklada sie impuls napiecia piloksztaltnego, podawanego z generatora impulsów Z i na woltomierzu V w chwili wystapienia impulsu szpilkowego pradu na rezystorze B odczytuje sie wartosc napiecia progowego.W przypadku, gdy dokonuje sie pomiaru odstepu czasu miedzy startem impulsu napiecia przylozonego do bramki G a momentem odpowiadajacym maksymalnej wartosci pradu przesuniecia, zamiast woltomierza V wlacza sie miernik czasu równolegle z rezystorem B. Miernik czasu wyskalowany jest w wartosciach napiecia. Miernik czasu jest wlaczany impulsem startu napiecia piloksztaltnego i wylaczany impulsem szpilkowym pradu. Miernik ten korzystnie moze byc wylaczany impulsem szpilkowym, otrzymanym' po dwukrotnym zrózniczkowaniu impulsu pradu za pomoca ukladu rózniczkujacego, wbudowanego do miernika czasu. Do pomiaru napiecia progowego za¬ miast generatora Z i woltomierza V lub miernika czasu mozna zastosowac synchroskop. Wówczas wyjscie z gene¬ ratora rozciagu liniowego synchroskopulaczy siez bramka G tranzystora i wejsciem ukladu odchylania poziomego synchroskopu, a na wejscie ukladu pionowego odchylania podaje sie spadek napiecia z rezystora B.Zasada pomiaru jest nastepujaca. Liniowy impuls na¬ piecia (fig. 3a) z generatora Z podawany na bramke G wy¬ woluje w tranzystorze przeplyw pradu i (fig. 3d), którego skladowa ii (fig. 3b) plynie przez pojemnosc Cgb, stanowia¬ ca pojemnosc bramka G - podloze B z uwzglednieniem pojemnosci bramka G - zródlo S, a skladowa i2 (fig. 3c) plynie przez pojemnosc Cgd, stanowiaca pojemnosc wars¬ twy dielektryka w obszarze przekrycia bramki G z obsza¬ rem dyfuzyjnym p+ drenu D. Skladowa 12 jest równa zeru dla napiecia bramki G mniejszego od napiecia progowego, 40 gdyz wówczas statyczne rezystancja rd» dren D - zródlo S równa sie nieskonczonosci. W chwili, gdy napiecie bram¬ ki G przekracza wartosc napiecia progowego, rezystancja rds zaczyna gwaltownie malec i wystepuje szpilkowy im¬ puls skladowej i2. Na rezystorze B wlaczonym w szereg z podlozem B wystepuje spadekproporcjonalny do pradu i.Polozenie maksymalnej wartosci pradu i w skali czasu t, która jest liniowo zwiazana zeskala napiecia Ugna bramce G, wyznacza wartosc napiecia Ugmax, stanowiacego napie¬ cie progowe tranzystora. PL