PL73680B2 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL73680B2
PL73680B2 PL14946371A PL14946371A PL73680B2 PL 73680 B2 PL73680 B2 PL 73680B2 PL 14946371 A PL14946371 A PL 14946371A PL 14946371 A PL14946371 A PL 14946371A PL 73680 B2 PL73680 B2 PL 73680B2
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
pattern
multiplied
hologram
multiplication
light
Prior art date
Application number
PL14946371A
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to PL14946371A priority Critical patent/PL73680B2/pl
Publication of PL73680B2 publication Critical patent/PL73680B2/pl

Links

Landscapes

  • Holo Graphy (AREA)

Description

Pierwszenstwo: Zgloszenie ogloszono: 30.05.1973 Opis patentowy opublikowano: 31.05.1975 73680 KI. 42h,38 MKP G02b 27/00 CZYTELNIA Urzedu Potonl***go Tw6rca wynalazku: Andrzej Kalestynski Uprawniony z patentu tymczasowego: Politechnika Warszawska, War¬ szawa (Polska) Sposób multiplikacji holograficznej wzoru w jednej ekspozycji Przedmiotem wynalazku jest multiplikaeja wzo¬ rów metoda hologralficzna w jednej ekspozycji.Zagadnienie to ma duze znaczenie w wielu dzie¬ dzinach techniki, a w szczególnosci w mikroele¬ ktronice.Dotychczas multiplikacje jednego wzoru w celu uzyskania wielu jego obrazów rozmieszczonych na podlozu w sposób zaprogramowany z duza dokla¬ dnoscia, jak na przyklad obrazy elementów obwo¬ du na masce mikroelektronicznej wykonanej na kliszy fotograficznej lub w metalu, wykonuje sie przez wielokrotne powtarzanie naswietlenia je¬ dnego wzoru w coraz to inne miejsce metoda kon¬ taktowa badz metoda projekcyjna. Procesy te sa bardzo pracochlonne, czas wykonywania jednej multiplikacji wynosi okolo 6 dni, oraz wymagaja wielkiej precyzji mechanicznej urzadzen przesuw¬ nych i bezaberacyjnej optyki.Celem wynalazku jest opracowanie sposobu mul¬ tiplikacji wzorów metoda holograficzna, który byl¬ by pozbawiony wyzej przytoczonych wad.Cel ten zostal osiagniety przez opracowanie spo¬ sobu multiplikacji holograficznej wzorów w je¬ dnej ekspozycji wedlug wynalazku przez zastoso¬ wanie w procesie holografowania wielowiazko- wego swietlnego pola odniesienia. Przedstawiona wedlug wynalazku metoda holografowania polega na rejestrowaniu na jednym hologramie jednego wzoru przy uzyciu zbioru wiazek odniesienia, któ¬ rych zródla rozmieszcza sie w przestrzeni zgodnie 25 30 z zadanym programem. Wielowiazkowe pole odnie¬ sienia otrzymuje sie za pomoca zbioru soczewek o zalozonych ogniskowyioh i wymiarach irozmiefezczo- nych w zaprogramowany sposób w odpowiednich otworkach panzeslony, iWtótra ul&tiawiia sie w drodze swiatla miedzy zródlem swiatla a hologramem.W procesie odtwarzania takiego hologramu przez oswietlenie go elektromagnetyczna fala monochro¬ matyczna uzyskuje sie od razu zwielokrotniony wzór wyjsciowy. Rozmieszczenie obrazów wzoru na podlozu zalezy od sposobu rozmieszczenia so¬ czewek tworzacych wielowiazkowe pole odniesie¬ nia w procesie holografowania.Korzysci techniczno uzytkowe wynalazku pole¬ gaja na uproszczeniu oprzyrzadowania i skróceniu czasu wykonania multiplikacji. Caly proces spro¬ wadza sie bowiem do jednorazowego naswietlenia w procesie tworzenia hologramu mulbiplikacyjnego.Hologram otrzymany sposobem wedlug wyna¬ lazku jest uzywany dalej do odtwarzania i rzuto¬ wania na zadane podloze obrazów zwielokrotnio¬ nych wzorów równiez w jednej ekspozycji. Ponad¬ to sposób multiplikacji wedlug wynalazku umo¬ zliwia uzycie w procesie holografowania powie¬ kszonych wzorów ze wzgledu na mozliwosc zmniejszania ich w procesie odtwarzania korzy¬ stajac ze zdolnosci hologramu do zmniejszania obrazów przy odtwarzaniu. Oprzyrzadowanie w sposobie wedlug wynalazku sprowadza sie do rozmieszczenia soczewek o konwencjonalnej pre- 73 68073 680 cyzji w otworkach wykonanych w. przeslonie w za¬ programowany sposób.Sposób miultipliikacji holograficznej wzorów jest objasniony na rysunkach, na których na fig. 1 po¬ kazano sposób tworzenia hologramu multiplika- cydmego, a na filg. 2 sposób odtwairzanlia tego holo¬ gramu.Sposób tworzenia hologramu multiplikacyjnego przedstawionego na fig. 1 wedlug wynalazku po¬ lega na tym, ze wiazka swiatla spójnego na przy¬ klad z lasera 1 pada na uklad dzielacy ja na dwie wiazki 2. Jedna z nich po rozszerzeniu przy pomocy ukladu optycznego 3 oswietla holografo- wany wzór o odpowiednim deseniu 4 i pada dalej na hologram 5. Druga wiazka bedaca wiazka od¬ niesienia oswietla ustawiona na jej drodze prze¬ slone z otworkami 6, w których umieszczono so¬ czewki o dobranych ogniskowych i wymiarach i pada dalej na hologram 5.W procesie odtworzenia hologramu multiplika¬ cyjnego przedstawionego na fig. 2 hololgiram 5 otrzymany sposobem wedlug wynalazku oswietla sie wiazka swiatla spójnego z lasera 1 a za holo¬ gramem 5 w odleglosci d, która odpowiada dokla¬ dnie plaszczyznie ogniskowania sie ugietej wia¬ zki niosacej informacje o obrazie rzeczywistym zmultiplikowanego wzoru, umieszcza sie zadane 10 15 20 podloze na przyklad krysztal póllpnzewokiniika po- feryity wainsftwa swiatloczula 7, na ikitóryim (to ipodlo- zu otrzymuje sie pozadany obraz zmultiplikowa¬ nego wzoru. PL

Claims (2)

1. Zastrzezenie patentowe Sposób multiplikacji holograficznej wzoru w je¬ dnej ekspozycji, znamienny tym, ze multipliko- wany wzór rejestruje sie na jednym hologramie (5) w jednej ekspozycji za pomoca wielowiazko- wego pola odniesienia otrzymanego przez to, iz soczewki o zalozonych ogniskowych i wymiarach rozmieszcza sie w zaprojektowany sposób w otwor¬ kach przeslony (6) umieszczonej w drodze wiazki swiatla miedzy zródlem swiatla spójnego (1) a ho¬ logramem (5), a z otrzymanego w ten sposób holo¬ gramu zawierajacego zakodowany zadany zmul- tiplikowany wzór wyjsciowy otrzymuje sie po od¬ tworzeniu obraz zmultiplikowanego wzoru wyj¬ sciowego, który rzutuje sie w znany sposób na podloze stanowiace na przyklad warstwe swiatlo¬ czula na powierzchni pólprzewodnika (7) lub klisze fotograficzna umieszczona w odleglosci (d) odpo¬ wiadajacej plaszczyznie ogniskowania sie ugietej wiazki niosacej obraz rzeczywisty zmultiplikowa¬ nego wzoru i odwzorowuje na niej zadany zmulti- plikowany wzór. Ftg.
2. Cena 10 zl RZG — 2420/75 95 egz. form. A-4 PL
PL14946371A 1971-07-15 1971-07-15 PL73680B2 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL14946371A PL73680B2 (pl) 1971-07-15 1971-07-15

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL14946371A PL73680B2 (pl) 1971-07-15 1971-07-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL73680B2 true PL73680B2 (pl) 1974-10-31

Family

ID=19955046

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL14946371A PL73680B2 (pl) 1971-07-15 1971-07-15

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL73680B2 (pl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3630593A (en) Holographically produced image arrays for photolithography
US3582176A (en) Holographic optical method and system for photoprinting three-dimensional patterns on three-dimensional objects
US4109996A (en) Method for producing a synthetic hologram
US3615449A (en) Method of generating high area-density periodic arrays by diffraction imaging
KR101179939B1 (ko) 계산기 홀로그램, 생성 방법 및 노광 장치
US3591252A (en) Large array synthesizing
EP0469026B1 (en) Manufacture of flat panel displays
US3791275A (en) Multiple image formation through self-imaging
EP0152433B1 (en) Method of producing a filtered beam of light
JPH1020750A (ja) 周期的パターンのホログラフィ記録方法及び装置
PL73680B2 (pl)
US3540791A (en) Simplified multiple image generation
US3752555A (en) Apparatus for making multiple point holograms
CA2385118A1 (en) Method for fabricating phase masks having a phase-shift based apodisation profile
US6709790B1 (en) Method and apparatus for generating periodic structures in substrates by synthetic wavelength holograph exposure
US3582177A (en) Method and device for holographically photographing and reproducing objects
US3622219A (en) Method of producing holograms which on reconstruction from small size image points
KR19990067888A (ko) 내부 전반사 홀로그래픽 장치 및 방법과, 그 장치의 광학 어셈블리
JP2803434B2 (ja) 回折格子プロッター
KR100433585B1 (ko) 비접촉식 결합형 이진 위상 홀로그램 및 그 구현 방법
EP0207132B1 (en) Method of producing a gaussian laser beam filter
KR100280823B1 (ko) 편광을 이용한 이진 위상 홀로그램 영상의 선택적 재생 방법
Chen et al. Interferometric lithography pattern delimited by a mask image
JPH0511454A (ja) ホログラム描画装置
KR100260013B1 (ko) 컴퓨터 홀로그램을 이용한 칼라 영상의 생성 방법 및 장치