PL67600B1 - - Google Patents

Description

Pierwszenstwo: Opublikowano: 20.Y.1970 (P 140 768) 25JX.1973 67600 KI. 42r3,5/00 MKP G05f5/00 UKD Wspóltwórcy wynalazku: Jan Szymoniak, Hanna Ryll-Nardzewska, Stanislaw Karpinski Wlasciciel patentu: Politechnika Warszawska, Warszawa (Polska) Uklad zasilajacy z programowaniem parametrów elektrycznych Przedmiotem wynalazku jest uklad zasilajacy z pro¬ gramowaniem parametrów elektrycznych, przeznaczony do zasilania i sterowania procesów technologicznych, na przyklad do formowania warstw dielektrycznych na alu¬ minium przy produkcji kondensatorów elektrolitycznych lub przy formowaniu elementów pólprzewodnikowych.Znane opracowania wyzej wymienionych procesów technologicznych uwzgledniaja warunek nieprzekracza- nia górnej wartosci napiecia formowania, lecz bez mo¬ zliwosci scislej kontroli wartosci pradu formowania.Konstrukcje przyrzadów sterujacych tymi procesami za¬ pewniaja utrzymanie stalego napiecia, nie pozwalaja na¬ tomiast na utrzymanie stalej wydajnosci pradowej zró¬ dla — w najlepszym przypadku ograniczajac jedynie maksymalna wartosc pradu podczas przebiegu procesu technologicznego. Nieutrzymanie parametrów prado¬ wych (wartosc pradu, czas jego przeplywu) wplywa na pogorszenie wlasnosci strukturalnych formowanych warstw, co powoduje m/in. rozrzut ich parametrów.Celem wynalazku jest wyeliminowanie wyzej wymie¬ nionych niedogodnosci przez zastosowanie ukladu zasi¬ lajacego, który zapewnia stala wydajnosc pradu, kontro¬ lowana wedlug z góry zalozonego programu przy wzro¬ scie rezystancji warstwy formowanej od zera do warto¬ sci odpowiadajacej dowolnemu napieciu w zakresie od 1 — 550 V, lub przy wzroscie rezystancji w okresie cza¬ su np. do 3 minut.Cel ten osiagnieto dzieki ukladowi bedacemu przed¬ miotem wynalazku, w którym jedna para jednoimien- nych zacisków wyjsciowych zespolu stabilizacji napie- 20 30 cia i zespolu stabilizacji pradu jest zwarta i polaczona z jednym z zacisków wyjsciowych ukladu poprzez ze¬ spól przekaznika czasowego; druga para zacisków wy¬ zej wymienionych zespolów jest polaczona szeregowo poprzez opornik i diode, przy czym opornik ten jest wlaczony na wejscie zespolu porównawczego, przylaczo¬ nego do drugiego zacisku wyjsciowego ukladu.Wynalazek zostanie blizej objasniony na przykladzie jego wykonania przedstawionym na rysunku, na którym pokazany jest schemat blokowy ukladu zasilania. Zasi¬ lacz Z sklada sie z typowych zespolów prostowniczych, filtrów wygladzajacych i transformatorów.Zasilacz ten posiada cztery wyjscia z których zew¬ netrzne sa wyjsciami niskonapieciowymi pomocniczymi, a wewnetrzne wyjsciami wysokonapieciowymi glówny¬ mi. Niskonapieciowe pomocnicze wyjscie zasilacza Z polaczone jest z zespolem porównawczym P.Drugie niskonapieciowe pomocnicze wyjscie zasila¬ cza Z polaczone jest z zespolem przekaznika czasowe¬ go T. Pozostale dwa wyjscia glówne wysokonapieciowe zasilacza Z polaczone sa: jeden z zespolem stabilizacji napiecia ZN, drugi z zespolem stabilizacji pradu ZP.Jedna para jednoimiennych biegunów wyjsciowych ze¬ spolów ZN i ZP jest zwarta i poprzez zespól przekazni¬ ka czasowego T dolaczona jest do zacisku wyjsciowego Zi ukladu zasilajacego wg wynalazku.Druga para jednoimiennych biegunów wyjsciowych zespolów ZN i ZP jest z soba polaczona poprzez opor¬ nik R i diode prostownicza D, a jednoczesnie dolaczo¬ na jest poprzez zespól porównujacy P z zaciskiem Z2 6760067600 ukladu zasilajacego wg wynalazku, przy czym opor¬ nik R jest wlaczony równolegle na wejscie zespolu po¬ równawczego P. Obiekt formowany OF dolacza sie do zacisków Zi i Z2 ukladu zasilajacego.Dzialanie ukladu zasilajacego wedlug wynalazku jest opisane ponizej. Po wlaczeniu obiektu formowanego OF do zacisków Zi i Z2 ukladu zasilajacego i po usta¬ leniu programu przez odpowiednie wysterowanie zespo¬ lów ZP, ZN i T nastepuje wlaczenie na zaciski wyjscio¬ we Zi i Z2 ukladu zasilajacego, zespolu stabilizacji pra- du ZP, na czas po którym wzrost rezystancji obiektu formowanego OF przy zadanej wartosci pradu zespolu ZP spowoduje wzrost napiecia na obiekcie formowanym OF do wartosci zaprogramowanej.Po osiagnieciu przez obiekt formowany OF napiecia równego napieciu zaprogramowanemu nastepuje zmia¬ na polaryzacji diody D i odpowiednia zmiana sygnalu na rezystancji wejsciowej R zespolu porównawczego P.W wyniku powyzszej zmiany sygnalu nastepuje przela¬ czenie zespolu stabilizacji napiecia ZN na zaciski wyj¬ sciowe Zi i Z2 ukladu zasilajacego w miejsce uprzednio pracujacego zespolu stabilizacji pradu ZP. Zespól prze¬ kaznika czasowego T pozwala dodatkowo na realizacje dwóch innych programów, to jest zasilania obiektu for¬ mowanego OF pradem o stalej wartosci przez okreslo¬ ny czas, oraz zasilanie obiektu formowanego OF pra¬ dem o stalej wartosci do czasu osiagniecia (przy wzro¬ scie rezystancji obiektu OF) napiecia zaprogramowane¬ go, albo odlaczenie obiektu formowanego OF od zródla o stalej wydajnosci pradowej po okreslonym czasie. W przypadku kiedy czas, po którym nastapi wzrost napie¬ cia na obiekcie formowanym do wartosci zaprogramo¬ wanej jest krótszy, od czasu okreslonego przez zespól przekaznika czasowego T, zespól porównawczy P powo¬ duje przelaczenie na zaciski Zi i Z2 ukladu zasilajace¬ go, zespól stabilizacji napiecia ZN. 10 15 20 25 30 35 Podstawowa zaleta ukladu zasilajacego z programo¬ waniem parametrów elektrycznych jest mozliwosc usta¬ wiania w okreslonym zakresie np. od 2 mA do 50 mA dowolnych wartosci pradu i stabilizacja tej wartosci przy wzroscie rezystancji na wyjsciu ukladu zasilajace¬ go (rezystancji np. obiektu formowanego) do wartosci okreslonej wybrana wartoscia stabilizowanego pradu i zaprogramowana wielkoscia napiecia, która jest dowol¬ nie wybrana w pewnym okreslonym zakresie (np. od 2 V do 550 V) oraz stabilizacja (z dokladnoscia ±1%) i kontrola zarówno napiecia jak i pradu. Wymieniona wyzej zaleta pozwala na optymalny dobór parametrów elektrycznych w zaleznosci od rodzaju obiektu formo¬ wanego. Utrzymanie ostrych rezimów w zakresie para¬ metrów elektrycznych i czasów ich trwania jest równiez zasadniczym warunkiem powtarzalnosci parametrów warstwy formowanej, co ma duze znaczenie przy pro¬ dukcji np. kondensatorów elektrolitycznych. PL PL

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Uklad zasilajacy z programowaniem parametrów elektrycznych skladajacy sie z polaczonych ze soba za¬ silacza zespolu stabilizacji napiecia, zespolu stabilizacji pradu, zespolu porównawczego i zespolu czasowego, znamienny tym, ze jedna z par jednoimiennych biegu¬ nów wyjsciowych zespolów stabilizacji napiecia (ZN) i stabilizacji pradu (ZP) polaczona jest z soba poprzez rezystancje (R) i diode (D), jednoczesnie rezystancja (R) jest wlaczona równolegle na wejscie ukladu porównaw¬ czego (P), a poprzez ten uklad z jednym z zacisków wyjsciowych ukladu zasilajacego (Z), przy czym druga z par jednoimiennych biegunów wyjsciowych zespolów stabilizacji napiecia i pradu (ZN i ZP) jest polaczona z wejsciem ukladu czasowego (T), którego wyjscie sta¬ nowia zaciski wyjsciowe CL\ i Zi). WDA-l. Zam. 6642 naklad 125 egz. Cena zl 10,— PL PL