PL63518B1 - - Google Patents

Description

Opublikowano: 20.XI.1971 KI. 21 g, 11/02 MKP H 011,7/00 Twórca wynalazku: Witalis Rynkiewicz Wlasciciel patentu: Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa (Polska) Urzadzenie do ciecia materialów pólprzewodnikowych i Przedmiotem wynalazku jest automatyczne urzadzenie do ciecia materialów pólprzewodni¬ kowych na plytki o zaprogramowanej grubosci.Znane sa automatyczne urzadzenia do ciecia materialów pólprzewodnikowych takich, jak arse¬ nek galu, german, krzem itp. na plytki o okres¬ lonej grubosci.Te znane urzadzenia pracuja za pomoca tarczy diamentowej osadzonej na wrzecionie i wprawio¬ nej w ruch obrotowy. Przeznaczony do ciecia ma¬ terial pólprzewodnikowy zostaje umocowany na glowicy, która hydraulicznie lub mechanicznie jest przesuwana w kierunku pionowym. Ruch glowicy ku górze dosuwa material pólprzewodnikowy do tarczy i powoduje jego przeciecie. Ponadto glowica jest przesuwana hydraulicznie (skokowo) w kie¬ runku poziomym, a dajaca sie regulowac dlugosc skoku przesuwu poziomego wyznacza grubosc cietych plytek.Znane urzadzenia sa zaopatrzone w sterowanie, które automatycznie wlacza posuw poziomy w momencie wycofania materialu pod tarcze, a po dokonaniu przesuwu poziomego wlacza posuw pionowy na drodze wymaganej dla przeciecia materialu o okreslonej grubosci. Sterowanie w zna¬ ny sposób zabezpiecza urzadzenie przed wlacze¬ niem posuwu roboczego gdy tarcza sie nie obra¬ ca.Te znane urzadzenia posiadaja pewne niedo¬ godnosci. Zastosowanie mechanizmów hydraulicz- 1S 20 25 20 nych do przesuwania stosunkowo niewielkich mas, w szczególnosci do posuwu poziomego, jest klo¬ potliwe w eksploatacji i powoduje nadmierne roz¬ budowanie mechanizmów napedowych. Ponadto znane urzadzenia umozliwiaja automatyczne cie¬ cie materialów pólprzewodnikowych w plaszczyz¬ nie prostopadlej do osi materialu. Natomiast w niektórych zastosowaniach pólprzewodników za¬ chodzi koniecznosc wykonania ciec krzyzowych wedlug scisle okreslonej orientacji wzgledem struktury przestrzennej materialu, a wiec w plaszczyznach innych niz prostopadla do osi geo¬ metrycznej.Wynalazek ma na celu usuniecie tych niedo* godnosci i skonstruowanie urzadzenia, które umoz¬ liwialoby automatyczne ciecie materialów pól¬ przewodnikowych w plaszczyznie ustawionej pod katem wzgledem kazdej z trzech osi i które mia¬ loby mechanizmy posuwowe bardziej odpowiednie od hydraulicznych.Wedlug wynalazku cel ten osiaga sie przez zao¬ patrzenie urzadzenia w mechanizm posuwu po¬ przecznego zlozony z elektromagnesu i ukladu dzwigienek, które poprzez zapadke jednostronne¬ go dzialania napedzaja kolo zebate przesuwajace zebatke suportu. Zwora elektromagnesu jest zao¬ patrzona dodatkowo w regulowany zderzak dlu¬ gosci skoku. Glowica nad suportem poprzecznym ma mechanizmy do ustawiania materialu pod ka¬ tem w plaszczyznach pionowych równoleglej i pro- 63 51863 518 3 stopadlej do osi tarczy szlifierskiej oraz w plasz¬ czyznie poziomej. Mechanizm do ustawiania glo¬ wicy w plaszczyznie poziomej sklada sie z nieru¬ chomej postawy i ruchomej tarczy z podzialka katowa. Mechanizmy do ustawiania w plaszczyz¬ nach pionowych skladaja sie kazdy z odcinka walca zaopatrzonego na powierzchni walcowej w jaskólczy ogon i zebatke i osadzonego w nieru¬ chomej podstawie o odpowiadajacym ksztalcie, przy czym w podstawie jest osadzone kolo zebate wspólpracujace z zebatka.Przedmiot wynalazku jest dokladniej opisany na przykladzie wykonania w zwiazku z rysunkiem, na którym fig. 1 przedstawia urzadzenie w wido¬ ku od przodu, a fig. 2 — to samo urzadzenie w widoku z boku.Jak pokazano na rysunku, na korpusie 1 jest umieszczony wrzeciennik 2 z wrzecionem 3 i umo¬ cowana na nim diamentowa tarcza 4. Przezna¬ czony do ciecia na plytki material pólprzewod¬ nikowy 5 jest umocowany za pomoca laku lub zywicy syntetycznej 6 na plytce stalowej 7. Plyt¬ ka 7 za pomoca elektromagnesu jest umocowana w misce, która dla przejrzystosci rysunku nie zo¬ stala pokazana.Plytka 7 wraz z miska jest umocowana na wierzchu kolumny, która nad powierzchnia stolu jest zaopatrzona w mechanizm do posuwu po¬ przecznego. Mechanizm ten jest zaopatrzony w plektromagnes 8 z przesuwnym trzpiieni-m 9, któ¬ ry jest dalej polaczony z dzwignia 10. Na dzwigni 10 jest osadzona zapadka 11 jednostronnego dzia¬ lania wspólpracujaca z kolem zapadkowym 12.Kolo 12 poprzez os 13 napedza kolo zebate wspól¬ pracujace z zebatka 14 i powodujace poprzeczny jednokierunkowy skokowy ruch sanek 15 wraz z umocowana na tych sankach glowica. Dlugosc pojedynczego skoku trzpienia 9 jest regulowana za pomoca nastawnego zderzaka 16. Ruch powrot¬ ny jalowy trzpienia 9 odbywa sie pod dziala¬ niem sprezyny.Glowica urzadzenia ma mechanizmy do usta¬ wiania materialu 5 pod katem w trzech plasz¬ czyznach. Do ustawiania kata pochylenia w plasz¬ czyznie pionowej równoleglej do osi wrzeciona sluzy element 17 o ksztalcie odcinka walca. Na dolnej walcowej powierzchni jest on zaopatrzony w prowadnice 18 o ksztalcie jaskólczego ogona l zebatke i jest osadzony na podstawie 19, która ma wyzlobienie o odpowiadajacym ksztalcie. Po¬ kretlo 20 jest polaczone z nie pokazanym na ry¬ sunku kolem zebatym, które wspólpracuje z ze¬ batka elementu 17 i powoduje jego promieniowe przesuwanie, a tym samym ustawianie pod katem czesci glowicy znajdujacej sie powyzej elementu 17. Na czolowej powierzchni elementu 17 i jego podstawy 19 sa wykonane podzialki katowe.Na elemencie 17 jest umocowana podstawa 21 i tarcza 22, które sluza do ustawiania kata ma¬ terialu 5 wzgledem tarczy 4 w plaszczyznie po¬ ziomej. Tarcza 22 jest zaopatrzona na obwodzie w podzialke katowa i jest blokowana w ustalo¬ nym polozeniu za pomoca sruby 23.Na tarczy 22 jest umocowany mechanizm do ustawiania kata w plaszczyznie pionowej prosto¬ padlej do osi wrzeciona 3. Mechanizm ten jest zaopatrzony w element 24 o ksztalcie odcinka walca. Na jego dolnej walcowej powierzchni jest wykonana prowadnica 25 o ksztalcie jaskólczego ogona i zebatka 26. Element 24 jest osadzony na 5 podstawie 27 o odpowiadajacym ksztalcie zaopa¬ trzonej w pokretlo 28 i nie pokazane na rysun¬ ku kolo zebate wspólpracujace z zebatka 26. Na czolowej powierzchni elementu 24 i podstawy 27 jest wykonana podzialka katowa. io Ciecie materialów pólprzewodnikowych na plyt¬ ki pod katem wzgledem geometrycznej osi odby¬ wa sie zazwyczaj w oparciu o pomiary Rentge¬ nem. Ustalony kat ciecia w kazdej z trzech plasz¬ czyzn ustala sie za pomoca pokretla 20, tarczy 22 15 i pokretla 28. Nastepnie za pomoca zderzaka 16 ustawia sie skok poprzeczny realizowany przez elek¬ tromagnes 8. Po uruchomieniu urzadzenia znany uklad sterowania zabezpiecza synchronizacje obro¬ tów tarczy, posuwu pionowego i posuwu poprzecz- 20 nego, a po zakonczeniu ciecia automatycznie wy¬ lacza urzadzenie.Urzadzenie wedlug wynalazku nadaje sie tez do normalnego ciecia materialów pólprzewodniko¬ wych w plaszczyznie prostopadlej do osi. W tym M celu trzy opisane mechanizmy do ustawiania ka¬ tów ustawia sie wedlug skali na 0°. PL PL

Claims (4)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie do ciecia materialów pólprzewod- 30 nikowych zaopatrzone w diamentowa tarcze i ko¬ lumne robocza, na której mocuje sie przeznaczo¬ ny do ciecia material, przy czym kolumna robo¬ cza ma mechanizmy do posuwu pionowego i po¬ ziomego oraz uklad sterowania zapewniajacy syn- 35 chronizacje obu posuwów i obrotów tarczy, zna¬ mienne tym, ze ma mechanizm posuwu poprzecz¬ nego zaopatrzony w elektromagnes (8) o regulo¬ wanym skoku, którego trzpien (9) za pomoca dzwigni (10), zapadki (11) i kola zapadkowego (12) 40 przesuwa skokowo sanki (15), a na sankach jest umocowana glowica zaopatrzona w mechanizmy do ustawiania materialu (5) wzgledem tarczy (4) pod katem w plaszczyznie pionowej równoleglej do osi wrzeciona (3), prostopadlej do osi tego wrzeciona i plaszczyznie poziomej.

2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 znamienne tym, ze mechanizm posuwu poprzecznego ma zderzak (16) do ustalania skoku roboczego trzpienia (9 elektromagnesu (8).

3. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 znamienne tym, 50 ze mechanizmy do ustawiania kata w plaszczyz¬ nach pionowych sa zaopatrzone w element (17, 24) o ksztalcie odcinka walca, na którego dolnej walcowej powierzchni jest wykonany jaskólczy ogon (18, 25) i zebatka, a element ten jest osa- 55 dzony w podstawie (19, 27) z wyzlobieniem o od¬ powiadajacym ksztalcie, wyposazonej w pokretlo (20, 28) polaczone z kolem zebatym wspólpra¬ cujacym z zebatka elementu (17, 24), przy czym na czolowej powierzchni elementu (17, 24) i pod-

4. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 znamienne tym, ze mechanizm do ustawiania kata w plaszczyz¬ nie poziomej ma tarcze (22) zaopatrzona na ob¬ wodzie w podzialke katowa i osadzona obrotowo 65 na podstawie (21). 45KI. 21 g, 11/02 63 518 MKP H 011, 7/00 3 5 4 & 9 10 Ftg.1KI. 21 g, 11/02 63 518 MKP H 01 1, 7/00 Fig. 2 ZF „Ruch" w-wa, zam. 900-71, nakl. 250 egz. PL PL