PL59500B1 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- PL59500B1 PL59500B1 PL129149A PL12914968A PL59500B1 PL 59500 B1 PL59500 B1 PL 59500B1 PL 129149 A PL129149 A PL 129149A PL 12914968 A PL12914968 A PL 12914968A PL 59500 B1 PL59500 B1 PL 59500B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- hydrogen
- atomic hydrogen
- molecular
- atmosphere containing
- protective atmosphere
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N Hydrogen atom Chemical compound [H] YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 2
- YZCKVEUIGOORGS-IGMARMGPSA-N Protium Chemical compound [1H] YZCKVEUIGOORGS-IGMARMGPSA-N 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Description
Sposób wedlug wynalazku zostanie objasniony blizej za pomoca rysunku przedstawiajacego1 piec przeznaczony do wygrzewania i stapiania elemen¬ tów pólprzewodnikowych.W piecu 1 znajduje sie komora 2 z umieszczo¬ nymi w niej elementami 3 poddawanymi proceso- 5950059500 3 wi stapiania. Na drodze przeplywajacego w komo¬ rze 2 wodoru czasteczkowego (H2) umieszczona jest spirala Wolfraimowa 4 rozzarzona do temperatury powyzej 2000°K. Te czasteczki wodoru, które tra¬ fiaja na rozzarzone wlókno 4 zostaja rozdzielone na pojedyncze atomy i zmieszane dalej z wodo¬ rem czasteczkowym docieraja do stapianych ele¬ mentów 3. Niewielka zawartosc wodoru atomowe¬ go wystarcza do uaktywnienia procesu odtleniania powierzchni stapianych elementów przez co ulat¬ wione zastaje ich zwilzanie. Konieczna dla danego zastosowania ilosc wodoru atomowego mozna uzy¬ skac zarówno .poprzez dobór temperatury wlókna 4 jak i jego uksztaltowanie w komorze 2. PL
Claims (2)
- Zastrzezenia patento w|e JO 1. Sposób oczyszczania powierzchni pólprzewod¬ ników na drodze termicznej w atmosferze ochron¬ nej, znamienny tym, ze oczyszczanie prowadzi sie w atmosferze zawierajacej wodór atomowy (H) lub mieszanine wodoru atomowego (H) i czasteczko¬ wego1 (H2).
- 2. Urzadzenie do stosowania sposobu wedlug zastrz. 1 znamienne tym, ze w komorze pieca na drodze przeplywu atmosfery ochronnej zawieraja¬ cej wodór czasteczkowy jest umieszczony grzejnik. 4 H2 -f- ftiWWS] Cr H2+H rzx 3 ¦f 2 A U Zaklady Kartograficzne, Wroclaw, zam. C/1059, 290 PL
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL59500B1 true PL59500B1 (pl) | 1969-12-29 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE7707564L (sv) | Forfarande for insmeltning av glas med radioaktiva bestandsdelar och ugn for genomforande av detta forfarande | |
| Doweidar et al. | Effect of gamma radiation and thermal treatment on some physical properties of ZnO-PbO-B2O3 glasses | |
| PL59500B1 (pl) | ||
| JPS5820894B2 (ja) | セキエイガラスブツタイノセイゾウホウホウ | |
| US2804378A (en) | Apparatus for the manufacture of arsenic trisulfide | |
| US667646A (en) | Lining metallic or other vessels or tubes with glass. | |
| US1893382A (en) | Method of making cast basalt articles | |
| Kirillin et al. | Experimental determinaton of the enthalpy and heat capacity of molybdenum up to 2337° C | |
| US3749561A (en) | Method of producing crystalline glass containing portions having different crystallization extents | |
| ES455845A1 (es) | Procedimiento y dispositivo de fusion de materias minerales,principalmente vitrificables. | |
| Eno et al. | Specific heats of fast-quenched Au-Ni alloys | |
| US3600146A (en) | Glass bushing with high emissivity coating | |
| Hoogland | The purification of carbon rods for spectrochemical analysis: I. A simple apparatus for purification by means of resistance heating | |
| GB1117002A (en) | Glass compositions containing antimony, sulphur and iodine | |
| Kimura | Viscosity Measurement of Synthetic Fused Quartz by Beam-Bending Method | |
| GB415456A (en) | Process for producing small spherical particles | |
| McPherson et al. | Microstructure of natural glasses | |
| DE860989C (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Loeten und Gluehen im Schutzgas fuer die Zahntechnik | |
| Spinner et al. | Determination and Use of the Sag Point as a Reference Point in the Heating of Glasses | |
| Lukić et al. | Dependence of thermal stability and thermomechanical characteristics of non-crystalline chalcogenides in the Cu-As-Se system on copper content | |
| Nishida et al. | Application of Mössbauer Effect on the Crystallization of Several Glasses | |
| Edison | The action of heat in vacuo on metals | |
| Paget | The History, Development and Commercial Uses of Fused Silica | |
| Staššíková-Štukovská et al. | Glass melting experiments in the reconstruction of glass furnace from the 9th century | |
| Vautier et al. | Photorelaxation in amorphous GexSe1− x (0< x< 0.08) thin films |