PL46066B1 - - Google Patents

Description

Opublikowano dnia 2 stycznia 1963 r £ £ K ***. O, IBIBLIOTE^A, POLSKIEJ RZECZYPOSPOLITEJ LUDOWEJ OPIS PATENTOWY Nr 46066 Instytut Metalurgii Zelaza*) Stanislawa Staszica im.Gliwice, Polska KI. 4S-kH*72fi" Urzadzenie do napylania preparatów w prózni Patent trwa od dnia 29 listopada 1961 r.Przedmiotem wynalazku jest urzadzanie do napylania preparatów w prózni, wyposazone w glowice elektronowa.Budowlane firmowe urzadzenia do napylania w wysokiej prózni tzw. napylarki dzialaja na zasadzie rozgrzewania rnaiterialu do temperatu¬ ry odparowania w oporowym elemencie grzej¬ nym lub w przypadku odpairowywania wegla przez oporowe rozgrzewanie miejsica styku dwóch zaostrzonych (precików weglowych (tzw. metoda Rraidleya). W obu przypadkach zró'llo parowania jest wielkosci kilku lub kilkunastu m-m2, co w zstosowaniu np. do napylania rep]ik (preparaty do mikroskopu elektronowego) jest nie wskazane, bowiem powoduje zmniejszenie kontrastu przez powstanie pólcieni.Zblizone do punktowego zródlo parowania mozna natomiast uzyskac przez rozgrzanie czo- *) Wlasciciel patentu oswiadczyl, ze wspól¬ twórcami wynalazku sa mgr inz. Jerzy Eysy¬ mont i inz. Witold Orzeszko. lowej powierzchni cienkiego precika przez bom¬ bardowanie jej elektronami.Fig. 1 przedstawia dla porównania typowa glowice napylarki, przeznaczona do odparowy¬ wania materialów ze spirali grzejnej.Fig. 2 przedstawia natomiast glowice, bedaca przedmiotem wynalazku.' Istota jest zastosowanie specjalnej glowicy wprowadzonej do komory prózniowej od stro¬ ny denka z elektrodami (fig. 2), gdzie l przed- stawUf niezmieniony korpus komory próznio¬ wej, 2 przekonstruowane metalowe denko komo¬ ry z elektrodami 3 15 doprowadzajacymi prad z transformatora 16 do spirali wolframowej (termokatody) 7, tak uksztaltowanej azeby da¬ wala emisje elektronów, a pirzy tyim nie zasla¬ niala czola precika weglowego 6 pelniacego w tym ukladzie role anody. 8 przedstawia stalo¬ wy, ogniskujacy elektronowy cylinder z otwor¬ kiem 9 w osi ukladu, 10 przedstawia strumien napylajacy, 11 przedstawia preparat przezna¬ czony do napylania, 12 przedstawia drugie den-ko komary prózniowej z wizerunkiem. 13 przed¬ stawia tabus laczacy komore zpompa dyfuzyjna.H przedstawia osobno zbudowany generator pradu stalego wysokiego napiecia (0-5000 V) o mocy 0,5 kVA z miliamperomierzem 15 do p )- miaru natezenia pradu anodowego.Dzialanie urzadzenia polega na emitowaniu przez rozzarzone wlókno wolfamowe elektronów ogniskowanych na koncu precika, który wsku¬ tek tego rozzarza sie do temperatury parowa¬ nia. Ogniskowanie wiazki elektronów na preci¬ ku powoduja nastepujace czynniki: ssace dzia¬ lanie anody w polu elektrycznym o duzym gra¬ diencie oraz komprymujace oddzialywanie na ladunek przestrzenny elektronów ze strony cy .lindra posiadajacego ten sam ujemny poten¬ cjal elektryczny co katoda.Odparowane i posiadajace duza szybkosc czastki materialu precika jako elektrycznie obo¬ jetne przelatuja bez przeszkód przez pols elek¬ tryczne, a dalej przez otworek 9 w cyliindrze, tworzac waski snop napylajacy preparat U.Na preciki odparowywane ta metoda mozna_ stosowac materialy sublimujace np. wegiel lub chrom. Inne materialy mozna umieszczac W otworku na powierzchni czolowej precika we¬ glowego jako drucik lub prasówki z procku i odparowywac albo lacznie z weglem przez rozgrzewanie do temperatury wyzszej od tem¬ peratury sublimacji wegla, Lub bez wegla przez rozgrzanie do temperatury wyzszej od tempe¬ ratury odparowywania danego materialu, a niz¬ szej od tempertury sublimacji wegla. PL

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Urzadzenie do napylania preparatów w próz¬ ni, znamienne tym, ze posiada glowice zlozi/na ze spirali (7) emitujacej elektrony, precika (6) z materialu przeznaczonego do odparowania, przylaczonego do potencjalu dodatniego w sto¬ sunku do potencjalu spirali, oraz cylindra^ (8), ogniskujacego elektrony. Instytut Metalurgii Zelaza im. Stanislawa Staszica Fig 2 16 » fnstytul Metalurgii Zelaza J433. RSW „Prasa", Kielce PL